【技术实现步骤摘要】
制造程序的最佳良率路径的搜寻方法及其系统
[0001]本专利技术是关于一种制造程序的路径的搜寻方法及其系统,特别是关于一种制造程序的最佳良率路径的搜寻方法及其系统。
技术介绍
[0002]提高产品良率对于公司的盈利能力表现至关重要,特别是在研发和量产阶段。所有的制造者无不寻求在研发和量产阶段中迅速地提高产品良率。换言之,当良率损失发生时,必须在研发和量产阶段中快速地找出引起此良率损失的根本原因。当遭遇到良率损失时,习知的良率提升方法是收集所有生产相关数据来进行大数据分析,以找出造成良率损失的根本原因并改正这些根本原因。然而,生产相关数据常常是数量庞大且复杂的,因此非常难以从生产相关数据中寻找良率损失的根本原因。
[0003]一般实现零缺陷(Zero
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Defect;ZD)可以通过实时的在线全检技术中丢弃所有的缺陷产品来实现,例如:自全自动虚拟量测(Automatic Virtual Metrology;AVM)。此外,习知的智能良率管理系统(Intelligent Yield Management;IYM)的关键参数搜寻演算法(Key
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variable Search Algorithm;KSA)可用于找出缺陷的根本原因,从而对这些缺陷产品进行持续改进,如此就可以实现所有生产产品零缺陷。然而,在多阶段制造程序(Multistage Manufacturing Process;MMP)环境中,工件可能会随机通过每个工艺中具有相同功能的工艺装置之一。同一类型的不同装置在每个工艺 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,包含以下步骤:提供一生产线,该生产线包含多个工艺站,所述多个工艺站的每一者包含多个工艺装置,所述多个工艺装置的每一者是配置以处理多个工件的其中一者;根据多个生产路径分别处理所述多个工件,所述多个生产路径的每一者指出在所述多个工艺站的所述多个工艺装置的其中一者,用以处理所述多个工件的其中一者;对通过该生产线后的所述多个工件的每一者进行至少一良率测试,以获得分别对应至所述多个工件的多组最终检查值;进行一第一阶段,该第一阶段包含:基于一演算法来建立一搜寻模型,其中该演算法为一组最小绝对压缩挑选机制(Group Least Absolute Shrinkage and Selection Operator;Group LASSO)与一组正交贪婪演算法(Group Orthogonal Greedy Algorithm;Group OGA)的其中一者;及通过输入所述多个工件的所述多个生产路径及所述多组最终检查值至该搜寻模型中,以选择出所述多个工艺站的多个关键工艺站,然后依据所述多个关键工艺站产生多个关键路径;以及进行一第二阶段,该第二阶段包含:依据所述多个生产路径及所述多组最终检查值建立所述多个关键路径的多个预测模型;及依据所述多个预测模型预测对应所述多个关键路径的多个良率,然后依据所述多个良率搜寻出所述多个关键路径的一最佳良率路径,该最佳良率路径对应所述多个良率的一最佳良率。2.如权利要求1所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,该第一阶段还包含:统计所述多个工件的每一者通过所述多个工艺装置的每一者的一通过率,使所述多个工艺装置具有多个该通过率,然后滤除所述多个通过率小于一预设通过率的部分所述多个工艺装置,其中该预设通过率小于等于5%。3.如权利要求1所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,在该第二阶段中,所述多个关键路径的所述多个预测模型包含所述多个工艺站的所述多个工艺装置的至少二者间的交互作用。4.如权利要求3所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,该第二阶段还包含:使用一讯息准则演算法,来计算出所述多个关键路径的每一者的所述多个预测模型的每一者的至少一讯息量,所述多个预测模型的每一者具有至少一阶层且包含至少一阶层预测模型,该至少一讯息量对应该至少一阶层及该至少一阶层预测模型;及选出该至少一阶层预测模型的一者为一最佳模型,其中该至少一阶层预测模型的该者具有该至少一讯息量的最小者。5.如权利要求4所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,该讯息准则演算法为一赤池信息量准则(Akaike Information Criterion;AIC),且该至少一阶层的数量小于5。6.如权利要求1所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,该第二阶段
还包含:对所述多个关键路径的所述多个良率进行排名,而获得一路径排名表,该路径排名表包含该最佳良率路径;及计算所述多个生产路径及所述多组最终检查值的一相关性、所述多组最终检查值的一最大值及一最小值,以获得一信赖指标,来评估搜寻结果的可靠程度。7.如权利要求1所述的制造程序的最佳良率路径的搜寻方法,其特征在于,所述多个关键路径的一者包含多个关键工艺装置,所述多个关键工艺装置分别对应所述多个关键工艺站,所述多个关键路径的该者分类为一未走过路径与一已走过路径的一者,该未走过路径代表所述多个工件的其中该者于通过该生产线时在所述多个关键工艺站中未被所述多个关键工艺装置全部处理,该已走过路径代表所述多个工件的其中该者于通过该生产线时在所述多个关键工艺站中被所述多个关键工艺装置全部处理。8.一种制造程序的最佳良率路径的搜寻系统,用以搜寻一生产线的一最佳良率路径,该生产线包含多个工艺站,所述多个工...
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