一种调频变面积电涡流位移传感器制造技术

一种调频变面积电涡流位移传感器，包括振荡线圈、振荡电路板、电涡流目标板；其特征是：还包括振荡频率读出、运算及非线性校正板；振荡电路板上设两套相同的调频振荡电路；振荡电路板的被测位移方向的每端粘固着同套调频振荡电路的两振荡线圈且位置平行相对；各振荡线圈的扁平面与电涡流目标板的板面平行，同套调频振荡电路的两振荡线圈的扁平面与电涡流目标板的板面的垂直接近度相互补偿；电涡流目标板在被测位移方向的长度为振荡线圈在该方向的外边长与两套振荡线圈两接近边间距之和；两套调频振荡电路输出端接振荡频率读出、运算、非线性校正板。它能同时进行温度和接近度补偿及用软件进行非线性校正，且结构简单、体积小、性能强。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种位移传感器，具体是一种调频变面积电涡流位移传感器。
技术介绍
电涡流位移传感器按结构可分为变间隙型、变面积型、螺管型和低频透射型4类。变面积型传感器由扁平矩形线圈构成，它利用被测导体和传感器 扁平矩形线圈之间相对覆盖面积的变化所引起的电涡流效应强弱的变化来测 量位移。电涡流位移传感器采用的是感应电涡流原理。当带有高频电流的扁平线 圈靠近被测金属时，线圈上的高频电流在被探测金属表面上产生感应电涡流， 该感应电涡流又反过来影响扁平线圈的电感量，扁平线圈电感量的大小就与 扁平线圈和被测金属表面的重合面积、被测金属的几何尺寸、扁平线圈到被 测金属面的垂直距离、扁平线圈的几何形状、几何尺寸、圈数、电导率、磁 导率等参数相关。固定除重合面积外的后七个参数后，扁平线圈和被测金属 平行表面的重合面积就与线圈的电感量产生了单值函数关系，由于扁平线圈 和被测金属平行表面的重合面积与它们之间的相对平行位移大小单值相关， 从而位移值与线圈的电感量产生了单值函数关系。将线圈并联定值电容再连 接到振荡电路中，就建立了扁平线圈和被测金属表面的平行位移与振荡频率 的单值函数关系，就可用测得的振本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种调频变面积电涡流位移传感器，包括矩形扁平的振荡线圈、与位移测量的非动参考件固定在一起的振荡电路板、与被测移动目标位置相对固定的电涡流目标板；其特征是：还包括一振荡频率读出、运算及非线性校正板；所述振荡电路板上设有两套电路元件相同的调频振荡电路，每套调频振荡电路包括两个振荡线圈；振荡电路板的被测位移方向上的两端，每端粘固着同套调频振荡电路的两个串联振荡线圈且位置平行相对；各振荡线圈的扁平面与电涡流目标板的板面平行，且同套调频振荡电路的两个振荡线圈的扁平面与电涡流目标板的板面之间的垂直接近度相互补偿；电涡流目标板在被测位移方向上的长度为振荡线圈在被测位移方向上的外边长与两套振荡线圈两接近边间的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈育青，
申请(专利权)人：济南铁路天龙高新技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：88[中国|济南]