反射镜退回装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于显示技术领域，公开了一种反射镜退回装置及蒸镀设备。该反射镜退回装置包括反射镜、连接支架和传动齿轮，反射镜上设有连接齿条，连接支架设于反射镜的上方，连接支架被配置为能沿Z方向运动，连接支架上设置有传动齿条；连接齿条和传动齿条分别与传动齿轮啮合，连接支架沿Z方向运动时，能使传动齿条通过传动齿轮带动连接齿条沿X方向运动，连接齿条运动时能带动反射镜沿X方向运动。本实用新型专利技术提供的蒸镀设备包括上述的反射镜退回装置。本实用新型专利技术提供的反射镜退回装置，能有效控制反射镜沿X方向的运动精准度，且齿轮传动更加稳定便捷，提高了反射镜运动的稳定性和可靠性。靠性。靠性。

【技术实现步骤摘要】
反射镜退回装置及蒸镀设备


[0001]本技术涉及显示
，尤其涉及一种反射镜退回装置及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]现有技术中，如图1所示，蒸镀机上的反射镜100＇常由线性马达控制，马达的输出轴200＇推动滚轮300＇沿三角形基座滑块400＇的斜面滚动，滚轮300＇推动三角形基座滑块400＇沿X方向运动，三角形基座滑块400＇带动与其固连的反射镜100＇运动，反射镜100＇需退回时由弹簧500＇拉回，对于行程和位置无法准确控制，拉回过程中，弹簧500＇久经使用，弹簧500＇弹力无法和第一次使用相比较，从而造成反射镜100＇无法回到正常位置，导致蒸镀机成膜异常，或者，弹簧500＇拉力导致反射镜100＇退回过快，撞击机构，撞击过程中产生碰撞颗粒，造成设备留存残余颗粒物的风险。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种反射镜退回装置及蒸镀设备，旨在提高反射镜运动的精准度，并提高反射镜运动时的稳定性和可靠性。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]反射镜退回装置，包括：
[0本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.反射镜退回装置，其特征在于，包括：反射镜(100)，所述反射镜(100)上设有连接齿条；连接支架，设于所述反射镜(100)的上方，所述连接支架被配置为能沿Z方向运动，所述连接支架上设置有传动齿条；传动齿轮，所述连接齿条和所述传动齿条分别与所述传动齿轮啮合，所述连接支架沿Z方向运动时，能使所述传动齿条通过所述传动齿轮带动所述连接齿条沿X方向运动，所述连接齿条运动时能带动所述反射镜(100)沿X方向运动。2.根据权利要求1所述的反射镜退回装置，其特征在于，所述反射镜退回装置还包括驱动件，所述驱动件与所述连接支架传动连接，所述驱动件用于驱动所述连接支架沿Z方向运动。3.根据权利要求2所述的反射镜退回装置，其特征在于，所述驱动件设置为马达。4.根据权利要求1所述的反射镜退回装置，其特征在于，所述传动齿条包括第一传动齿条(410)和第二传动齿条(420)，所述第一传动齿条(410)和所述第二传动齿条(420)均设于所述连接支架，所述传动齿轮包括第一传动齿轮(510)和第二传动齿轮(520)，所述连接齿条包括第一连接齿条(210)和第二连接齿条(220)，所述第一连接齿条(210)和所述第二连接齿条(220)间隔设置于所述反射镜(100)上，所述第一传动齿条(410)通过所述第一传动齿轮(510)带动所述第一连接齿条(210)运动，所述第二传动齿条(420)通过所述第二传动齿轮(520)带动所述第二连接齿条(220)运动。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋力，章丰帆，崔伟伟，张亚东，董旭，
申请(专利权)人：合肥视涯显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：