一种线圈高度调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于真空设备或半导体设备技术领域，尤其涉及一种线圈高度调节装置。其实现了线圈调节，大大的提高了工作效率和节省了工作时间，给工人也减轻很多劳动，增加了生产效率。包括位于真空室内的线圈；所述线圈外侧设置有多个丝杆，丝杆与线圈转动连接；每个丝杆下方均设置有一铜套，该铜套底部支撑于真空室底面；所述丝杆与铜套螺纹连接；所述铜套外壁加工有六棱卡环。壁加工有六棱卡环。壁加工有六棱卡环。

【技术实现步骤摘要】
一种线圈高度调节装置


[0001]本技术属于真空设备或半导体设备
，尤其涉及一种线圈高度调节装置。

技术介绍

[0002]目前，真空行业生产提供热能的方法有两种：第一种是线圈加热，就是对线圈提供电流产生电场，从而使石墨基座在此电场内产生热量，为生产提供热能。第二种是电阻加热，也就是高电阻灯管直接在电流作用下产生热能的方法。
[0003]因为工艺必须在高温下进行，通常需要的温度很高，所以不管是以上提到的哪种加热方式，均是工艺生产中必不可少的一部分。而工艺生产中，对于产品的受热都需要达到一个均匀性的要求，所以在此前提之下对于第一种加热方式中线圈调节装置的作用更加突出，增加线圈高度的调节，线圈高度的可调性对于产品生产中所受热场是否均匀起到重要作用。另外，由于现有线圈调节都是在外部调整的，当放于真空室内部时可调空间较小，在真空室外所调的能接收热场温度的高度并没有达到最理想的位置，无法满足产品最优的生长要求，造成使用不便，需要反复调整。

技术实现思路

[0004]本技术就是针对现有技术存在的缺陷，提供一种线圈高度调节装置。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线圈高度调节装置，包括位于真空室内的线圈；其特征在于：所述线圈外侧设置有多个丝杆，丝杆与线圈相连；每个丝杆下方均设置有一铜套，该铜套底部支撑于真空室底面；所述丝杆与铜套螺纹连接；所述铜套外壁加工有六棱卡环。2.根据权利要求1所述的一种线圈高度调节装置，其特征在于：所述铜套底部设置有脚垫。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔洁，赵科新，孙浩，王海涛，王学峰，
申请(专利权)人：沈阳天科合达半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：