用于沉积设备的检测机构制造技术

本申请涉及一种用于沉积设备的检测机构。一种用于沉积设备的检测机构，包括气体检测仪以及导气管，气体检测仪具有进气口，导气管连接于气体检测仪，且导气管连接气体检测仪的一端与进气口相连通。其中，气体检测仪用于检测进入进气口内的目标气体的浓度。可将该检测机构应用于狭小空间处，可拓宽检测机构的应用范围。围。围。

【技术实现步骤摘要】
用于沉积设备的检测机构


[0001]本申请涉及沉积设备
，特别是涉及一种用于沉积设备的检测机构。

技术介绍

[0002]晶圆制造过程包括氧化、沉积、光刻、刻蚀和离子注入/扩散等过程。相关技术中，通常利用沉积设备对晶圆进行沉积，沉积设备的气密性直接影响着晶圆沉积的质量，为此，需要对沉积设备的气密性进行检测，然而，传统的检测机构存在应用局限性。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种用于沉积设备的检测机构，可检测沉积设备的气密性。
[0004]本申请提供了一种用于沉积设备的检测机构，包括：
[0005]气体检测仪，具有进气口；以及
[0006]导气管，连接于所述气体检测仪，且所述导气管连接所述气体检测仪的一端与所述进气口相连通；
[0007]其中，所述气体检测仪用于检测进入所述进气口内的目标气体的浓度。
[0008]在其中一个实施例中，所述检测机构还包括具有预设尺寸的集气部件，所述集气部件具有集气口和与所述集气口相连通的导气口；
[0009]所述导气管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于沉积设备的检测机构，其特征在于，包括：气体检测仪(110)，具有进气口(111)；以及导气管(120)，连接于所述气体检测仪(110)，且所述导气管(120)连接所述气体检测仪(110)的一端与所述进气口(111)相连通；其中，所述气体检测仪(110)用于检测进入所述进气口(111)内的目标气体的浓度。2.根据权利要求1所述的用于沉积设备的检测机构，其特征在于，所述检测机构(10)还包括具有预设尺寸的集气部件(130)，所述集气部件(130)具有集气口(131)和与所述集气口(131)相连通的导气口(132)；所述导气管(120)连接于所述气体检测仪(110)和所述集气部件(130)之间，所述导气管(120)的一端与所述进气口(111)相连通，所述导气管(120)的另一端与所述导气口(132)相连通。3.根据权利要求2所述的用于沉积设备的检测机构，其特征在于，所述集气部件(130)被构造为弧形结构，所述集气部件(130)背离所述导气口(132)的一侧设有弧面(133)，所述弧面(133)上设有沿所述弧面(133)的弧长方向间隔布设的多个所述集气口(131)。4.根据权利要求3所述的用于沉积设备的检测机构，其特征在于，所述集气部件(130)被构造为椭圆弧形结构，所述导气口(132)设于所述椭圆弧形结构沿所述椭圆弧形结构的长轴方向的一端。5.根据权利要求2所述的用于沉积设备的检测机构，其特征在于，所述导气管(120)的一端与所述进气口(111)可拆卸地连通，所述导气管(120)的另一端与所述导气口(132)可拆卸地连通。6.根据权利要求2所述的用于沉积设备的检测机构，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖礼达，赵超，安云富，
申请(专利权)人：上海鼎泰匠芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：