一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，包括敲击杆，敲击杆的一端装配有敲击碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆转动安装，转动杆上设置有磁流体组件，转动杆与调节其进行转动的转动调节组件相连接。上述方案中，将敲击装置的传统油封结构更换为磁流体密封结构，可以解决敲击杆部位漏气的问题。气的问题。气的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置


[0001]本技术涉及溅射镀膜设备领域，具体涉及一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置。

技术介绍

[0002]纯离子镀膜（PIC）设备作为一种新型镀膜设备，可以制备高性能的类金刚石涂层、纯金属及其他复合膜层，制备的膜层具备硬度高、耐磨性能好、耐腐蚀能诸多优点，可广泛应用于军工和民用的多个领域。PIC设备是通过敲击碳头敲击靶材引弧产生弧光放电，敲击装置是通过齿轮和密封组件联合运作的，传统的敲击装置一般使用双油封、密封圈实现气体密封的功能，实际使用过程中，由于敲击装置温度往往比较高，油封在长期高温下往复摩擦经常出现磨损的情况，造成敲击装置漏气，从而使得膜层性能急剧下降甚至整炉产品报废的情况。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，其至少可以克服上述一种缺陷。
[0004]一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有敲击碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆转动安装，转动杆上设置有磁流体组件，转动杆与调节其进行转动的转动调节组件相连接。
[0005]进一步的方案为：磁流体组件上设置有散热结构。
[0006]所述的散热结构为磁流体组件上设置的散热管道构成。
[0007]磁流体组件包括磁流体主体座，磁流体主体座采用可导磁的材料做成，磁流体主体座内设有贯穿磁流体主体座的腔道，磁流体主体座穿套安装在转动杆上，磁流体主体座的腔道内装配有磁流体，组装转动杆时，转动杆穿过磁流体主体的腔道进行组装，磁流体则整环形液态依附在磁流体主体的腔道壁及转动杆的圆周表面，磁流体的两端分别设置有用于实现磁流体主体座和转动杆之间密封装配的A、B密封件。
[0008]散热管道设置在磁流体主体座上。
[0009]散热管道的长度方向与转动轴的长度方向保持一致。
[0010]详细的方案为：
[0011]转动杆的一端转动安装在A支座上，转动杆的另一端安装在B支座上，A、B支座之间的转动杆的杆身上装配磁流体组件，A支座外侧的转动杆端部装配敲击杆，B支座外侧的转动杆的旁侧设置有用于检测转动杆转动状态的检测组件，检测组件将检测的信号输送到调控组件进行分析处理，调控组件依据分析处理的结果调控转动调节组件的运行状态。
[0012]敲击杆远离转动杆的端部设置有所述的装配孔，装配孔为通孔，敲击碳头的局部延伸至装配孔一端的外部用于敲击碳靶，装配孔的另一端设置有用于抵靠敲击碳头的碳头
抵靠块，碳头抵靠块的外表面和敲击碳头相贴合抵靠。
[0013]B支座外侧的转动杆的杆身上装配有传感片，传感片上设置由于标记的缺口处，检测组件由传感片外周设置的用于检测缺口处位置的A、B传感器组成，A、B传感器装配在B支座上。
[0014]转动调节组件包括转动杆上设置的A齿轮和敲击安装座上设置的旋转气缸，旋转气缸的动力输出转轴上设置有B齿轮，A、B齿轮传动啮合连接，控制组件包括PC端、正转控制器和反转控制器，PC端接收A、B传感器检测的信号进行分析处理，正转控制器和反转控制器通过调控通气状态调整旋转气缸的动力输出转轴进行正、反转，PC端发送指令调控正、反转控制器的通气状态。
[0015]A支座外侧的转动杆的杆身上设置有A螺纹杆段，敲击杆的端部设置有螺纹安装孔，敲击杆通过螺纹安装孔装配在A螺纹杆段上，敲击碳头敲击碳靶时，碳靶作用于敲击碳头的反作用力使得螺纹安装孔和A螺纹杆段之间具有拧紧的趋势。
[0016]A齿轮装配在磁流体组件和B支座之间的。
[0017]本技术提供的上述方案，具有如下优点：
[0018]1、将敲击装置的传统油封结构更换为磁流体密封结构，可以彻底解决敲击杆部位转动杆轴向漏气问题；
[0019]2、将敲击杆由传统的组合式结构更换为一体式结构，在粘靶的瞬间大电流不会将敲击杆烧断，从而有效保证镀膜可以持续进行。
附图说明
[0020]图1为本技术中敲击杆处于敲击回位时的结构示意图；
[0021]图2为敲击杆处于敲击位时的结构示意图；
[0022]图3为本技术中转动杆和磁流体主体座的装配结构图；
[0023]图4为敲击杆的结构示意图；
[0024]图5为敲击装置装配状态示意图；
[0025]图6为敲击杆装置在真空镀膜设备上的装配示意图。
[0026]101
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螺纹安装孔、111
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敲击杆、112
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敲击碳头、113
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碳头抵靠块、121
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转动杆、12a
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A螺纹杆段、12b
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B螺纹杆段、122
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A齿轮、123
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A支座、124
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B支座、125
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A传感器、126
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B传感器、127
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传感片、131
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旋转气缸、132
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正向控制器、133
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反向控制器、134
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B齿轮、135
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安装座、210
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磁流体组件、211
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磁流体主体座、212
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磁流体、213
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A密封件、214
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B密封件、215
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端盖、300
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碳靶、400
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PC端、500
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真空镀膜装置。
具体实施方式
[0027]为了使本技术的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本技术进行具体明。应当理解，以下文字仅仅用以描述本技术的一种或几种具体的实施方式，并不对本技术具体请求的保护范围进行严格限定。
[0028]如图1、2、3、4、5所示，一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，敲击杆组件包括敲击杆111，敲击杆111的一端装配有敲击碳头112，敲击杆111的另一端装配在转动杆121的一端，敲击杆111和转动杆121呈夹角状布置，转动杆121转动安装，转动杆121
上设置有磁流体组件，转动杆121与调节其进行转动的转动调节组件相连接。如图5所示，转动杆121安装时穿过磁流体组件210的中心，即穿过磁流体212及磁泫体主体座腔道中心，同时穿过敲击杆111的螺孔及穿过齿轮122的中心孔及传感片127的中心孔，与磁流体组件210、敲击杆111组件、齿轮122、传感片127组成为一体，当本敲击装置工作时，转动杆121会带动上述之一体组件转动。
[0029]采用磁流体组件210进行密封，其原理是：由圆环形永久磁铁、极靴和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在轴与极靴顶端缝隙间的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有敲击碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈直角状布置，转动杆转动安装，转动杆上设置有磁流体组件，转动杆与调节其进行转动的转动调节组件相连接。2.根据权利要求1所述采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，其特征在于：磁流体组件上设置有散热结构。3.根据权利要求2所述的采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，其特征在于：所述的散热结构为磁流体组件上设置的散热管道构成。4.根据权利要求1或2或3所述的采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，其特征在于：磁流体组件包括磁流体主体座，磁流体主体座内设有贯穿磁流体主体座的腔道，磁流体主体座穿套安装在转动杆上，磁流体主体座的内装配有磁流体，磁流体的两端分别设置有用于实现磁流体主体座和转动杆之间密封装配的A、B密封件。5.根据权利要求4所述的采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，其特征在于：散热管道设置在磁流体主体座上。6.根据权利要求5所述的采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，其特征在于：散热管道的长度方向与转动轴的长度方向保持一致。7.根据权利要求1或2或3所述的采用磁流体密封处理的用于真空镀膜的敲击装置，其特征在于：转动杆的一端转动安装在A支座上，转动杆的另一端安装在B支座上，A、B支座之...

【专利技术属性】
技术研发人员：张心凤，夏正卫，刘洋，陈玉梅，范洪跃，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：