感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法技术

技术编号:37702415 阅读:22 留言:0更新日期:2023-06-01 23:48
本发明专利技术提供一种感光性转印材料、以及使用上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法,所述感光性转印材料依次具有保护膜、感光性树脂层、第1树脂层、第2树脂层及临时支承体,上述第1树脂层包含粒子,上述第1树脂层与上述第2树脂层接触,上述第1树脂层与上述第2树脂层能够剥离,上述第2树脂层含有具有聚乙烯结构的树脂。脂。脂。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。

技术介绍

[0002]在具备静电电容型输入装置等的触摸面板的显示装置(有机电致发光(EL)显示装置及液晶显示装置等)中,在触摸面板内部,设置有相当于视觉辨认部的传感器的电极图案、外围配线部分及引出配线部分的配线等的导电层图案。
[0003]通常,在图案化的层的形成中,用于获得所需的图案形状的工序数量少,因此广泛使用利用感光性转印材料,隔着具有所期望的图案的掩模,对设置在任意基板上的感光性树脂组合物的层进行曝光之后再进行显影的方法。
[0004]并且,作为以往的感光性转印材料,已知有专利文献1中所记载的感光性转印材料。
[0005]在专利文献1中,记载有一种感光性转印材料,其在覆盖膜上依次具有感光层、中间层、粘结性层及临时支承体,上述中间层包含粒子,上述中间层与上述粘结性层接触,上述中间层与上述粘结性层能够剥离,剥离上述中间层与上述粘结性层之后的上述中间层的表面具有由上述粒子形成的凹凸。
[0006]专利文献1:国际公开第2019/146380号

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的技术课题
[0008]本专利技术的一实施方式所要解决的课题在于提供一种剥离保护膜而贴附感光性转印材料之后的第1树脂层与第2树脂层之间的剥离性优异的感光性转印材料。
[0009]并且,本专利技术的另一实施方式所要解决的课题在于,提供一种使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。
[0010]用于解决技术课题的手段
[0011]在用于解决上述课题的方案中包含以下方式。
[0012]<1>一种感光性转印材料,其依次具有保护膜、感光性树脂层、第1树脂层、第2树脂层及临时支承体,上述第1树脂层包含粒子,上述第1树脂层与上述第2树脂层接触,上述第1树脂层与上述第2树脂层能够剥离,上述第2树脂层含有具有聚乙烯结构的树脂。
[0013]<2>根据<1>所述的感光性转印材料,其中,
[0014]上述具有聚乙烯结构的树脂为具有乙烯

(甲基)丙烯酸共聚结构的树脂。
[0015]<3>根据<1>或<2>所述的感光性转印材料,其中,
[0016]上述具有聚乙烯结构的树脂是具有乙烯

(甲基)丙烯酸金属盐共聚结构的离聚物树脂。
[0017]<4>根据<1>至<3>中任一项所述的感光性转印材料,其中,
[0018]上述第1树脂层与上述第2树脂层之间的剥离力为1.0gf/cm以上。
[0019]<5>根据<1>至<4>中任一项所述的感光性转印材料,其中,
[0020]上述第1树脂层与上述第2树脂层之间的剥离力为大于上述感光性树脂层与上述保护膜之间的剥离力的值。
[0021]<6>根据<1>至<5>中任一项所述的感光性转印材料,其中,
[0022]上述第2树脂层的上述第1树脂层侧的表面上的水接触角为90度以下。
[0023]<7>根据<1>至<6>中任一项所述的感光性转印材料,其中,
[0024]剥离上述第1树脂层与上述第2树脂层之后的上述第1树脂层的表面具有由上述粒子形成的凹凸。
[0025]<8>一种树脂图案的制造方法,其依次包括:
[0026]从<1>至<7>中任一项所述的感光性转印材料剥离上述保护膜的工序;使剥离了上述保护膜的上述感光性转印材料中的上述感光性树脂层侧的最外层与基材接触而贴合的工序;从贴合在上述基材上的感光性转印材料剥离上述临时支承体及上述第2树脂层的工序;使曝光掩模与上述第1树脂层接触,间隔着上述曝光掩模对上述感光性树脂层进行曝光的工序;及对上述感光性树脂层进行显影而形成树脂图案的工序。
[0027]<9>一种电路配线的制造方法,其包括如下工序:
[0028]将通过<8>所述的树脂图案的制造方法形成的树脂图案作为掩模而对导电层进行蚀刻处理。
[0029]<10>一种触摸面板的制造方法,其包括如下工序:
[0030]将通过<8>所述的树脂图案的制造方法形成的树脂图案作为掩模而对导电层进行蚀刻处理,形成触摸面板用配线。
[0031]专利技术效果
[0032]根据本专利技术的一实施方式,能够提供一种剥离保护膜而贴附感光性转印材料之后的第1树脂层与第2树脂层之间的剥离性优异的感光性转印材料。
[0033]并且,根据本专利技术的另一实施方式,能够提供一种使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。
附图说明
[0034]图1是表示本专利技术中所使用的感光性转印材料的层结构的一例的概略剖视图。
[0035]图2是表示图案A的概略俯视图。
[0036]图3是表示图案B的概略俯视图。
具体实施方式
[0037]以下,对本专利技术的内容进行说明。另外,虽然参考附图进行说明,但有时省略符号。
[0038]另外,在本说明书中,使用“~”表示的数值范围是指将记载于“~”前后的数值作为下限值及上限值而包含的范围。
[0039]并且,在本说明书中,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸这两者或任意一种,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯这两者或任意一种,“(甲基)丙烯酰
基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基这两者或任意一种。
[0040]此外,在本说明书中,关于组合物中的各成分的量,在组合物中存在多个相当于各成分的物质的情况下,只要没有特别说明,则是指组合物中存在的相应的多个物质的合计量。
[0041]在本说明书中,“工序”这一术语不仅是指独立的工序,即使在无法与其他工序明确区分的情况下,只要达成工序的所期望的目的,则也包含在本术语中。
[0042]在本说明书中的基团(原子团)的标记中,未标注经取代及未经取代的标记包含不具有取代基的基团及具有取代基的基团。例如,“烷基”是指不仅包含不具有取代基的烷本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性转印材料,其依次具有保护膜、感光性树脂层、第1树脂层、第2树脂层及临时支承体,所述第1树脂层包含粒子,所述第1树脂层与所述第2树脂层接触,所述第1树脂层与所述第2树脂层能够剥离,所述第2树脂层含有具有聚乙烯结构的树脂。2.根据权利要求1所述的感光性转印材料,其中,所述具有聚乙烯结构的树脂为具有乙烯

(甲基)丙烯酸共聚结构的树脂。3.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料,其中,所述具有聚乙烯结构的树脂为具有乙烯

(甲基)丙烯酸金属盐共聚结构的离聚物树脂。4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性转印材料,其中,所述第1树脂层与所述第2树脂层之间的剥离力为1.0gf/cm以上。5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性转印材料,其中,所述第1树脂层与所述第2树脂层之间的剥离力为大于所述感光性树脂层与所述保护膜之间的剥离力的值。6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性转印材料,其中,所述第2树脂层的所述第1...

【专利技术属性】
技术研发人员:藤本进二佐藤守正平木大介有富隆志两角一真
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1