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本实用新型涉及烧结用具技术领域，公开了一种用于ITO靶材的烧结载具，包括：底板、支撑板、载物板以及挡条；所述底板用于水平放置在承烧板上；所述支撑板与所述底板固定连接；所述载物板倾斜设置，且所述载物板具有相对的第一边缘和第二边缘；所述第一边缘...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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