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本发明提供了一种射频电源自动调谐装置和方法，包括：微控制器单元(3)、频率发生单元(4)、幅度发生单元(5)，电压采集单元(6)；通过对输出频率步进变化的方式，对射频电源进行频率控制，并采集调谐电压；将调谐电压反向变动前的输出频率认为是谐振...
该专利属于上海裕达实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海裕达实业有限公司授权不得商用。

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