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本申请涉及一种用于沉积设备的检测机构。一种用于沉积设备的检测机构，包括气体检测仪以及导气管，气体检测仪具有进气口，导气管连接于气体检测仪，且导气管连接气体检测仪的一端与进气口相连通。其中，气体检测仪用于检测进入进气口内的目标气体的浓度。可将...
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