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本发明公开一种移载装置、真空移载箱和真空镀膜设备，通过第二移载机构滑动连接于第一移载机构，第三移载机构滑动连接于第二移载机构，转动送料机构滑动连接于第三移载机构，因此当第一移载机构沿着第一方向移动时就能够带动转动送料机构移动，当第二移载机构...
该专利属于维达力实业(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过维达力实业(深圳)有限公司授权不得商用。

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