一种N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法技术

本发明专利技术涉及晶硅电池制备领域，具体公开了一种N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法，具体包括步骤：S1选择监测片；S2双面制绒，35min；S3双面磷扩散，60min；S4HF酸清洗，15min；S5双面氮化硅镀膜，15min；S6烧结，5min；S7Sinton测试，5min；同时辅助S8：PL测试，共计135分钟。Sinton测试结果中显示少子寿命、J0、ivoc数据正常，则该药液满足电池结构硅片的生产加工。本发明专利技术提供的N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法，不仅能够进行反射率和金字塔的监测，还能够监测药液是否受到污染。利用本发明专利技术方法，对比Sinton测试结果中少子寿命、J0、IVOC数据能够与常规方法的电池效率能够有明显的对应关系，能够充分反映工艺的稳定性，能够有效控制或着避免工艺的波动对电池效率的影响。或着避免工艺的波动对电池效率的影响。或着避免工艺的波动对电池效率的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法


[0001]本专利技术属于晶硅电池制备领域，更具体的说是涉及一种N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法。

技术介绍

[0002]在晶硅电池的生产过程中，制绒清洗是制备过程中第一道工序，不论是perc电池还是TOPCon电池或者是其他结构电池，制绒清洗是否能够稳定生产，是否满足工艺要求，在很大程度上影响了后续扩散及钝化等各方面的性能。
[0003]传统监测制绒效果的手段有：一、反射率的监测(可采用D8等监测设备)，控制反射率在10％以下既能够满足工艺要求；二、采用金相显微镜或者SEM对制绒后的金字塔微观形貌进行监控，金字塔大小控制在2
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5μm即可满足工艺的要求；三、对来料的化学品进行浓度分析监测，监测主要化学品浓度及杂质的含量是否满足电子级的要求。但是，在实际生产过程中，没有合适的监测手段能够明确判断制绒清洗药液在连续生产过程中，通过对每批次400
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600片的硅片进行制绒和清洗后，单从反射率和金字塔大小已经不能正常的反应出药液内是否存在过多的杂质或者药液的粘稠度已经影本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1:选择监测片；S2：双面制绒，35min；S3：双面磷扩散，60min；S4：HF酸清洗，15min；S5：双面氮化硅镀膜，15min；S6：烧结，5min；S7：Sinton测试，5min。2.根据权利要求1所述的N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法，其特征在于，所述步骤S7包括：S71：选择测试模式，根据少子寿命的范围从QSS、Generalized(1/1)、Transient、Generalized(1/64)四种测试模式中选择一种；S72：输入监测片的厚度、体电阻率、PN型、光学常数的信息；S73：调节光强。3.根据权利要求2所述的N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法，其特征在于，所述S71中，QSS适用于少子寿命≤200μs，Generalized(1/1)适用于少子寿命任何范围，Transient适用于少子寿命＞800μs，Generalized(1/64)适用于少子寿命200
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800μs。4.根据权利要求3所述的N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法，其特征在于，所述步骤S73具体为：当寿命τ≤50us时，调节光强大小为55sun，无需滤光片；当寿命50us＜τ≤200us，调节光强大小为35sun，需2张浅色滤光片；当寿命200us＜τ≤800us，调节光强大小为7.5sun，需1张深色滤光片；当寿命τ＞800us，调节光强大小为4.5sun，需3张滤光片。5.根据权利要求1所述的N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法，其特征在于，还包括步骤S8：PL测试。6.根据权利要求1或5所述的N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法，其特征在于，所述步骤S1选择电阻率在0.8
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1.0Ω.cm的原硅片作为监测片。7.根据权利要求6所述的N型晶硅电池制绒清洗药液监测方法，其特征在于，所述步骤S3包括：检漏，使压力满足
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200pa；升温，使温度达到880
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890℃、压力满足
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10pa；前净化，温度为880
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895℃、时间3分钟；沉积，温度为880
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【专利技术属性】
技术研发人员：李青娟，吝占胜，刘新玉，张东升，王静，李倩，王志国，李志彬，陈晨，刘伟，魏双双，张红妹，张雷，刘莉丽，于波，何广川，张树骞，
申请(专利权)人：英利能源发展有限公司，
类型：发明
国别省市：