【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】波导型受光元件
[0001]本公开涉及用于光纤通信等的波导型受光元件。
技术介绍
[0002]随着通信容量的显著增加，正在谋求通信系统的大容量化。因此，需要光通信设备的高速化。决定光通信设备中使用的半导体受光元件即光电二极管(以下为PD)的响应速度的重要因素之一是CR时间常数。该CR时间常数由半导体受光元件的元件电容和元件电阻来决定。为了提高响应速度，需要减小CR时间常数。因此，降低元件电容是重要的。
[0003]为了降低元件电容，例如为了得到40GHz以上的高速响应性而采用波导型受光元件。这是从外延生长层的侧面入射光的构造，与通常的面入射型构造不同，能够使灵敏度和频带单独最优化。因此，成为适于高速动作的构造。
[0004]波导型受光元件还大致分为两种。一种是加感型受光元件。在加感型受光元件中，将光波导形成至劈开端面。使光入射到该波导中，使光波导至形成在从该入射部离开了几μm以上的位置的光吸收层，在该光吸收层中，对从引导层沿层厚方向渗出的瞬逝光进行光电转换。因此，光电转换是间接的，入射端面附近的光电流的集中被...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种波导型受光元件，其特征在于，具备：半导体基板；脊形构造，其设置在所述半导体基板上，至少包括光吸收层；半导体埋入层，其将所述光吸收层的侧面埋入，并具有比所述光吸收层低的折射率；以及半导体层，其设置在所述光吸收层的侧面与所述半导体埋入层之间，并具有所述光吸收层与所述半导体埋入层之间的折射率，将所述半导体层的折射率设为n3，将入射光的波长设为λ，所述半导体层的横向的厚度为λ/(4
×
n3)的
‑
30％到+20％的范围内。2.根据权利要求1所述的波导型受光元件，其特征在于，所述光吸收层的折射率的虚部不是零，将所述半导体层的折射率设为n3，将入射光的波长设为λ，所述半导体层的横向的厚度被设定为比λ/(...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。