激光3D蚀刻清洗设备制造技术

本申请涉及一种激光3D蚀刻清洗设备，其中，激光器所发出的激光经扫描振镜的偏摆而改变照射方向，从而激光可经第一反射镜反射后照射至第一表面、或可直接照射至第二表面、或可经第二反射镜反射后照射至第三表面，且当扫描振镜在既定角度范围内偏摆时能够维持激光照射于待清洗工件的单一表面并对其进行清洗，而在扫描振镜偏摆超出既定角度范围后，即可改变激光的照射方向至待清洗工件的其他表面而对其他表面进行清洗。如此，在第一反射镜与第二反射镜的配合下，仅通过扫描振镜的偏摆即可实现对待清洗工件空间内三个平面的清洗，无需改变待清洗工件的姿态，清洗操作简单易行，清洗效率较高，同时设备成本较低。同时设备成本较低。同时设备成本较低。

【技术实现步骤摘要】
激光3D蚀刻清洗设备


[0001]本申请涉及激光清洗
，特别是涉及一种激光3D蚀刻清洗设备。

技术介绍

[0002]目前，在利用激光对尺寸较小的工件(例如MiniLED显示屏内部的玻璃基板)执行三面蚀刻清洗时，行业内大多数的做法是将工件置于夹具或机械手上，通过夹具或机械手的翻转来改变工件的姿态，从而实现激光对不同平面的清洗。
[0003]然而，夹具或机械手带动工件翻转改变姿态的过程不仅会占用一定时间，而且还导致激光的蚀刻清洗动作不连续，如此就使得设备的清洗效率降低。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种清洗效率较高的激光3D蚀刻清洗设备。
[0005]一种激光3D蚀刻清洗设备，用于对待清洗工件顺次连接的第一表面、第二表面及第三表面进行扫描清洗，激光3D蚀刻清洗设备包括：
[0006]激光器，用于发射激光；
[0007]清洗镜组，包括扫描振镜、第一反射镜及第二反射镜，所述扫描振镜设置于所述激光的传导路径上并位于所述第二表面的一侧，所述第一反射镜位于所述第一表面一侧，所述第二反射镜位于所述第三表面一侧；所述扫描振镜能够摆动以使所述激光照射至所述第一反射镜或所述第二表面或所述第二反射镜，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第一反射镜并经所述第一反射镜反射至所述第一表面的激光对所述第一表面进行清洗，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二表面的激光对所述第二表面进行清洗，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二反射镜并经所述第二反射镜反射至所述第三表面的激光对所述第三表面进行清洗。
[0008]上述激光3D蚀刻清洗设备中，激光器所发出的激光经扫描振镜的偏摆而改变照射方向，从而激光可经第一反射镜反射后照射至第一表面、或可直接照射至第二表面、或可经第二反射镜反射后照射至第三表面，且当扫描振镜在既定角度范围内偏摆时能够维持激光照射于待清洗工件的单一表面并对其进行清洗，而在扫描振镜偏摆超出既定角度范围后，即可改变激光的照射方向至待清洗工件的其他表面而对其他表面进行清洗。如此，在将待清洗工件放置于第一反射镜与第二反射镜之间后，在第一反射镜与第二反射镜的配合下，仅通过扫描振镜的偏摆即可实现对待清洗工件空间内三个平面的清洗，无需改变待清洗工件的姿态，从而使得清洗动作连续进行，清洗操作简单易行，清洗效率较高。此外，考虑到扫描振镜的价格较为昂贵，本申请通过仅使用一个扫描振镜，并配合两个价格较为低廉的反射镜即可实现对待清洗工件空间内三个平面的清洗，与行业内使用多个扫描振镜的方案相比也使得设备成本得到较大程度的降低。
[0009]在其中一个实施例中，所述激光3D蚀刻清洗设备包括光学整形镜组，所述光学整形镜组包括扩束镜及变焦镜，所述激光器、所述扩束镜、所述变焦镜及所述扫描振镜沿所述
激光的传导路径顺次设置，所述变焦镜能够沿所述激光的传导方向相对所述扫描振镜运动。
[0010]在其中一个实施例中，所述光学整形镜组包括变焦驱动件，所述变焦驱动件与所述变焦镜连接，以驱动所述变焦镜运动；所述激光3D蚀刻清洗设备包括控制系统，所述变焦驱动件、所述扫描振镜均与所述控制系统通信连接。
[0011]在其中一个实施例中，所述光学整形镜组包括第三反射镜及第四反射镜，所述第三反射镜与所述第四反射镜均设置于所述激光的传导路径上，且两者相对设置，并均与入射激光呈45
°
夹角；所述第三反射镜位于所述激光器与所述扩束镜之间，所述第四反射镜位于所述扩束镜与所述变焦镜之间。
[0012]在其中一个实施例中，所述第一反射镜与所述第二反射镜相对设置，且两者之间呈90
°
夹角。
[0013]在其中一个实施例中，所述清洗镜组包括场镜，所述场镜安装于所述扫描振镜，且沿所述激光的传导方向位于所述扫描振镜的后方。
[0014]在其中一个实施例中，所述清洗镜组包括结构腔体、两个Z向调整滑台及两个姿态调整架，所述结构腔体设于所述扫描振镜外围，两个所述Z向调整滑台沿Z方向间隔安装于所述结构腔体，两个所述姿态调整架与两个所述Z向调整滑台一一对应连接，以在所述Z向调整滑台的带动下沿Z方向移动，所述第一反射镜与所述第二反射镜分别连接于两个所述姿态调整架，以分别在所述姿态调整架的带动下调整姿态。
[0015]在其中一个实施例中，所述激光3D蚀刻清洗设备包括运动平台、载台、定位识别组件及控制系统，所述载台用于承载待清洗工件，所述运动平台与所述载台连接以驱动所述载台运动而调整所述待清洗工件的位置；所述定位识别组件为两个，两个所述定位识别组件间隔设置并能够对所述待清洗工件上的两个特征点进行一一对应识别；所述运动平台及所述定位识别组件均与所述控制系统通信连接。
[0016]在其中一个实施例中，所述运动平台包括顺次连接的基座、Y向运动座、X向运动座、水平旋转座，所述Y向运动座安装于所述基座，所述Y向运动座能够驱动所述X向运动座沿Y方向相对所述基座滑动，所述X向运动座能够驱动所述水平旋转座沿X方向滑动，所述水平旋转座能够驱动所述载台在所述X方向及所述Y方向所限定的平面内旋转。
[0017]在其中一个实施例中，所述定位识别组件包括光源及相机，所述相机用于对所述待清洗工件上的特征点进行拍照识别，所述光源用于对所述相机的视野范围进行曝光。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本申请实施例的激光3D蚀刻清洗设备的结构示意图；
[0020]图2为图1所示激光3D蚀刻清洗设备中清洗镜组的结构示意图；
[0021]图3为图1所示激光3D蚀刻清洗设备中运动平台除基座之外其余结构的示意图；
[0022]图4为图1所示激光3D蚀刻清洗设备中激光自激光器至场镜的传导路径示意图；及
[0023]图5为图1所示激光3D蚀刻清洗设备中激光的自场镜至工件表面的传导示意图；
[0024]附图标记说明：
[0025]10、激光3D蚀刻清洗设备；20、待清洗工件；21、第一表面；22、第二表面；23、第三表面；11、激光器；12、清洗镜组；121、扫描振镜；122、第一反射镜；123、第二反射镜；124、场镜；125、结构腔体；126、Z向调整滑台；127、姿态调整架；127a、第一调整块；127b、第二调整块；13、光学整形镜组；131、扩束镜；132、变焦镜；133、变焦驱动件；134、第三反射镜；135、第四反射镜；136、防护罩；14、运动平台；141、基座；142、Y向运动座；142a、Y向滑轨；142b、Y向滑块；143、X向运动座；143a、X向滑轨；143b、X向滑块；144、水平旋转座；144a、固定座；144b、旋转座；15、载台；16、定位识别组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光3D蚀刻清洗设备，用于对待清洗工件顺次连接的第一表面、第二表面及第三表面进行扫描清洗，其特征在于，激光3D蚀刻清洗设备包括：激光器，用于发射激光；清洗镜组，包括扫描振镜、第一反射镜及第二反射镜，所述扫描振镜设置于所述激光的传导路径上并位于所述第二表面的一侧，所述第一反射镜位于所述第一表面一侧，所述第二反射镜位于所述第三表面一侧；所述扫描振镜能够摆动以使所述激光照射至所述第一反射镜或所述第二表面或所述第二反射镜，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第一反射镜并经所述第一反射镜反射至所述第一表面的激光对所述第一表面进行清洗，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二表面的激光对所述第二表面进行清洗，所述扫描振镜能够通过摆动以使照射至所述第二反射镜并经所述第二反射镜反射至所述第三表面的激光对所述第三表面进行清洗。2.根据权利要求1所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述激光3D蚀刻清洗设备包括光学整形镜组，所述光学整形镜组包括扩束镜及变焦镜，所述激光器、所述扩束镜、所述变焦镜及所述扫描振镜沿所述激光的传导路径顺次设置，所述变焦镜能够沿所述激光的传导方向相对所述扫描振镜运动。3.根据权利要求2所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述光学整形镜组包括变焦驱动件，所述变焦驱动件与所述变焦镜连接，以驱动所述变焦镜运动；所述激光3D蚀刻清洗设备包括控制系统，所述变焦驱动件、所述扫描振镜均与所述控制系统通信连接。4.根据权利要求2所述的激光3D蚀刻清洗设备，其特征在于，所述光学整形镜组包括第三反射镜及第四反射镜，所述第三反射镜与所述第四反射镜均设置于所述激光的传导路径上，且两者相对设置，并均与入射激光呈45
°
夹角；所述第三反射镜位于所述激光器与所述扩束镜之间，所述第四反射镜位于所述扩束镜与所述变焦镜之间。5.根据权利要求1所述的激光3D蚀刻清洗设...

【专利技术属性】
技术研发人员：昌斌，黎锦宁，宋成明，李善基，
申请(专利权)人：深圳铭创智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：