一种电子级NMP提纯的方法技术

一种电子级NMP提纯的方法，包括以下步骤：将金属离子与有机配体，在水或者有机溶剂中，按一定比例混合均匀；得到的混合物采用水热法、微波法、辐射合成等方法中的一种或几种在一定气氛下、温度、压力下反应一定时间，得到MOF；将所得MOF材料的一种或几种填充于吸附柱中，将NMP以一定流速注入吸附柱，并停留一定时间；将吸附柱出口收集处理后的NMP溶液，得到提纯后的NMP。本发明专利技术能够实现NMP溶液中绝大部分金属杂质的高效去除，能得到≥99.999%电子级NMP产品。NMP产品。NMP产品。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级NMP提纯的方法


[0001]本专利技术属于化工
，具体涉及一种电子级NMP提纯的方法和去除金属杂质的吸附材料。

技术介绍

[0002]N
‑
甲基吡咯烷酮（NMP）具有较高的化学稳定性、低毒性、低挥发性、可生物降解等性能，作为优良的有机溶剂应用广泛。NMP最早被应用在石化、农药、涂料等领域，但随着NMP纯度不断提升，电子级NMP由于纯度较高（通常在99.8%以上）、杂质较少（如金属离子含量在μg/L级别），被用作半导体溶剂、锂电池、精密仪器等电子产品生产和维护的清洗剂，及磁盘光刻胶的剥离液等高端领域。电子级NMP的纯度和杂质含量对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着至关重要的影响，大部分金属杂质含量要求控制在1μg/kg级别，甚至某些关键金属杂质含量要求控制在0.1μg/kg级别。
[0003]现有技术中NMP通过常规的精馏生产。虽然精馏可以在一定程度上提升NMP的品质纯度，但仍存在着一定含量的杂质，尤其是金属杂质，是使半导体产生漏电等问题的主要原因。NMP中的金属杂质主要来源于：1. 生产环境和制造过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级NMP提纯的方法，其特征在于，包括以下步骤：将MOF材料填充于吸附柱中，将NMP注入吸附柱，经停留吸附，收集吸附后的NMP溶液，得到电子级NMP。2.根据权利要求1所述的电子级NMP提纯的方法，其特征在于，所述的MOF材料为金属离子与咪唑类配体经有机溶剂混合后采用水热法、微波法、或球磨法中的一种或几种在一定气氛下和一定温度、压力下反应一定时间得到的。3.根据权利要求2所述的电子级NMP提纯的方法，其特征在于，所述的金属离子包括锌离子、铁离子、钴离子、镍离子、钌离子中的任意一种。4.根据权利要求3所述的电子级NMP提纯的方法，其特征在于，所述的咪唑类配体包括咪唑、咪唑啉、联咪唑、咪唑嗪、4
‑
咪唑丙烯酸、4
‑
苯基咪唑、5，6
‑
二甲基苯并咪唑、4
‑
硝基咪唑、二甲基咪唑及咪唑衍生物中的任意一种或几种的混合物。5.根据权利要求4所述的电子级NMP提纯的方法，其特征在于，所述的有机溶剂包括甲酰胺、苯甲酰胺、N
‑
甲基甲酰胺、N
‑
乙基甲酰胺、2
‑
氨基苯甲酰胺、N,N
‑
二甲基甲酰胺、N,N
‑
二甲基乙酰胺、N,N
‑
二甲基乙二胺、N,N
‑
二乙基甲酰胺、三乙胺、正己烷、甲醇、乙酸中的任意一种或几种的混合物。6.根据权利要求5所述的电子级NMP提纯的方法，其特征在于，金属离子、有机配体与有机溶剂的质量比为（1～10）：（0.1～1）：（10～20）。7.根据权利要求2
‑
6任一项所述的电子级NMP提纯的方法，其特征在于，所述的水热法是将金属离子与咪唑类配体经有机溶剂混合后在空气或惰性气氛下，在100
‑
300℃、
‑
10 MPa～1000 MPa的密闭环境中，进行水热反应1h
...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳克银，贺兆波，叶瑞，杜嬛，华超，张庭，王荣，彭俊杰，吴昊，吴文静，李晓宇，李琴，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：