温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于真空设备或半导体设备技术领域，尤其涉及一种线圈高度调节装置。其实现了线圈调节，大大的提高了工作效率和节省了工作时间，给工人也减轻很多劳动，增加了生产效率。包括位于真空室内的线圈；所述线圈外侧设置有多个丝杆，丝杆与线圈转动连接；...
该专利属于沈阳天科合达半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳天科合达半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。