用于重复调谐匹配网络的系统和方法技术方案

一种用于在射频等离子体处理设备中重复调谐匹配网络的方法，所述方法包括检测匹配网络内的状况并确定所述状况是否是所述匹配网络的已知状况。此外，当所述状况是所述匹配网络的已知状况时，查找所述状况的先前解决方案；以及在所述匹配网络中复制所述状况的先前解决方案。解决方案。解决方案。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于重复调谐匹配网络的系统和方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年9月28日提交的美国非临时专利申请第17/035,392号的优先权，其内容通过引用并入本文。

技术介绍

[0003]射频(radio frequency，RF)等离子体增强处理广泛用于半导体制造中，以蚀刻不同类型的膜，在低至中等处理温度下沉积薄膜，并执行表面处理和清洁。这些过程的特征是等离子体(即，部分电离的气体)的使用，其用于从反应室内的前体产生中性物质和离子，为离子轰击提供能量，和/或执行其他动作。射频等离子体增强处理由已知的射频处理设备执行。
[0004]射频处理设备可以包括向等离子体反应室传输信号的射频发生器。可以具有可变阻抗的射频匹配设备可以位于射频发生器和等离子体反应室之间。可以通过改变射频匹配设备的阻抗来控制或以其他方式调谐射频匹配设备。调谐射频匹配设备减少了来自等离子体反应室和/或射频匹配设备的反射功率，这可以增加从射频发生器传递到等离子体反应室并进入等离子体过程的功率。
附图说明
[0005]当与附图一起阅读时，从本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在射频等离子体处理设备中重复调谐匹配网络的方法，所述方法包括：检测所述匹配网络内的状况；确定所述状况是否是所述匹配网络的已知状况；当所述状况是所述匹配网络的已知状况时，查找所述状况的先前解决方案；以及在所述匹配网络中复制所述状况的先前解决方案。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述已知状况是使用经验数据集确定的。3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述经验数据集包括电流分流比。4.根据权利要求3所述的方法，还包括将所述经验数据存储在能够由连接到所述匹配网络的可编程逻辑控制器访问的存储介质中。5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述先前解决方案包括被调谐到已知阻抗点的电容器位置。6.根据权利要求1所述的方法，其中，当所述状况在所述匹配网络内发生时，所述检测、确定、查找和复制是自动的。7.根据权利要求1所述的方法，还包括确定所述状况不满足阈值以确定所述状况是否是所述匹配网络的已知状况，并且中断用于调谐所述匹配网络的方法。8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述复制所述先前解决方案包括基于反射功率的百分比来控制电容器速度。9.根据权利要求1所述的方法，还包括允许至少一个电容器以预定义速度以反射功率调谐。10.根据权利要求1所述的方法，还包括记录所检测的状况的电容器位置。11.根据权利要求10所述的方法，还包括将所记录的所检测的状况的电容器位置与所述先前解决方案相关联。12.根据权利要求1所述的方法，其中，所述先前解决方案减少了所述匹配网络中的调谐时间。13.根据权利要求1所述的方法，其中，所述先前解决方案在操作期间防止电容器排挤。14.一种射频等离子体处理设备，包括：反应室；射频发生器，用于向所述反应室中的等离子体提供射频功率；匹配网络，包括：匹配支路，具有第一可变电容器和第二可变电容器；以及分路器...

【专利技术属性】
技术研发人员：盖理，
申请(专利权)人：科米特技术美国股份有限公司，
类型：发明
国别省市：