一种集成电路测试设备制造技术

本发明专利技术公开了一种集成电路测试设备，涉及集成电路测试技术领域，包括主体，所述主体顶部设置有两组移动架，两组所述移动架内部皆设置有与对应真空吸盘相配合的移动机构。本发明专利技术当其中一组真空吸盘带动晶圆进行测试时，另外一组真空吸盘可以对其余的一组晶圆进行上料或者下料，真空吸盘带动晶圆做环形运动的同时进行一定程度的自转，进而不论移动架在任何位置时，真空吸盘的接口皆朝向外侧，进而通过气体流通机构更加便捷的对真空吸盘进行供气，真空吸盘可以相对于移动架进行移动，进而便于外界测试设备对晶圆的任意位置进行测试，整体晶圆测试效率较高，有效提升了整体的工作效率，提高了测试效率。提高了测试效率。提高了测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路测试设备


[0001]本专利技术涉及集成电路测试
，具体为一种集成电路测试设备。

技术介绍

[0002]集成电路是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构，其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步，集成电路是半导体产业的核心，半导体产业主要包括集成电路和分立器件两大类。
[0003]集成电路或称微电路、 微芯片、芯片在电子学中是一种把电路小型化的方式，并通常制造在半导体晶圆表面上，其中测试机用于检测芯片功能和性能，探针台与分选机实现被测芯片与测试机功能模块的连接，分选机将被测芯片逐个自动传送至测试工位，被测芯片的引脚通过测试工位上的基座、专用连接线与测试机的功能模块进行连接，测试机对芯片施加输入信号并采集输出信号，判断芯片功能和性能是否达到设计规范要求。
[0004]现有技术中通过外界机械手臂将晶圆上料至分选机上，分选机将被检测集成电路逐个自动传送至测试工位，现有的分选机只设置有一个晶圆测试工位，对一组晶圆需要进行上料、测试以及下料过程，整体测试效率较低，影响了晶圆的测试效率。

技术实现思路

[0005]基于此，本专利技术的目的是提供一种集成电路测试设备，以解决现有技术中分选机只设置有一个晶圆测试工位，对一组晶圆需要进行上料、测试以及下料过程，整体测试效率较低，影响了晶圆的测试效率的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种集成电路测试设备，包括主体，所述主体顶部设置有两组移动架，两组所述移动架顶部皆活动设置有真空吸盘，两组所述移动架内部皆设置有与对应真空吸盘相配合的移动机构；移动机构包括第一无杆气缸、第一滑块、第二无杆气缸、第二滑块以及分流管，所述移动架内部自下而上依次设置有第一无杆气缸、第一滑块、第二无杆气缸、第二滑块，具体的说，第二电磁阀和第一无杆气缸、第二无杆气缸之间通过分流管连接，且分流管位于移动架的外侧，其中移动架内部固定设置有贯穿第一滑块和第二滑块的导向杆，且第一滑块相对于第一无杆气缸滑动，第二滑块相对于第二无杆气缸滑动，且第二滑块和真空吸盘为固定连接；两组所述真空吸盘、两组移动机构和外界气体发生设备皆通过气体流通机构相连通，所述气体流通机构包括第一电磁阀、第一连接管、第二连接管、第二电磁阀以及连通管，所述第一电磁阀和第二电磁阀之间通过第一连接管相连接，所述第一电磁阀和真空吸盘之间通过第二连接管相连接，且真空吸盘外侧设置有与第二连接管相配合的接口，所述主体内部固定设置有第一储气腔，所述第一储气腔顶部固定有第二储气腔，两组所述第一电磁
阀内侧分别和第一储气腔和第二储气腔之间滑动密封连接，第一储气腔底部一侧设置有贯穿主体的连通管，所述连通管顶部表面开设有透气孔；两组所述第一电磁阀外侧分别固定设置有与第一储气腔、第二储气腔相配合的第一环形滑板和第二环形滑板，所述移动架底部活动连接有活动架，所述活动架底部设置有行走机构；行走机构包括活动架、电机、齿轮、内齿圈，所述活动架位于移动架底部且和移动架之间为转动连接，内齿圈固定设置有在主体内部，且电机输出轴固定连接的齿轮和内齿圈相啮合。
[0007]通过采用上述技术方案，通过在主体顶部设置有两组移动架，且每组移动架顶部皆设置有真空吸盘，进而当其中一组真空吸盘带动晶圆进行测试时，另外一组真空吸盘可以对其余的一组晶圆进行上料或者下料，且每组移动架通过齿轮和内齿圈的配合下，以及限位杆和限位圈的作用下，可以使真空吸盘带动晶圆做环形运动的同时进行一定程度的自转，进而不论移动架在任何位置时，真空吸盘的接口皆朝向外侧，进而通过气体流通机构更加便捷的对真空吸盘进行供气，且气体流通机构同时还能够对第一无杆气缸和第二无杆气缸进行提供气源，进而可以使真空吸盘相对于移动架进行移动，进而便于外界测试设备对晶圆的任意位置进行测试，整体晶圆测试效率较高，有效提升了整体的工作效率，提高了测试效率。
[0008]本专利技术进一步设置为，所述主体内部固定设置有限位圈，两组所述移动架底部内侧皆固定设置有延伸至限位圈内部的限位杆。
[0009]通过采用上述技术方案，随着移动机构带动真空吸盘的公转，在限位杆和限位圈的共同作用下，使真空吸盘以及移动架进行一定程度的自转，进而不会和气体流通机构发生干涉。
[0010]本专利技术进一步设置为，所述第一电磁阀外侧固定设置有位于第一储气腔、第二储气腔外侧的挡板，且挡板和第一储气腔、第二储气腔外壁为滑动连接。
[0011]通过采用上述技术方案，挡板起到第一电磁阀相对于第一储气腔、第二储气腔滑动的进一步限位导向，整体滑动过程更加稳定。
[0012]综上所述，本专利技术主要具有以下有益效果：本专利技术通过在主体顶部设置有两组移动架，且每组移动架顶部皆设置有真空吸盘，进而当其中一组真空吸盘带动晶圆进行测试时，另外一组真空吸盘可以对其余的一组晶圆进行上料或者下料，且每组移动架通过齿轮和内齿圈的配合下，以及限位杆和限位圈的作用下，可以使真空吸盘带动晶圆做环形运动的同时进行一定程度的自转，进而不论移动架在任何位置时，真空吸盘的接口皆朝向外侧，进而通过气体流通机构更加便捷的对真空吸盘进行供气，且气体流通机构同时还能够对第一无杆气缸和第二无杆气缸进行提供气源，进而可以使真空吸盘相对于移动架进行移动，进而便于外界测试设备对晶圆的任意位置进行测试，整体晶圆测试效率较高，有效提升了整体的工作效率，提高了测试效率。
附图说明
[0013]图1为本专利技术整体的结构示意图；图2为本专利技术的剖视图；
图3为本专利技术图2的A处放大图；图4为本专利技术的内部结构示意图；图5为本专利技术的局部结构示意图；图6为本专利技术底部视角的结构示意图；图7为本专利技术图6的B处放大图。
[0014]图中：1、主体；2、移动架；3、真空吸盘；4、接口；5、第一储气腔；6、第二储气腔；7、第一环形滑板；8、第二环形滑板；9、第一电磁阀；10、第一连接管；11、第二连接管；12、第二电磁阀；13、分流管；14、第一无杆气缸；15、第一滑块；16、第二无杆气缸；17、第二滑块；18、导向杆；19、透气孔；20、连通管；21、挡板；22、活动架；23、电机；24、齿轮；25、内齿圈；26、限位杆；27、限位圈。
具体实施方式
[0015]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0016]下面根据本专利技术的整体结构，对其实施例进行说明。
[0017]一种集成电路测试设备，如图1、图2、图3、图4、图5和图7所示，包括主体1，主体1顶部设置有两组移动架2，两组移动架2顶部皆活动设置有真空吸盘3，两组移动架2内部皆设置有与对应真空吸盘3相配合的移动机构，通过在主体1顶部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路测试设备，包括主体（1），其特征在于：所述主体（1）顶部设置有两组移动架（2），两组所述移动架（2）顶部皆活动设置有真空吸盘（3），两组所述移动架（2）内部皆设置有与对应真空吸盘（3）相配合的移动机构；两组所述真空吸盘（3）、两组移动机构和外界气体发生设备皆通过气体流通机构相连通，所述气体流通机构包括第一电磁阀（9）、第一连接管（10）、第二连接管（11）、第二电磁阀（12）以及连通管（20），所述第一电磁阀（9）和第二电磁阀（12）之间通过第一连接管（10）相连接，所述第一电磁阀（9）和真空吸盘（3）之间通过第二连接管（11）相连接，所述主体（1）内部固定设置有第一储气腔（5），所述第一储气腔（5）顶部固定有第二储气腔（6），两组所述第一电磁阀（9）内侧分别和第一储气腔（5）和第二储气腔（6）之间滑动密封连接；两组所述第一电磁阀（9）外侧分别固定设置有与第一储气腔（5）、第二储气腔（6）相配合的第一环形滑板（7）和第二环形滑板（8），所述移动架（2）底部活动连接有活动架（22），所述活动架（22）底部设置有行走机构，两组所述移动架（2）底部内侧皆固定设置有限位杆（26）。2.根据权利要求1所述的一种集成电路测试设备，其特征在于：所述移动机构包括第一无杆气缸（14）、第一滑块（15）、第二无杆气缸（16）、第二滑块（17）以及分流管（13），所述移动架（2）内部自下而上依次设置有第一无杆气缸（14）、第一滑块（15）、第二无杆气缸（16）、第二滑块（17）。3.根据权利要求2所述的一种集成电路测试设备，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖泽联，
申请(专利权)人：深圳市华芯邦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：