一种晶圆机械手校正治具制造技术

本实用新型专利技术属于治具技术领域，尤其为一种晶圆机械手校正治具，包括驱动装置、放置台，驱动装置上设置有机械手，机械手一端设置有抓取端，抓取端上有晶圆，放置台内设置限制件，放置台内设置有液压伸缩杆，放置台上顶部设置有安置区，放置台顶部位于安置区外侧设置有校正缺口，放置台内设置有弧形安装腔，放置台内位于弧形安装腔下方设置有安装槽，液压伸缩杆稳定安装在安装槽内，液压伸缩杆底部固定连接在安装槽底部。本实用新型专利技术设置限制件、液压伸缩杆、安置区、校正缺口，校正过程中不需要另外的附件，只需调整限制件限制机械手后对驱动装置与机械手之间的转动连接位置进行调整即可达到校正的效果，操作流程简单，操作便捷。操作便捷。操作便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆机械手校正治具


[0001]本技术涉及治具
，具体为一种晶圆机械手校正治具。

技术介绍

[0002]半导体加工过程涉及多种工艺，每种工艺需要用到不同的设备，很多工艺都需要预先获得晶圆准确的位置状态。现有技术中，作为半导体设备的关键部位之一的晶圆传送装置是晶圆制造厂中常用的设备，用于抓取晶圆并将其传送至下一目的地，该抓取动作由晶圆传送装置的机械手臂来完成，当晶圆传送装置工作一段时间后，需要对机械手进行初始位置校正，以保证其位置精度。
[0003]申请号：202023325074.2，提出的晶圆机械手校正治具，用于校正晶圆机械手的相对于晶圆放置台的位置，晶圆径向限位的放置于所述晶圆放置台上设置的晶圆限位区内，所述晶圆机械手校正治具包括一圆盘，与所述晶圆尺寸相同，设置在所述的晶圆限位区，所述圆盘中心连接有凸台，所述凸台上开设有第一定位槽，所述第一定位槽为一开放的U形下沉平台，所述第一定位槽包括第一定位圆弧以及平滑衔接于所述第一定位圆弧两侧的第一导向面，所述第一定位圆弧与所述圆盘同轴，所述的两个第一导向面夹角大于0度且小于90度。本申请校正过程快速准确，将以往每次1到2个小时的校正时间缩短到几分钟，减少了因机械手导致的停机停产时间，提高了半导体生产线的生产效率。
[0004]现有技术存在以下问题：
[0005]现有技术的晶圆机械手校正治具在进行校正过程中需要借助对应附件与放置台、机械手进行相互配合才能正确进行校正，操作流程繁琐，且附件丢失，则会直接导致不能进行校正。

技术实现思路
r/>[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆机械手校正治具，解决了现今存在的校正过程中需要借助对应附件与放置台、机械手进行相互配合才能正确进行校正，操作流程繁琐，且附件丢失，则会直接导致不能进行校正的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆机械手校正治具，包括驱动装置、放置台，所述驱动装置上设置有机械手，所述机械手一端设置有抓取端，所述抓取端上有晶圆，所述放置台内设置限制件，所述放置台内设置有液压伸缩杆，所述放置台上顶部设置有安置区，所述放置台顶部位于安置区外侧设置有校正缺口，所述放置台内设置有弧形安装腔，所述放置台内位于弧形安装腔下方设置有安装槽。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案：所述弧形安装腔共有两组且相互对应，每组所述弧形安装腔底部开设有三组安装槽，所述安装槽与弧形安装腔之间相连通。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案：所述液压伸缩杆稳定安装在安装槽内，所述液压伸缩杆底部固定连接在安装槽底部。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案：所述限制件共有两组，两组所述限制件分
别安插在弧形安装腔内且顶端略伸出放置台顶端。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案：所述限制件底端固定连接在液压伸缩杆顶部输出端。
[0012]作为本技术的一种优选技术方案：两组所述限制件之间在放置台顶端形成安置区，两组所述限制件两侧之间形成校正缺口。
[0013]作为本技术的一种优选技术方案：所述校正缺口与机械手的宽度相适配，所述校正缺口的中心位置对应安置区的中心位置。
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种晶圆机械手校正治具，具备以下有益效果：
[0015]该一种晶圆机械手校正治具，通过设置限制件、液压伸缩杆、安置区、校正缺口，需要进行机械手校正时，操作机械手与校正缺口对应，通过液压伸缩杆顶动限制件上升直到超过机械手的高度，机械手将会被两组限制件限制在校正缺口中，机械手的指向位置此时为准确的，之后调整驱动装置与机械手之间的转动连接位置，使驱动装置、机械手、限制件之间形成的安置区三者之间的相对位置关系得到校准，最后紧固对应连接结构即可校准完成，校正过程中不需要另外的附件，只需调整限制件限制机械手后对驱动装置与机械手之间的转动连接位置进行调整即可达到校正的效果，操作流程简单，操作便捷。
附图说明
[0016]图1为本技术整体示意图；
[0017]图2为本技术限制件安装在放置台内组合立体示意图；
[0018]图3为本技术限制件立体结构示意图；
[0019]图4为本技术弧形安装腔示意图。
[0020]图中：1、驱动装置；2、机械手；3、抓取端；4、晶圆；5、放置台；6、限制件；7、液压伸缩杆；8、安置区；9、校正缺口；10、弧形安装腔；11、安装槽。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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4，本实施方案中：一种晶圆机械手校正治具，包括驱动装置1、放置台5，驱动装置1上设置有机械手2，机械手2一端设置有抓取端3，抓取端3上有晶圆4，放置台5内设置限制件6，放置台5内设置有液压伸缩杆7，放置台5上顶部设置有安置区8，放置台5顶部位于安置区8外侧设置有校正缺口9，放置台5内设置有弧形安装腔10，放置台5内位于弧形安装腔10下方设置有安装槽11。
[0023]本实施例中，弧形安装腔10共有两组且相互对应，每组弧形安装腔10底部开设有三组安装槽11，安装槽11与弧形安装腔10之间相连通，通过弧形安装腔10便于限制件6安装；液压伸缩杆7稳定安装在安装槽11内，液压伸缩杆7底部固定连接在安装槽11底部，通过液压伸缩杆7可顶动限制件6；限制件6共有两组，两组限制件6分别安插在弧形安装腔10内
且顶端略伸出放置台5顶端，通过限制件6可在放置台5顶端形成安置区8、校正缺口9；限制件6底端固定连接在液压伸缩杆7顶部输出端；两组限制件6之间在放置台5顶端形成安置区8，两组限制件6两侧之间形成校正缺口9；校正缺口9与机械手2的宽度相适配，校正缺口9的中心位置对应安置区8的中心位置，通过校正缺口9可便于校正机械手2，通过安置区8可便于安置晶圆4。
[0024]本技术的工作原理及使用流程：在需要进行机械手2校正时，操作者优先操作机械手2与校正缺口9对应，通过对应的液压伸缩杆7顶动限制件6上升直到超过机械手2的高度，此时机械手2将会被两组限制件6限制在校正缺口9中，此时的机械手2的指向位置为准确的，由于校正缺口9的中心位置对应安置区8的中心位置，且机械手2的宽度与校正缺口9适配，所以在机械手2置于校正缺口9内时，机械手2与安置区8之间的相对位置是准确的，然后对应调整驱动装置1与机械手2之间的转动连接位置，使驱动装置1、机械手2、限制件6之间形成的安置区8三者之间的相对位置关系得到校准，最后紧固对应连接结构即可，校准完成之后，通过液压伸缩杆7控制两组限制件6下降，直到限制件6顶部稍漏出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆机械手校正治具，其特征在于，包括驱动装置(1)、放置台(5)，所述驱动装置(1)上设置有机械手(2)，所述机械手(2)一端设置有抓取端(3)，所述抓取端(3)上有晶圆(4)，所述放置台(5)内设置限制件(6)，所述放置台(5)内设置有液压伸缩杆(7)，所述放置台(5)上顶部设置有安置区(8)，所述放置台(5)顶部位于安置区(8)外侧设置有校正缺口(9)，所述放置台(5)内设置有弧形安装腔(10)，所述放置台(5)内位于弧形安装腔(10)下方设置有安装槽(11)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手校正治具，其特征在于：所述弧形安装腔(10)共有两组且相互对应，每组所述弧形安装腔(10)底部开设有三组安装槽(11)，所述安装槽(11)与弧形安装腔(10)之间相连通。3.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手校正治具，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨亮亮，陈洪立，俞智勇，梁少敏，
申请(专利权)人：江苏希太芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：