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一种用于在射频等离子体处理设备中重复调谐匹配网络的方法，所述方法包括检测匹配网络内的状况并确定所述状况是否是所述匹配网络的已知状况。此外，当所述状况是所述匹配网络的已知状况时，查找所述状况的先前解决方案；以及在所述匹配网络中复制所述状况的先...
该专利属于科米特技术美国股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科米特技术美国股份有限公司授权不得商用。

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