一种用于ITO靶材的烧结载具制造技术

本实用新型专利技术涉及烧结用具技术领域，公开了一种用于ITO靶材的烧结载具，包括：底板、支撑板、载物板以及挡条；所述底板用于水平放置在承烧板上；所述支撑板与所述底板固定连接；所述载物板倾斜设置，且所述载物板具有相对的第一边缘和第二边缘；所述第一边缘和所述第二边缘分别一一对应与所述底板和所述支撑板固定连接；所述载物板上开设有多个通孔，且多个所述通孔均匀分布在所述载物板上；所述载物板所在平面与所述底板所在平面相交形成的夹角为大于等于45

【技术实现步骤摘要】
一种用于ITO靶材的烧结载具


[0001]本技术涉及烧结用具
，特别是涉及一种用于ITO靶材的烧结载具。

技术介绍

[0002]目前，大部分ITO(氧化铟锡(Indium Tin Oxides)，简称ITO)靶材通常使用垫片来辅助烧结。一般将先将多个垫片间隔布设在水平设置的承烧板上，然后再将ITO平面靶材放置在多个呈间隔布设的垫片上烧结，由于烧结时ITO靶材会收缩，收缩运动的ITO靶材会带着垫片在承烧板上移动，垫片能减小ITO靶材与承烧板之间的摩擦力，能减少ITO靶材在收缩过程中发生开裂的情况；
[0003]但是间隔设置的垫片在靶材的重力作用下，垫片与承烧板的摩擦力增加，也会存在有不容易与承烧板发生相对移动多个垫片；因此在不容易与承烧板发生相对移动的各垫片之间，会造成ITO靶材在收缩过程中发生开裂；
[0004]同时，ITO靶材在加热到300摄氏度左右时，ITO靶材表面的水分或者添加剂会挥发，若ITO靶材与垫片的接触面没有良好的散热性和透气性也会造成ITO靶材开裂。
[0005]现有技术中是将垫片的上表面设计呈波纹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于ITO靶材的烧结载具，其特征在于，包括：底板，所述底板用于水平放置在承烧板上；支撑板，所述支撑板与所述底板固定连接；载物板，所述载物板倾斜设置，且所述载物板具有相对的第一边缘和第二边缘；所述第一边缘和所述第二边缘分别一一对应与所述底板和所述支撑板固定连接；所述载物板上开设有多个通孔，且多个所述通孔均匀分布在所述载物板上；所述载物板所在平面与所述底板所在平面相交形成的夹角为大于等于45
°
且小于90
°
；挡条，所述挡条沿所述第一边缘固定设置，且所述挡条与所述载物板垂直设置。2.根据权利要求1所述的烧结载具，其特征在于，所述支撑板与所述底板相交连接所形成的夹角为60
°
至90
°
。3.根据权利要求1所述的烧结载具，其特征在于，所述载物板为矩形板，且多个所述通孔呈矩形阵列分布在所述载物板上。4.根据权利要求1所述的烧结载具，其特征在于，两个相邻的所述通孔之间的间距为20mm至40...

【专利技术属性】
技术研发人员：马胜，康洙男，王梓通，余芳，李立维，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：新型
国别省市：