氯硅烷组分在线检测系统及方法技术方案

一种氯硅烷组分在线检测系统及方法，包括氯硅烷储罐，氯硅烷储罐与第一阀门连接，第一阀门和过滤器之间的管道与第八阀门连接，第八阀门通过管道与第一回收罐连接；第四阀门和第五阀门之间的管道与第六阀门连接，第六阀门通过管道与第二回收罐连接；第二阀门和第三阀门之间的管道与吹扫管连接，吹扫管上设有第七阀门;第五阀门输出端连接标准气体管道，标准气体管道上设置有第九阀门；气相色谱仪上连接有载气管道、驱动气管道和尾气吸收管道，尾气吸收管道上依次设有碱吸收罐和阻火器。本发明专利技术为了完全避开了实验室检验过程中采样、转移样品、进样等环节，本系统设计为全封闭系统，保证了结果的准确度。了结果的准确度。了结果的准确度。

【技术实现步骤摘要】
氯硅烷组分在线检测系统及方法


[0001]本专利技术属于多晶硅生产
，特别涉及一种氯硅烷组分在线检测系统及方法。

技术介绍

[0002]在氯硅烷（二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅）生产中，以及以氯硅烷为原料或有氯硅烷副产物的生产中，因氯硅烷沸点低易挥发、化学性质活泼易与空气中氧和水反应，在用实验室色谱仪检测组分（氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、低沸物、高沸物等）时结果误差很大，误差主要来源于取样和进样过程中。对于二氯二氢硅含量太高（如≥20%）的样品，常规取样及转移样品时会起火燃烧，很难完成取样。现在氯硅烷取样一般采用取样柜和不锈钢取样瓶取样，花费时间长，取样难度大，这导致每天取样次数有限，不能得到足够多的检测结果。同时，取样过程中容易出物料泄漏致现场烟雾弥漫甚至起火、物料飞溅伤人等安全事故，会对生产产生恶劣的影响。因此，本技术方案要解决的技术问题为：省去人工转移取样瓶的工序，将人工取样改为在线取样，并用于实现在线检查。

技术实现思路

[0003]鉴于
技术介绍
所存在的技术问题，本专利技术所提供的氯硅烷组分在线检测系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷组分在线检测系统，包括氯硅烷储罐（14），其特征在于：氯硅烷储罐（14）通过管道依次与第一阀门（1）、过滤器（15）、第二阀门（2）、第三阀门（3）、第四阀门（4）、第五阀门（5）和气相色谱仪（10）连接；第一阀门（1）和过滤器（15）之间的管道与第八阀门（8）连接，第八阀门（8）通过管道与第一回收罐（11）连接；第四阀门（4）和第五阀门（5）之间的管道与第六阀门（6）连接，第六阀门（6）通过管道与第二回收罐（12）连接；第二阀门（2）和第三阀门（3）之间的管道与吹扫管连接，吹扫管上设有第七阀门（7）; 第五阀门（5）输出端连接标准气体管道，标准气体管道上设置有第九阀门（9）；气相色谱仪（10）上连接有载气管道、驱动气管道和尾气吸收管道，尾气吸收管道上依次设有碱吸收罐和阻火器。2.根据权利要求1所述的氯硅烷组分在线检测系统，其特征在于：气相色谱仪（10）设有六通阀，六通阀包括A号位、B号位、C号位、D号位、E号位和F号位，B号位和E号位之间设有连通管，连通管上设有定量管，C号位为样品进口，D号位为样品出口，A号位为载气进口，F号位为载气出口；采样状态下，A号位与F号位导通，B号位和C号位导通，D号位和E号位导通；进样状态下，A号位和B号位导通，C号位和D号位导通，E号位和F号位导通。3.根据权利要求1所述的氯硅烷组分在线检测系统，其特征在于：第四阀门（4）为电加热减压阀。4.根据权利要求1所述的氯硅烷组分在线检测系统，其特征在于：第五阀门（5）的输出端设有流量计（13），第六阀门（6）的输出端设有流量计（13）。5.根据权利要求1所述的氯硅烷组分在线检测系统，其特征在于：氯硅烷储罐（14）至气相色谱仪（10）之间的管道上均设有电伴热管。6.根据权利要求1
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5中任意一项所述的氯硅烷组分在线检测系统的采集方法，其特征在于包括以下工况：工况一，采样检测过程：步骤一，第一阀门、第八阀门开、第二阀门关闭，氯硅烷从氯硅烷储罐...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡云鹏，刘文明，田洪先，黄芳绕，万洋，沈飞，
申请(专利权)人：中国南玻集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：