用于处理具有不同形状的零件的机器和方法技术

本发明专利技术涉及一种用于处理具有不同形状的零件(2)的机器(1)。机器(1)包括：腔室(10)；真空系统(20)；处理系统(30、60；40、60；30、40、60)，其包括等离子体产生系统(30)和/或真空沉积系统(40)；以及运送系统(50)，该运送系统适于在腔室(10)中移动一个或多个零件(2)，而不管这些零件(2)的形状如何；其特征在于，处理系统(30、60；40、60；30、40、60)包括激光系统(60)，该激光系统设计成处理设置在腔室(10)中的一个或多个零件(2)。个或多个零件(2)。个或多个零件(2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于处理具有不同形状的零件的机器和方法


[0001]本专利技术涉及一种用于处理具有不同形状的零件的机器。本专利技术还涉及一种处理方法。本专利技术的领域是表面处理领域。

技术介绍

[0002]已知有多种机器用于处理零件的表面。然而，现有的机器通常设计用于单一类型的处理方法(例如，真空沉积)。其他机器结合了几种处理方法，但是是为一种零件(例如，薄膜或圆盘)的单一形状而设计的。
[0003]WO 2009/053614 A2描述了一种处理机器的一个实例，该处理机器包括腔室、真空系统、等离子体产生系统、真空沉积系统以及用于传送零件的系统。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是在所提出的处理方法方面提高机器的通用性。
[0005]为此，本专利技术的目的是提供一种用于处理具有不同形状的零件的机器，包括：腔室；真空系统；处理系统，其包括等离子体产生系统和/或真空沉积系统；以及运送系统，该运送系统能够在腔室内移动一个或多个零件，而不管这些零件的形状如何。该机器的特征在于，处理系统包括激光系统，该激光系统设计成处理设置在腔室中的一个或多个零件。
[0006]因此，本专利技术可以提高机器的通用性以及改变所提出的处理方法。其中一个处理系统或者其他处理系统先后处理(也可以是联合处理)这些零件，使得操作者可以创建和选择他们自己的处理顺序。操作者可以选择按一种或另一种顺序使用这些系统来重复某些处理方法等。
[0007]该机器可以以不同的方式配置，以便处理小零件(大约1cm至10cm)或大零件(大约0.1m至1m或更大)。
[0008]此外，被处理的零件可以由不同的材料制成：金属、陶瓷、复合材料、塑料等。
[0009]根据本专利技术的其他有利特征，单独或组合采用以下特征：
[0010]‑
处理系统可以选择性地用于与其他系统分开处理一个或多个零件或者与其他系统中的一个或多个系统同时处理一个或多个零件。
[0011]‑
处理系统的使用顺序可以设定，具有可变的使用次序和/或可变的使用次数。
[0012]‑
处理系统可以用于直接处理一个或多个零件。
[0013]‑
激光系统与等离子体产生系统不同。
[0014]‑
该机器包括用于保护激光系统的系统，更确切地说是用于保护使激光束能够进入腔室的窗口的系统。
[0015]‑
保护系统包括位于激光系统前方的可移动盖子。
[0016]‑
保护系统包括在激光系统前方延伸的透明薄膜。
[0017]‑
保护系统包括内壁，这些内壁将源自激光系统的激光束的路径与腔室的其余部分光学隔离，并且保护免受源自处理系统的通量的影响。
[0018]‑
保护系统包括固定到腔室的壁部上并形成在激光系统的窗口和待处理零件之间的腔室，该腔室设有面向零件的孔，以便在窗口和腔室之间限定小于45度的孔角。
[0019]‑
激光系统包括单个激光源。
[0020]‑
激光系统包括多个激光源。
[0021]‑
激光系统包括例如具有飞秒、皮秒或纳秒级的脉冲持续时间的一个或多个脉冲激光源。
[0022]‑
激光源是单光谱的。
[0023]‑
激光源是多光谱的(根据材料选择波长)。
[0024]‑
激光源是相同的(相同的波长、相同的脉冲持续时间、相同的偏振以及相同的光束形状)。
[0025]‑
激光源是不同的(不同的波长和/或脉冲持续时间和/或偏振和/或光束形状)。
[0026]‑
激光束可以具有多个矢量偏振态(例如，方位角偏振、径向偏振、涡旋偏振等)。
[0027]‑
激光束可以倾斜或垂直入射到一个或多个零件上。
[0028]‑
运送系统能够移动一个或多个零件，使得两个连续的处理区域邻接。
[0029]‑
激光系统包括用于校正路径和/或形状和/或用于聚焦激光束的装置。
[0030]‑
运送系统包括用于支撑一个或多个零件的转盘。
[0031]‑
运送系统包括转台，这些转台安装在转盘上且用于接收一个或多个零件。
[0032]‑
转台可以相对于转盘旋转移动。
[0033]‑
运送系统包括转盘，这些转盘可旋转地安装在转台上且用于支撑零件。
[0034]‑
激光系统横向设置。
[0035]‑
运送系统包括用于支撑一个或多个零件的纵向运送装置。该装置可以是托架、辊式输送机、传送带或任何其他合适的装置。
[0036]‑
运送系统包括位置编码装置。
[0037]‑
运送系统包括视觉标记和能够与这些标记协作的光学传感器。
[0038]本专利技术还提供了一种用于处理具有不同形状的零件的方法，该方法包括：
[0039]a)对放置一个或多个零件的腔室抽真空的步骤，然后是以下步骤的组合：
[0040]b)对一个或多个零件进行激光处理的步骤，以及
[0041]c)对一个或多个零件进行低压等离子体处理的步骤，和/或
[0042]d)对零件中的一个或多个零件进行真空沉积的步骤。
[0043]该方法的特征在于，在适于处理具有不同形状的零件的同一机器中执行不同的步骤a)、b)、c)和/或d)。
[0044]步骤b)、c)和d)可以选择性地与其他步骤分开执行或者与其他步骤中的一个或多个步骤同时执行，以便处理一个或多个零件。
[0045]有利的是，可以根据可以设定的使用顺序来执行步骤b)、c)、d)或其组合，具有可变的使用次序和/或可变的使用次数。
附图说明
[0046]从以下描述中将更好地理解本专利技术。仅通过非限制性实例的方式并结合附图进行以下描述。附图示出了以下示意图：
[0047]图1是根据本专利技术的机器的平面图，该机器配备有旋转运送系统。
[0048]图2是图1的机器的侧视图，示出了配备有转台的运送系统和横向设置的激光系统。
[0049]图3是类似于图1的视图，示出了运送系统的一个变型。
[0050]图4是类似于图2的视图，示出了运送系统的另一个变型以及激光系统的一个变型。
[0051]图5是侧视图，示出了根据本专利技术的另一机器，该机器配备有纵向运送系统。
[0052]图6是正视图(侧视图或俯视图，取决于机器)，示出了激光系统保护系统的第一解决方案。
[0053]图7是类似于图6的视图，示出了处于另一位置的该第一保护系统解决方案。
[0054]图8是类似于图6的视图，示出了激光系统保护系统的第二解决方案。
[0055]图9是类似于图8的视图，示出了移动中的该第二保护系统解决方案。
[0056]图10是类似于图6的比例较小的视图，示出了根据第一配置的激光系统保护系统的第三解决方案。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于处理具有不同形状的零件(2)的机器(1)，包括：
‑
腔室(10)；
‑
真空系统(20)；
‑
处理系统(30、60；40、60；30、40、60)，包括等离子体产生系统(30)和/或真空沉积系统(40)；以及
‑
运送系统(50)，所述运送系统能够在所述腔室(10)中移动一个或多个零件(2)，而不管这些零件(2)的形状如何；其特征在于，所述处理系统(30、60；40、60；30、40、60)包括激光系统(60)，所述激光系统设计成处理设置在所述腔室(10)中的所述一个或多个零件(2)。2.根据权利要求1所述的机器，其特征在于，所述处理系统(30、60；40、60；30、40、60)能够选择性地用于与其他系统分开处理所述一个或多个零件(2)或者与所述其他系统中的一个或多个系统同时处理所述一个或多个零件(2)。3.根据权利要求1至2中任一项所述的机器(1)，其特征在于，所述处理系统(30、60；40、60；30、40、60)的使用顺序能够被设定，具有可变的使用次序和/或可变的使用次数。4.根据权利要求1至3中任一项所述的机器(1)，其特征在于，所述机器包括用于所述激光系统(60)的保护系统(70)。5.根据权利要求4所述的机器(1)，其特征在于，所述保护系统(70)包括能够在所述激光系统(60)前方移动的盖子(71)。6.根据权利要求4或5所述的机器(1)，其特征在于，所述保护系统(70)包括在所述激光系统(60)前方延伸的透明薄膜(73)。7.根据权利要求4至6中任一项所述的机器(1)，其特征在于，所述保护系统(70)包括内壁，所述内壁将源自所述激光系统(60)的激光束(62)的路径与所述腔室(10)的其余部分光学隔离，并且保护免受源自所述处理系统(30、60；40、60；30、40、60)的通量的影响。8.根据权利要求4至7中任一项所述的机器(1)，其特征在于，所述保护系统(70)包括固定到所述腔室(10)的壁部上并形成在所述激光系统(60)的窗口(63)和所述待处理零件之间的腔室(75)，所述腔室设有面向所述零件的孔(76)，以便在所述窗口(63)和所述腔室(10)之间限定小于45度的孔角。9.根据上述权利要求中任一项所述的机器(1)，其特征在于，所述激光系统(60)包括脉冲激光源(61)。10.根据上述权利要求中任一项所述的机器(1)，其特征在于，所述激光束(62)能够以...

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯托弗，
申请(专利权)人：让，
类型：发明
国别省市：