一种超晶格红外探测器的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种超晶格红外探测器的制备方法，包括：按照超晶格红外探测器的制备要求，从制备数据库中调取与制备要求一致的制备方案；分析制备方案中每个制备流程的流程属性以及每个制备流程所涉及的标准制备参数；根据流程属性以及标准制备参数，且结合当下制备材料的材料属性，构建同个制备流程的流程信息表以及相邻制备流程的稳定信息表；根据所有流程信息表，对待制备探测器进行第一模拟，且将所有流程信息表以及稳定信息表按照完整制备流程，对待制备探测器进行第二模拟；根据模拟结果生成模拟数组列表，并筛选满足生产制备标准的数组信息，并对实际探测器进行多方位验证。为有效保证探测器的制备精度，方便进一步达到制备预期。制备预期。制备预期。

【技术实现步骤摘要】
一种超晶格红外探测器的制备方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种超晶格红外探测器的制备方法。

技术介绍

[0002]超晶格材料在红外探测领域具有极大的潜力和优势，比如，在红外热成像技术中，长波制冷探测器能抗沙尘和反光干扰，适用于复杂背景下的目标探测，如沙尘中的车辆、水面的船舶、反光的云层和飞机等场景。中长波双色制冷红外探测器是将中波和长波探测的优点集合在一个制冷红外探测器组件中，可以同时在中波和长波红外波段进行高性能成像，大大降低了虚警率。可用于复杂背景的探测以及高速运动目标的监测。
[0003]但是，在对探测器进行生产的过程中，会因为生产过程中实际影响因素，比如材料氧化、表面材料不稳定等，会对按照标准方式所生产得到的探测器造成一定精度上的损失，导致制备的探测器达不到制备预期。
[0004]因此，本专利技术提出一种超晶格红外探测器的制备方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种超晶格红外探测器的制备方法，用以通过获取与需求匹配的制备方案，为后续达到预期提供基础，且通过结合流程信息表与稳定信息表来进行模拟，为有效保证探测器的制备精度，方便进一步达到制备预期。
[0006]本专利技术提供一种超晶格红外探测器的制备方法，包括：步骤1：按照超晶格红外探测器的制备要求，从制备数据库中调取与所述制备要求一致的制备方案；步骤2：分析所述制备方案中每个制备流程的流程属性以及每个制备流程所涉及的标准制备参数；步骤3：根据所述流程属性以及标准制备参数，且结合当下制备材料的材料属性，构建同个制备流程的流程信息表，同时，根据相邻制备流程之间的流程触发关系，构建相邻制备流程的稳定信息表；步骤4：根据所有流程信息表，对待制备探测器进行第一模拟，且将所有流程信息表以及稳定信息表按照完整制备流程，对待制备探测器进行第二模拟；步骤5：根据第一模拟结果与第二模拟结果，生成模拟数组列表，并筛选满足生产制备标准的数组信息，进行实际生产制备，并对实际探测器进行多方位验证。
[0007]优选的，按照超晶格红外探测器的制备要求，从制备数据库中调取与所述制备要求一致的制备方案，包括：对所述制备要求进行需求解析，获取得到若干需求脚本以及每个需求脚本所匹配的需求任务结果；消除对应需求脚本的歧义脚本，并根据歧义脚本与所匹配的需求任务结果，获取得到新的需求脚本以及新的任务结果；
对所述制备要求进行词义重要位置解析，从所述新的需求脚本中锁定主要脚本，并从脚本数据库中调取与锁定的主要脚本并列出现的若干历史脚本列表；获取所述新的需求脚本中除去主要脚本后的剩余脚本，并分别将每个剩余脚本与每个历史脚本列表进行脚本匹配，并获取匹配频次；对所有剩余脚本的匹配频次进行频次大小排序，判断是否存在重叠排序；若存在，获取重叠脚本的新的任务结果所对应的任务执行权重，且结合对应的词义位置权重，得到排序值并进行大小排序，得到最终排序结果；其中，P表示对应重叠脚本的排序值；max表示最大值符号；min表示最小值符号；w1表示对应重叠脚本的词义位置权重；r1表示对应重叠脚本的任务执行权重；若不存在，将频次大小排序结果作为最终排序结果；将所述主要脚本作为并列脚本进行初排列，按照最终排序结果对所有剩余脚本进行次排列，得到需求匹配列表；基于所述制备数据库对所述需求匹配列表中的每个新的需求脚本进行脚本协同匹配，调取得到与所述制备要求一致的制备方案。
[0008]优选的，所述制备方案包括：不同制备流程的流程属性以及不同制备流程的标准制备参数。
[0009]优选的，根据所述流程属性以及标准制备参数，且结合当下制备材料的材料属性，构建同个制备流程的流程信息表，包括：获取同个制备流程中涉及到的材料类型，并根据所述材料类型的类型唯一编码，从材料数据库中得到匹配材料；分别获取对每个匹配材料的最新检测报告，通过属性分析模型，获取得到对应匹配材料的材料属性；将同个材料的材料属性与标准属性进行对比；确定同个材料基于同个制备流程的流程属性以及标准制备参数所构建的初始流程表的材料进入位置以及材料结束位置；将同个材料的对比结果与同个材料的材料进入位置以及材料结束位置所构成的参与制备过程输入到结果
‑
过程分析模型中，确定同个材料的对比结果所存在的影响条件；判断每个影响条件是否满足对应的材料影响标准，并对满足材料影响标准的影响条件进行第一标定以及对不满足材料影响标准的影响条件进行第二标定；根据第一标定次数以及第二标定次数，且结合第一标定结果对应的材料权重以及第二标定结果对应的材料权重，确定最后影响部分：当以及时，判定第二标定结果作为最后影响部分；否则，将第一标定结果作为最后影响部分；其中，B2表示对应的第二标定次数；B1表示对应的第一标定次数；表示第i1个第二标定结果所对应的材料权重；表示第i2个第一标定结果所对应的材料权重；基于所述最后影响部分中每个影响条件基于所述初始流程表的材料进入位置进
行持续优化，得到流程信息表。
[0010]优选的，根据相邻制备流程之间的流程触发关系，构建相邻制备流程的稳定信息表，包括：确定相邻制备流程中的上一制备流程在制备结束之后，获取让匹配制备组件进行性能稳定的稳定方式；当匹配制备组件按照所述稳定方式达到稳定标准时，设置所述匹配制备组件的第一触发条件，同时，向所述相邻制备流程的下一制备流程设置第二触发条件，其中，第一触发条件与第二触发条件即为相邻制备流程之间的流程触发关系；基于所述流程触发关系，构建相邻制备流程的稳定信息表。
[0011]优选的，根据所有流程信息表，对待制备探测器进行第一模拟，且将所有流程信息表以及稳定信息表按照完整制备流程，对待制备探测器进行第二模拟，包括：根据每个流程信息表的表模拟先后顺序，向每个流程信息表配置第一时间执行标签以及向每个稳定信息表配置第二时间执行标签；按照第一时间执行标签，来控制每个流程信息表进行第一模拟构建，得到对应的第一初始组件，并对每个第一初始组件进行组件测评以及结合对应第一初始组件的模拟构建过程，获取得到对应第一初始组件的第一组件信息；对所有第一时间执行标签与第二时间执行标签进行先后执行顺序排序，得到若干第三时间执行标签，来控制匹配的信息表进行第二模拟构建，得到对应的第二初始组件，并对每个第二初始组件进行组件测评以及结合对应第二初始组件的模拟构建过程，获取得到对应第二初始组件的第二组件信息。
[0012]优选的，根据第一模拟结果与第二模拟结果，生成模拟数组列表，包括：提取所有第二组件信息中与稳定信息表以及与稳定信息表的左侧相邻的流程信息表所对应的第三组件信息；将同个流程信息表所对应的第一组件信息以及第三组件信息作为组件数组，并分析同组件数组所对应的两个组件信息相对于较大权重的组件信息之间的权重差异以及均值差异；当所述权重差异小于第一设定阈值以及均值差异小于第二设定阈值时，则将对应组件数组进行第一显著性处理；否则，对所述同组件数组中的第一组件信息与第三组件信息进行交集处理，得到交集信息，同时，还进行相应的相似处理，得到相似信息；当所述相似信息基于第一组件信息以及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超晶格红外探测器的制备方法，其特征在于，包括：步骤1：按照超晶格红外探测器的制备要求，从制备数据库中调取与所述制备要求一致的制备方案；步骤2：分析所述制备方案中每个制备流程的流程属性以及每个制备流程所涉及的标准制备参数；步骤3：根据所述流程属性以及标准制备参数，且结合当下制备材料的材料属性，构建同个制备流程的流程信息表，同时，根据相邻制备流程之间的流程触发关系，构建相邻制备流程的稳定信息表；步骤4：根据所有流程信息表，对待制备探测器进行第一模拟，且将所有流程信息表以及稳定信息表按照完整制备流程，对待制备探测器进行第二模拟；步骤5：根据第一模拟结果与第二模拟结果，生成模拟数组列表，并筛选满足生产制备标准的数组信息，进行实际生产制备，并对实际探测器进行多方位验证。2.如权利要求1所述的超晶格红外探测器的制备方法，其特征在于，按照超晶格红外探测器的制备要求，从制备数据库中调取与所述制备要求一致的制备方案，包括：对所述制备要求进行需求解析，获取得到若干需求脚本以及每个需求脚本所匹配的需求任务结果；消除对应需求脚本的歧义脚本，并根据歧义脚本与所匹配的需求任务结果，获取得到新的需求脚本以及新的任务结果；对所述制备要求进行词义重要位置解析，从所述新的需求脚本中锁定主要脚本，并从脚本数据库中调取与锁定的主要脚本并列出现的若干历史脚本列表；获取所述新的需求脚本中除去主要脚本后的剩余脚本，并分别将每个剩余脚本与每个历史脚本列表进行脚本匹配，并获取匹配频次；对所有剩余脚本的匹配频次进行频次大小排序，判断是否存在重叠排序；若存在，获取重叠脚本的新的任务结果所对应的任务执行权重，且结合对应的词义位置权重，得到排序值并进行大小排序，得到最终排序结果；其中，P表示对应重叠脚本的排序值；max表示最大值符号；min表示最小值符号；W1表示对应重叠脚本的词义位置权重；r1表示对应重叠脚本的任务执行权重；若不存在，将频次大小排序结果作为最终排序结果；将所述主要脚本作为并列脚本进行初排列，按照最终排序结果对所有剩余脚本进行次排列，得到需求匹配列表；基于所述制备数据库对所述需求匹配列表中的每个新的需求脚本进行脚本协同匹配，调取得到与所述制备要求一致的制备方案。3.如权利要求1所述的超晶格红外探测器的制备方法，其特征在于，所述制备方案包括：不同制备流程的流程属性以及不同制备流程的标准制备参数。4.如权利要求1所述的超晶格红外探测器的制备方法，其特征在于，根据所述流程属性以及标准制备参数，且结合当下制备材料的材料属性，构建同个制备流程的流程信息表，包括：
获取同个制备流程中涉及到的材料类型，并根据所述材料类型的类型唯一编码，从材料数据库中得到匹配材料；分别获取对每个匹配材料的最新检测报告，通过属性分析模型，获取得到对应匹配材料的材料属性；将同个材料的材料属性与标准属性进行对比；确定同个材料基于同个制备流程的流程属性以及标准制备参数所构建的初始流程表的材料进入位置以及材料结束位置；将同个材料的对比结果与同个材料的材料进入位置以及材料结束位置所构成的参与制备过程输入到结果
‑
过程分析模型中，确定同个材料的对比结果所存在的影响条件；判断每个影响条件是否满足对应的材料影响标准，并对满足材料影响标准的影响条件进行第一标定以及对不满足材料影响标准的影响条件进行第二标定；根据第一标定次数以及第二标定次数，且结合第一标定结果对应的材料权重以及第二标定结果对应的材料权重，确定最后影响部分：当以及时，判定第二标定结果作为最后影响部分；否则，将第一标定结果作为最后影响部分；其中，B2表示对应的第二标定次数；B1表示对应的第一标定次数；表示第i1个第二标定结果所对应的材料权重；表示第i2个第一标定结果所对应的材料权重；基于所述最后影响部分中每个影响条件基于所述初始流程表的材料进入位置进行持续优化，得到流程信息表。5.如权利要求1所述的超晶格红外探测器的制备方法，其特征在于，根据相邻制备流程之间的流程触发关系，构建相邻制备流程的稳定信息表，包括：确定相邻制备流程中的上一制备流程在制备结束之后，获取让匹配制备组件进行性能稳定的稳定方式；当匹配制备组件按照所述稳定方式达到稳定标准时，设置所述匹配制备组件的第一触发条件，同时，向所述相邻制备流程的下一制备流程设置第二触发条件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛建凯，李斌，苏莹，冯伟，
申请(专利权)人：山西创芯光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：