【技术实现步骤摘要】
一种193nm干法光刻胶用添加剂及其制备方法和应用
[0001]本专利技术涉及一种193nm干法光刻胶用添加剂及其制备方法和应用。
技术介绍
[0002]在使用ArF受激准分子激光作为光源的ArF干法光刻法中,在投影透镜和晶片衬底之间的空间充满水。根据该方法,即使使用具有1.0以上的NA的透镜,也可以利用水在193nm处的折射率来形成图案,并且此方法通常被称为浸没式光刻法。然而,由于光刻胶膜直接与水接触,光刻胶图案由于溶胀而可能变形或可能崩溃,或可能产生各种缺陷如气泡和水印。为此,亟需开发能改善该种情况的光刻胶树脂或添加剂。
[0003]在微电子工业以及其它工业包括微结构制造(比如,微型机器、磁电阻头等)中,一直都希望降低结构部件的尺寸。在微电子工业中,希望降低微电子设备的尺寸和/或为给定的芯片尺寸提供更多的电路数目。制造更小设备的能力受到光刻技术能否可靠分辨更小特征和间隙能力的限制。镜头性质使得产生更精细分辨率的能力在某些程度上受到形成光刻图案所用光波(或其它辐射)波长的限制。因此,光刻工艺中更短光波波长的应用一直都是正在推进的趋势。随着近年来大规模集成电路(Large Scale Integration,LSI)具有更高的集成度和更高的速度,需要光致光刻胶的准确微图案化。作为形成抗蚀图案中所用的曝光光源,ArF光源(193nm)或KrF光源(248nm)已被广泛使用。
[0004]虽然为193nm辐射用途已经设计了一些光刻胶组合物,但是由于不具备上述的一个或多个领域中的性能,这些组合物一般体现不出 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶在光刻工艺中的应用,其特征在于,所述光刻胶包括如下原料:如式I所示的添加剂、如式(L)所示的树脂、光致产酸剂和溶剂;所述添加剂的重均分子量为1000~3000;所述添加剂的重均分子量/数均分子量比值为1~5;2.如权利要求1所述的应用,其特征在于,所述添加剂采用下列方法制得,其制备方法包括以下步骤:S1:有机溶剂中,将化合物B1与L
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酒石酸二甲酯和对甲苯磺酸进行缩醛反应,制得化合物C1即可;所述化合物B1为S2:溶剂中,在碱的作用下,将所述化合物C1进行酯水解反应,制得化合物D1即可;S3:有机溶剂中,将所述化合物D1与4
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二甲基氨基吡啶进行聚合反应,制得如式I所示的添加剂即可。3.如权利要求2所述的应用,其特征在于,所述添加剂的制备方法中,S1中,所述有机溶剂为芳烃类溶剂;和/或,所述添加剂的制备方法中,S1中,所述化合物B1与所述L
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酒石酸二甲酯摩尔比为1:(1~1.5);和/或,所述添加剂的制备方法中,S1中,所述化合物B1与所述对甲苯磺酸摩尔为1:(0.02~0.04);和/或,所述添加剂的制备方法中,S1中,所述缩醛反应的反应时间为26小时~60小时;和/或,所述添加剂的制备方法中,S2中,所述溶剂为酮类溶剂;和/或,所述添加剂的制备方法中,S2中,所述碱为无机碱;和/或,所述添加剂的制备方法中,S2中,所述化合物C1与所述溶剂的摩尔体积比为0.1~0.7mol/L;和/或,所述添加剂的制备方法中,S2中,所述酯水解反应的时间为3小时~15小时;和/或,所述添加剂的制备方法中,S3中,所述有机溶剂为酸酐类溶剂;和/或,所述添加剂的制备方法中,S3中,所述4
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二甲基氨基吡啶与所述化合物D1摩尔比为1:(900~1500);和/或,所述添加剂的制备方法中,S3中,所述有机溶剂与所述化合物D1的摩尔比为3:1~7:1;和/或,所述添加剂的制备方法中,S3中,所述聚合反应的时间为3小时~20小时;和/或,所述添加剂的制备方法中,S3中,所述聚合反应的温度为100~200℃。
4.如权利要求2所述的应用,其特征在于,所述添加剂的制备方法中,S1中,所述有机溶剂为甲苯;和/或,所述添加剂的制备方法中,S1中,所述化合物B1与所述L
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酒石酸二甲酯摩尔比为1:1;和/或,所述添加剂的制备方法中,S1中,所述化合物B1与所述对甲苯磺酸摩尔为1:0.029;和/或,所述添加剂的制备方法中,S1中,所述缩醛反应的反应时间为48小时;和/或,所述添加剂的制备方法中,S2中,所述溶剂为N
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甲基吡咯烷酮;和/或,所述添加剂的制备方法中,S2中,所述碱为氢氧化钾和/或氢氧化钠;和/或,所述添加剂的制备方法中,S2中,所述化...
【专利技术属性】
技术研发人员:方书农,王溯,耿志月,崔中越,
申请(专利权)人:上海芯刻微材料技术有限责任公司,
类型:发明
国别省市:
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