反射镜退回装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于显示技术领域，公开了一种反射镜退回装置及蒸镀设备。该反射镜退回装置包括反射镜、连接支架和传动齿轮，反射镜上设有连接齿条，连接支架设于反射镜的上方，连接支架被配置为能沿Z方向运动，连接支架上设置有传动齿条；连接齿条和传动齿条分别与传动齿轮啮合，连接支架沿Z方向运动时，能使传动齿条通过传动齿轮带动连接齿条沿X方向运动，连接齿条运动时能带动反射镜沿X方向运动。本实用新型专利技术提供的蒸镀设备包括上述的反射镜退回装置。本实用新型专利技术提供的反射镜退回装置，能有效控制反射镜沿X方向的运动精准度，且齿轮传动更加稳定便捷，提高了反射镜运动的稳定性和可靠性。靠性。靠性。

【技术实现步骤摘要】
反射镜退回装置及蒸镀设备


[0001]本技术涉及显示
，尤其涉及一种反射镜退回装置及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]现有技术中，如图1所示，蒸镀机上的反射镜100＇常由线性马达控制，马达的输出轴200＇推动滚轮300＇沿三角形基座滑块400＇的斜面滚动，滚轮300＇推动三角形基座滑块400＇沿X方向运动，三角形基座滑块400＇带动与其固连的反射镜100＇运动，反射镜100＇需退回时由弹簧500＇拉回，对于行程和位置无法准确控制，拉回过程中，弹簧500＇久经使用，弹簧500＇弹力无法和第一次使用相比较，从而造成反射镜100＇无法回到正常位置，导致蒸镀机成膜异常，或者，弹簧500＇拉力导致反射镜100＇退回过快，撞击机构，撞击过程中产生碰撞颗粒，造成设备留存残余颗粒物的风险。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种反射镜退回装置及蒸镀设备，旨在提高反射镜运动的精准度，并提高反射镜运动时的稳定性和可靠性。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]反射镜退回装置，包括：
[0006]反射镜，所述反射镜上设有连接齿条；
[0007]连接支架，设于所述反射镜的上方，所述连接支架被配置为能沿Z方向运动，所述连接支架上设置有传动齿条；
[0008]传动齿轮，所述连接齿条和所述传动齿条分别与所述传动齿轮啮合，所述连接支架沿Z方向运动时，能使所述传动齿条通过所述传动齿轮带动所述连接齿条沿X方向运动，所述连接齿条运动时能带动所述反射镜沿X方向运动。
[0009]可选地，所述反射镜退回装置还包括驱动件，所述驱动件与所述连接支架传动连接，所述驱动件用于驱动所述连接支架沿Z方向运动。
[0010]可选地，所述驱动件设置为马达。
[0011]可选地，所述传动齿条包括第一传动齿条和第二传动齿条，所述第一传动齿条和所述第二传动齿条均设于所述连接支架，所述传动齿轮包括第一传动齿轮和第二传动齿轮，所述连接齿条包括第一连接齿条和第二连接齿条，所述第一连接齿条和所述第二连接齿条间隔设置于所述反射镜上，所述第一传动齿条通过所述第一传动齿轮带动所述第一连接齿条运动，所述第二传动齿条通过所述第二传动齿轮带动所述第二连接齿条运动。
[0012]可选地，所述连接支架包括主连接架以及分别与所述主连接架连接的第一分支架和第二分支架，所述第一传动齿条设于所述第一分支架上，所述第二传动齿条设于所述第二分支架上。
[0013]可选地，所述第一连接齿条设于所述反射镜的侧面，所述第二连接齿条设于所述反射镜的上表面。
[0014]可选地，所述第一传动齿轮的直径为9cm
‑
11cm；
[0015]所述连接支架的高度为18cm
‑
20cm；
[0016]所述第一连接齿条的长度为4cm
‑
6cm；
[0017]所述第二连接齿条的长度为4cm
‑
6cm。
[0018]可选地，所述第一分支架和所述第二分支架并排设置。
[0019]可选地，所述反射镜退回装置还包括固定架，所述传动齿轮通过转动轴与所述固定架转动连接。
[0020]蒸镀设备，包括上述任一方案所述的反射镜退回装置，所述蒸镀设备包括蒸镀腔体，所述反射镜退回装置设于所述蒸镀腔体内。
[0021]本技术的有益效果：本技术提供的反射镜退回装置，通过设置连接支架，连接支架沿Z方向运动时，以带动传动齿条上下运动，传动齿条通过传动齿轮带动连接齿条沿X方向运动，连接齿条沿X方向运动时能带动与其连接的反射镜运动，以控制反射镜沿X方向的运动精准度，且齿轮传动更加稳定便捷，提高了反射镜运动的稳定性和可靠性。
[0022]本技术提供的蒸镀设备，包括上述的反射镜退回装置，该反射镜退回装置能有效控制反射镜的运动精准度，保证反射镜顺利退回正常位置，避免蒸镀设备出现成膜异常的问题，且齿轮传动能保证反射镜退回时的运动稳定性，避免出现撞击，进而防止蒸镀设备内残留颗粒物。
附图说明
[0023]图1是现有技术提供的反射镜退回装置的结构示意图；
[0024]图2是本技术实施例提供的反射镜退回装置的结构示意图。
[0025]图中：
[0026]100＇、反射镜；200＇、输出轴；300＇、滚轮；400＇、三角形基座滑块；500＇、弹簧；
[0027]100、反射镜；
[0028]210、第一连接齿条； 220、第二连接齿条；
[0029]310、主连接架； 320、第一分支架； 330、第二分支架；
[0030]410、第一传动齿条；420、第二传动齿条；
[0031]510、第一传动齿轮；520、第二传动齿轮。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0033]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0034]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之
“
下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0035]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0036]本实施例提供了一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括反射镜退回装置，蒸镀设备还包括蒸镀腔体，反射镜退回装置设置于蒸镀腔体内，该反射镜退回装置采用齿轮传动来带动反射镜退回或推进，提高了反射镜运动的稳定性和可靠性。
[0037]具体地，如图2所示，该反射镜退回装置包括反射镜100、连接支架和传动齿轮，反射镜100上设有连接齿条，连接支架设于反射镜100的上方，连接支架被配置为能沿Z方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.反射镜退回装置，其特征在于，包括：反射镜(100)，所述反射镜(100)上设有连接齿条；连接支架，设于所述反射镜(100)的上方，所述连接支架被配置为能沿Z方向运动，所述连接支架上设置有传动齿条；传动齿轮，所述连接齿条和所述传动齿条分别与所述传动齿轮啮合，所述连接支架沿Z方向运动时，能使所述传动齿条通过所述传动齿轮带动所述连接齿条沿X方向运动，所述连接齿条运动时能带动所述反射镜(100)沿X方向运动。2.根据权利要求1所述的反射镜退回装置，其特征在于，所述反射镜退回装置还包括驱动件，所述驱动件与所述连接支架传动连接，所述驱动件用于驱动所述连接支架沿Z方向运动。3.根据权利要求2所述的反射镜退回装置，其特征在于，所述驱动件设置为马达。4.根据权利要求1所述的反射镜退回装置，其特征在于，所述传动齿条包括第一传动齿条(410)和第二传动齿条(420)，所述第一传动齿条(410)和所述第二传动齿条(420)均设于所述连接支架，所述传动齿轮包括第一传动齿轮(510)和第二传动齿轮(520)，所述连接齿条包括第一连接齿条(210)和第二连接齿条(220)，所述第一连接齿条(210)和所述第二连接齿条(220)间隔设置于所述反射镜(100)上，所述第一传动齿条(410)通过所述第一传动齿轮(510)带动所述第一连接齿条(210)运动，所述第二传动齿条(420)通过所述第二传动齿轮(520)带动所述第二连接齿条(220)运动。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋力，章丰帆，崔伟伟，张亚东，董旭，
申请(专利权)人：合肥视涯显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：