本实用新型专利技术提供了一种高纯硅烷气体连续制备装置，包括底座，所述底座的顶端固定设有精馏罐，所述精馏罐的内部固定安装有环形导流管，所述精馏罐内部的顶端固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定安装有转盘，所述转盘底端的边侧固定安装有搅拌轴，所述底座的内部固定安装有液氮机，所述液氮机的出液端固定安装有抽料泵，所述抽料泵的出料端与环形导流管的一端固定连接。本实用新型专利技术通过安装的电动伸缩杆和定量筒的配合，通过电动伸缩杆推动活塞的升降，通过活塞的升降将定量筒内部的定量催化剂推入至精馏罐内部的，确保高纯硅烷气体制备的效率。气体制备的效率。气体制备的效率。
【技术实现步骤摘要】
一种高纯硅烷气体连续制备装置
[0001]本技术属于高纯硅烷气体
，涉及一种高纯硅烷气体连续制备装置。
技术介绍
[0002]高纯硅烷在常温常压下为恶臭的无色气体，在空气或肉素气体中发生爆炸性燃烧。
[0003]根据中国专利号为“CN101486727B”公开了一种高纯硅烷气体连续制备方法及其装置，通过气体发生、低温精馏、深低温液化三个单元，在无氧条件下，在催化剂作用下，将烷氧基硅烷或三氯氢硅歧化反应生成硅烷气体，经过两级低温精馏后，纯度可达到电子级要求。该装置将硅烷的发生、两级纯化、液化和再气化集成在一个系统之中，产生的硅烷可以直接接入生产线(制备多晶硅或薄膜太阳能电池以及其它应用)或进行罐装。
[0004]但是目前在低温制备高纯度硅烷的条件下，温度难以控制，且添加的催化剂量也难以控制，从而影响高纯度硅烷的制备效率和纯度，为此我们设计了一种高纯硅烷气体连续制备装置。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种高纯硅烷气体连续制备装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种高纯硅烷气体连续制备装置，包括底座，所述底座的顶端固定设有精馏罐，所述精馏罐的内部固定安装有环形导流管，所述精馏罐内部的顶端固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定安装有转盘，所述转盘底端的边侧固定安装有搅拌轴，所述底座的内部固定安装有液氮机，所述液氮机的出液端固定安装有抽料泵，所述抽料泵的出料端与环形导流管的一端固定连接，所述环形导流管的另一端与液氮机的进料端连通，所述精馏罐边侧的顶部固定安装有催化剂添加管，所述催化剂添加管的一端固定安装有定量筒，所述定量筒的表面刻设有均匀分布的刻度线，所述精馏罐的顶端固定安装有固定杆，所述固定杆的顶端固定安装有横板，所述横板底端的一侧固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端固定安装有活塞，所述活塞与定量筒滑动连接。这样设置的目的是通过安装的电动伸缩杆和定量筒的配合，通过电动伸缩杆推动活塞的升降，通过活塞的升降将定量筒内部的定量催化剂推入至精馏罐内部的，确保高纯硅烷气体制备的效率。
[0007]在上述的一种高纯硅烷气体连续制备装置中，所述精馏罐一侧的顶部固定设有进气管，所述精馏罐一侧的底部固定设有出液管，所述进气管、出液管和催化剂添加管的内部均固定安装有电磁阀。这样设置的目的是控制气体进入和排出。
[0008]在上述的一种高纯硅烷气体连续制备装置中，所述底座边侧的中部固定安装有显示面板，所述精馏罐的内壁固定安装有温度传感器，所述温度传感器与显示面板电性连接。这样设置的目的是通过显示面板显示温度。
[0009]在上述的一种高纯硅烷气体连续制备装置中，所述底座正面开设有矩形槽，所述矩形槽的内部嵌设有密封板，所述密封板与矩形槽的连接处贴设有密封条。这样设置的目的是保证连接处的密封性。
[0010]在上述的一种高纯硅烷气体连续制备装置中，所述底座顶端的四个边角处均螺纹连接有固定螺栓。这样设置的目的是便于底座的固定。
[0011]在上述的一种高纯硅烷气体连续制备装置中，所述活塞的尺寸与定量筒的内径相匹配。这样设置的目的是通过活塞将定量筒的催化剂推动至精馏罐内部。
[0012]与现有技术相比，本技术一种高纯硅烷气体连续制备装置的优点为：
[0013]1、通过安装的电动伸缩杆和定量筒的配合，通过电动伸缩杆推动活塞的升降，通过活塞的升降将定量筒内部的定量催化剂推入至精馏罐内部的，确保高纯硅烷气体制备的效率。
[0014]2、通过安装的环形导流管、液氮机和抽料泵的配合，实现液氮在环形导流管内部循环，能够有效的控制高纯硅烷气体制备所需的温度，确保反应充分。
附图说明
[0015]图1是本技术一种高纯硅烷气体连续制备装置的结构示意图。
[0016]图2是本技术一种高纯硅烷气体连续制备装置的内部结构示意图。
[0017]图3是本技术一种高纯硅烷气体连续制备装置的转盘结构示意图。
[0018]图中，1、底座；2、矩形槽；3、密封板；4、固定螺栓；5、出液管；6、进气管；7、精馏罐；8、固定杆；9、横板；10、电动伸缩杆；11、活塞；12、定量筒；13、刻度线；14、催化剂添加管；15、显示面板；16、驱动电机；17、环形导流管；18、抽料泵；19、转盘；20、电磁阀；21、搅拌轴；22、液氮机。
实施方式
[0019]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0020]如图1
‑
3所示，本技术一种高纯硅烷气体连续制备装置，包括底座1，底座1的顶端固定设有精馏罐7，精馏罐7的内部固定安装有环形导流管17，通过环形导流管17对液氮进行循环，控制精馏罐7内部的温度，精馏罐7内部的顶端固定安装有驱动电机16，驱动电机16的输出轴固定安装有转盘19，转盘19底端的边侧固定安装有搅拌轴21，通过驱动电机16带动搅拌轴21转动，确保催化剂与硅烷气体充分反应，底座1的内部固定安装有液氮机22，液氮机22的出液端固定安装有抽料泵18，抽料泵18的出料端与环形导流管17的一端固定连接，环形导流管17的另一端与液氮机22的进料端连通，精馏罐7边侧的顶部固定安装有催化剂添加管14，催化剂添加管14的一端固定安装有定量筒12，定量筒12的表面刻设有均匀分布的刻度线13，精馏罐7的顶端固定安装有固定杆8，固定杆8的顶端固定安装有横板9，横板9底端的一侧固定安装有电动伸缩杆10，电动伸缩杆10的伸缩端固定安装有活塞11，活塞11与定量筒12滑动连接，通过电动伸缩杆10控制活塞11升降，便于催化剂的添加。
[0021]如图1、图2和图3所示，本技术一种高纯硅烷气体连续制备装置，精馏罐7一侧的顶部固定设有进气管6，精馏罐7一侧的底部固定设有出液管5，进气管6、出液管5和催化
剂添加管14的内部均固定安装有电磁阀20，底座1边侧的中部固定安装有显示面板15，精馏罐7的内壁固定安装有温度传感器，温度传感器与显示面板15电性连接，底座1正面开设有矩形槽2矩形槽2的内部嵌设有密封板3，密封板3与矩形槽2的连接处贴设有密封条，保证连接处的密封性，底座1顶端的四个边角处均螺纹连接有固定螺栓4，活塞11的尺寸与定量筒12的内径相匹配。
[0022]具体实施，在使用该高纯硅烷气体连续制备装置时，首先人为的将硅烷气体通过进气管6通入至精馏罐7的内部，接着人为通过定量筒12对催化剂进行计量，然后打开电动伸缩杆10和催化剂添加管14内部的电磁阀20，电动伸缩杆10推动活塞11向下移动，通过活塞11向下移动将定量筒12 内部的定量催化剂推入至精馏罐7的内部，之后打开液氮机22、驱动电机16和抽料泵18，通过液氮在环形导流管17内部循环，控制深低温液化精馏出高纯硅烷气体，同时在驱动电机16的配合下，驱动电机16带动搅拌轴21转动，确保硅烷气体与催本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高纯硅烷气体连续制备装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶端固定设有精馏罐（7），所述精馏罐（7）的内部固定安装有环形导流管（17），所述精馏罐（7）内部的顶端固定安装有驱动电机（16），所述驱动电机（16）的输出轴固定安装有转盘（19），所述转盘（19）底端的边侧固定安装有搅拌轴（21），所述底座（1）的内部固定安装有液氮机（22），所述液氮机（22）的出液端固定安装有抽料泵（18），所述抽料泵（18）的出料端与环形导流管（17）的一端固定连接，所述环形导流管（17）的另一端与液氮机（22）的进料端连通，所述精馏罐（7）边侧的顶部固定安装有催化剂添加管（14），所述催化剂添加管（14）的一端固定安装有定量筒（12），所述定量筒（12）的表面刻设有均匀分布的刻度线（13），所述精馏罐（7）的顶端固定安装有固定杆（8），所述固定杆（8）的顶端固定安装有横板（9），所述横板（9）底端的一侧固定安装有电动伸缩杆（10），所述电动伸缩杆（10）的伸缩端固定安装有活塞（11），所述活塞（11）与定量...
【专利技术属性】
技术研发人员：王帅，杜宇，张黎静，孔路，周琳，
申请(专利权)人：江苏华中气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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