射频电源自动调谐装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种射频电源自动调谐装置和方法，包括：微控制器单元(3)、频率发生单元(4)、幅度发生单元(5)，电压采集单元(6)；通过对输出频率步进变化的方式，对射频电源进行频率控制，并采集调谐电压；将调谐电压反向变动前的输出频率认为是谐振频率。本发明专利技术实现了通过频率对射频电源进行自动调谐，与传统的电容及电感调谐方式相比更方便，并且所使用的对谐振点的判断依据比传统输入电流判断依据更为准确。准确。准确。

【技术实现步骤摘要】
射频电源自动调谐装置和方法


[0001]本专利技术涉及质谱仪射频电源，具体地，涉及射频电源自动调谐装置和方法。

技术介绍

[0002]射频电源是质谱仪的核心部件之一，它用于产生射频高压电场，驱动离子在质谱仪的质量分析器内规律运动。质谱仪整机性能的优劣很大程度上取决于射频电源的电压与频率等参数。射频电源产生射频高压是基于LC谐振技术，射频电源工作状态越接近LC的谐振点，射频电源产生的高压幅值越大，功耗越小。因此，射频电源调谐是使射频电源工作在最佳状态达到高性能的一项重要调节过程。
[0003]传统的射频电源主要通过调节电感参数或者调节电容参数来进行调谐，并通过射频电源的输入电流来判断谐振点。通过电感调节谐振点的方法，一般是在两个次级线圈内部插入两个相同磁导率的介质，并通过调节两个介质在线圈内的位置来改变电感参数，从而达到调谐的目的。这种调谐方式的弊端在于，难以保证两个次级线圈的电感量相等，从而无法保证两路输出电压幅度的一致性。通过电容调节谐振点的方法一般是在射频电源次级线圈的两个输出端并联一个微调的空气电容，通过调节该微调电容的容值来改变本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种射频电源自动调谐装置，其特征在于，包括：微控制器单元(3)、频率发生单元(4)、幅度发生单元(5)，电压采集单元(6)；微控制器单元(3)根据调谐电压，分别产生控制信号给频率发生单元(4)、幅度发生单元(5)、电压采集单元(6)；频率发生单元(4)根据控制信号，输出设定频率的方波信号输出至射频电源(7)；幅度发生单元(5)根据控制信号，得到设定幅度的直流电压信号，并调理至适合射频电源(7)输入的电压范围内；电压采集单元(6)根据控制信号，将射频电源(7)的调谐电压发送给微控制器单元(3)。2.根据权利要求1所述的射频电源自动调谐装置，其特征在于，初始时，微控制器单元(3)根据来自上位机(1)的预设值的频率和幅度信号，通过控制信号向频率发生单元(4)、幅度发生单元(5)分别指示预设频率、预设幅度。3.根据权利要求2所述的射频电源自动调谐装置，其特征在于，频率发生单元(4)根据设定的步长对预设频率进行自动增加；电压采集单元(6)在频率发生单元(4)增加频率后进行调谐电压采集；微控制器单元(3)将当前采集的调谐电压与前次采集的调谐电压进行电压值比较；若当前采集的调谐电压大于等于前次采集的调谐电压，则指示频率发生单元(4)继续增加频率输出，并继续采集调谐电压；若当前采集的调谐电压小于前次采集的调谐电压，则指示频率发生单元(4)减小频率输出，并继续采集调谐电压；直至频率变化过程中调谐电压出现反方向变动；在调谐电压出现反方向变动前频率发生单元(4)输出的频率即为谐振频率。4.根据权利要求3所述的射频电源自动调谐装置，其特征在于，频率发生单元(4)以固定步长增加或减小频率。5.根据权利要求1所述的射频电源自动调谐装置，其特征在于，频率发生单元(4)包括频率合成芯片(401)、滤波电路、波形整形电路(402)；频率合成芯片(401)接收微控制器单元(3)输出的控制信号，输出设定频率的正弦波信号；波形整形电路(402)将经过滤波电路后的正弦波信号整形成方波信号输出至射频电源(7)；其中，滤波电路采用...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈辉，陈延龙，侍尉，郭锡岩，景加荣，
申请(专利权)人：上海裕达实业有限公司，
类型：发明
国别省市：