移载装置、真空移载箱和真空镀膜设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种移载装置、真空移载箱和真空镀膜设备，通过第二移载机构滑动连接于第一移载机构，第三移载机构滑动连接于第二移载机构，转动送料机构滑动连接于第三移载机构，因此当第一移载机构沿着第一方向移动时就能够带动转动送料机构移动，当第二移载机构沿着第二方向移动时能够带动转动送料机构移动，当第三移载机构沿着第三方向移动时能够带动转动送料机构移动，而转动送料机构在第三移载机构上能够转动，且转动轴线与第一方向平行，从而可以将货笼从上一工序转移至下一工序，无需破坏真空环境，节约了人工上下料操作时的抽真空时间且上下料所需的操作时间，提高了镀膜流程的整体节拍速度，进而提高了生产效率。进而提高了生产效率。进而提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
移载装置、真空移载箱和真空镀膜设备


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种移载装置、真空移载箱和真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
[0003]目前，镀膜行业大部分采用的都是人工上料和下料，也就是说镀膜件每完成一次镀膜工序后都需要打开箱门，再将镀膜件转移至下一工序的工位处。在开启箱门后镀膜的真空环境被破坏。当镀膜件进行下个工序时，需要花费时间将箱内抽成真空。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种移载装置、真空移载箱和真空镀膜设备，无需破坏真空环境，节约了人工上下料操作时的抽真空时间且上下料所需的操作时间，提高了镀膜流程的整体节拍速度，进而提高了生产效率。
[0005]第一方面，本专利技术提供一种移载装置，包括框架、第一移载机构、第二移载机构、第三移载机构和转动送料机构；所述第一移载机构滑动连接于所述框架，且能够相对于所述框架沿着第一方向移动；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种移载装置，其特征在于，包括框架、第一移载机构、第二移载机构、第三移载机构和转动送料机构；所述第一移载机构滑动连接于所述框架，且能够相对于所述框架沿着第一方向移动；所述第二移载机构滑动连接于所述第一移载机构，且能够相对于所述第一移载机构沿第二方向移动；所述第三移载机构滑动连接于所述第二移载机构，且能够相对于所述第二移载机构沿第三方向移动；所述转动送料机构可转动设置于所述第三移载机构，且所述转动送料机构的转动轴线平行于所述第一方向，所述转动送料机构能够夹取货笼；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。2.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，所述框架和所述第二移载机构之间连接有第一导向组件，所述第一导向组件相对于所述框架能够沿所述第二方向移动，且所述第一导向组件能够在所述第一方向伸缩。3.根据权利要求2所述的移载装置，其特征在于，所述第一导向组件包括滑动连接的第一导向件和第二导向件，所述第一导向件和所述第二导向件能够产生沿所述第一方向的相对滑动；所述第一导向件与所述第二移载机构连接；所述第二导向件与所述框架连接，且能够沿所述第二方向移动。4.根据权利要求3所述的移载装置，其特征在于，所述框架设置有第二驱动机构，所述第二驱动机构与所述第二导向件连接，用于驱动所述第二导向件沿所述第二方向移动。5.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，所述框架和所述第三移载机构之间连接有第二导向组件，所述第二导向组件相对于所述框架能够沿所述第三方向移动，且所述第二导向组件能够沿所述第一方向伸缩。6.根据权利要求5所述的移载装置，其特征在于，所述第二导向组件包括第三导向件和第四导向件，所述第三导向件和所述第四导向件能够产生沿所述第一方向的相对滑动；所述第三导向件与所述第三移载机构连接；所述第四导向件与所述框架连接，且能够沿所述第二方向移动。7.根据权利要求6所述的移载装置，其特征在于，所述框架滑动连接有传动架体，所述传动架体与所述第四导向件滑动连接，所述传动架体相对于所述框架能够沿所述第三方向移动，所述第四导向件相对于所述传动架体能够沿所述第二方向移动。8.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，所述移载装置包括旋转机构，所述旋转机构包括第一旋转组件和第二旋转组件；所述第一旋转组件和所述第二旋转组件沿着所述第三方向间隔分布；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：虞文韬，王来泉，晏海燕，谢振岗，
申请(专利权)人：维达力实业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：