一种抛光片去边设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种抛光片去边设备，包括沿设备台面设置的上料台、清洗槽以及下料台；还包括可沿设备台面滑动的机械手，机械手的端部连接吸盘，吸盘用于抓取抛光片，抛光片表面附膜，并将需要去边的部分露出；清洗槽设置有三个，第一个清洗槽中盛放氢氟酸，后面两个清洗槽中盛放纯水，吸盘吸取抛光片放入氢氟酸中将需要去边的部分酸蚀掉，然后依次放入后面两个清洗槽中清洗。本实用新型专利技术采用机械手加吸盘的形式对抛光片进行转移，形成流程化以及自动化作业，能够保证交给那个产品的质量稳定性以及去边精度。性以及去边精度。性以及去边精度。

【技术实现步骤摘要】
一种抛光片去边设备


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体为一种抛光片去边设备。

技术介绍

[0002]申请人在研发初期，对于重掺砷抛光片采用手动设备背封去边，具体为，通过人工提取抛光片放入清洗槽中进行腐蚀去边；这种工艺中，去边宽度较差，精度很难把控，同时，由于手动操作对于工人的要求较高，容易导致氧化膜表面划伤，影响产品质量。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种抛光片去边设备，以解决上述
技术介绍
中关于分体式导轨所提出的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种抛光片去边设备，包括沿设备台面设置的上料台、清洗槽以及下料台；
[0005]还包括可沿设备台面滑动的机械手，机械手的端部连接吸盘，吸盘用于抓取抛光片，抛光片表面附膜，并将需要去边的部分露出；
[0006]清洗槽设置有三个，第一个清洗槽中盛放氢氟酸，后面两个清洗槽中盛放纯水，吸盘吸取抛光片放入氢氟酸中将需要去边的部分酸蚀掉，然后依次放入后面两个清洗槽中清洗。
[0007]优选的，机械手包括用于驱动沿设备台面滑动的第一驱动部，还包括用于驱动吸盘垂直升降的第二驱动部。
[0008]优选的，吸盘为圆柱状结构，且吸盘的高度高于清洗槽中的液位深度。
[0009]优选的，吸盘的外周面滑动套接有液刷，液刷受第二驱动部驱动；
[0010]第二驱动部包括第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮采用齿轮齿条的方式驱动吸盘，第二齿轮采用齿轮齿条的方式驱动液刷；
[0011]第一齿轮固定连接有第一驱动轴，第二齿轮固定连接有第二驱动轴，第一驱动轴和第二驱动轴相互转动连接，并且在第一驱动轴和第二驱动轴之间设置有过渡轴；
[0012]第一驱动轴、过渡轴以及第二驱动轴的外周面均设置有摆臂，第一驱动轴在旋转中通过摆臂驱动过渡轴旋转，过渡轴在旋转中通过摆臂驱动第二驱动轴旋转，第一驱动轴受电机驱动；
[0013]初始状态下，第一驱动轴旋转，驱动第一齿轮旋转，驱动吸盘向下滑动，待一段距离后，第一驱动轴通过摆臂推动过渡轴旋转，过渡轴旋转一段距离后推动第二驱动轴旋转，第二驱动轴带动第二齿轮驱动液刷滑动对吸盘外周面进行除液。
[0014]优选的，下料台的端面上设置有吸水海绵，当吸盘将抛光片放下后，转移到吸水海绵的上方，然后下压，吸水海绵将吸盘的底部端面擦干。
[0015]优选的，清洗槽的上部设置有溢流槽，清洗槽外接有输入管道，通过循环输入保持清洗槽中的液流持续更新。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]本技术采用机械手加吸盘的形式对抛光片进行转移，形成流程化以及自动化作业，能够保证交给那个产品的质量稳定性以及去边精度。
附图说明：
[0018]图1为本技术整体结构示意图；
[0019]图2为本技术吸盘结构示意图；
[0020]图3为本技术第二驱动部结构示意图；
[0021]图4为本技术清洗槽结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]一种抛光片去边设备，包括沿设备台面设置的上料台清洗槽3以及下料台4；
[0024]还包括可沿设备台面滑动的机械手2，机械手2的端部连接吸盘21，吸盘21用于抓取抛光片，抛光片表面附膜，并将需要去边的部分露出；
[0025]清洗槽3设置有三个，第一个清洗槽中盛放氢氟酸，后面两个清洗槽中盛放纯水，吸盘21吸取抛光片放入氢氟酸中将需要去边的部分酸蚀掉，然后依次放入后面两个清洗槽中清洗。三个清洗槽中的液体时循环流动的，参照图4所示，清洗槽的上部设置有溢流槽31，溢流槽31外接管道32排出，清洗槽3外接有输入管道33，通过循环输入保持清洗槽3中的液流持续更新。
[0026]参照图1
‑
图3所示，机械手2包括用于驱动沿设备台面滑动的第一驱动部(可采用伺服滑台)，还包括用于驱动吸盘垂直升降的第二驱动部。吸盘为圆柱状结构，且吸盘的高度高于清洗槽中的液位深度。吸盘的高度足够高(20cm左右即可)，能够保证在抛光片放入清洗槽中，液体不会浸没吸盘，否则液体会停留在吸盘的上端面，在吸盘放下抛光片时，液体流到抛光片上对其进行污染。
[0027]吸盘21的外周面滑动套接有液刷22，液刷22受第二驱动部驱动；吸盘21采用耐腐蚀的材料制成，周面保持光滑，避免有水滞留。但是由于液体表面张力，很难做到无滞留，所以一个液刷22来除水。
[0028]参照图3所示，第二驱动部包括第一齿轮28和第二齿轮27，第一齿轮28采用齿轮齿条的方式驱动吸盘，第二齿轮采用齿轮齿条的方式驱动液刷22；
[0029]第一齿轮28固定连接有第一驱动轴23，第二齿轮27固定连接有第二驱动轴26，第一驱动轴23和第二驱动轴26相互转动连接，并且在第一驱动轴23和第二驱动轴26之间设置有过渡轴29，过渡轴29是自由转动的；
[0030]第一驱动轴23、过渡轴29以及第二驱动轴26的外周面均设置有摆臂(图中的24、25、20)，第一驱动轴23在旋转中通过摆臂驱动过渡轴29旋转，过渡轴29在旋转中通过摆臂驱动第二驱动轴26旋转，第一驱动轴23受电机驱动；
[0031]初始状态下，第一驱动轴23旋转，驱动第一齿轮28旋转，驱动吸盘向下滑动，待一段距离后，第一驱动轴23通过摆臂推动过渡轴29旋转，过渡轴29旋转一段距离后推动第二驱动轴26旋转，第二驱动轴26带动第二齿轮27驱动液刷滑动对吸盘外周面进行除液。
[0032]在以上过程中，初始状态下，液刷22位于吸盘21靠近底部的位置(如图2所示)，此时启动电机，第一驱动轴23旋转吸盘21向下滑动，在这个过程中可以通过齿条齿轮的齿数比设定好行程，在吸盘21快要到达底部极限位置时，第一驱动轴23通过摆臂推动过渡轴23旋转，直至过渡轴23的摆臂接触到第二驱动轴26的摆臂，带动第二齿轮27旋转一定的距离让液刷22向下滑动，使得液刷22位于吸盘21靠近顶部的位置(液刷22位于液面之上)，而此时吸盘21恰好到达最底部；此时，第一驱动轴23、过渡轴29以及第二驱动轴26是依靠三个摆臂相互接触的。而此时吸盘21到达最底部，执行吸取抛光片，或者在清洗槽中去边，或者是松开抛光片；待完成动作之后，第一驱动轴23反向旋转，带动吸盘21上升，第一驱动轴23旋转一圈后，摆臂推动过渡轴29反向旋转，继续旋转，在旋转的过程中，吸盘21与液刷22发生相对滑动，将吸盘21周面的水刮除；第一驱动轴23推动过渡轴23再次旋转一圈后，过渡轴23的摆臂推动第二驱动轴26的摆臂反向旋转，液刷22向上滑动，使其保持在初始状态的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抛光片去边设备，其特征在于：包括沿设备台面设置的上料台、清洗槽以及下料台；还包括可沿设备台面滑动的机械手，机械手的端部连接吸盘，吸盘用于抓取抛光片，抛光片表面附膜，并将需要去边的部分露出；清洗槽设置有三个，第一个清洗槽中盛放氢氟酸，后面两个清洗槽中盛放纯水，吸盘吸取抛光片放入氢氟酸中将需要去边的部分酸蚀掉，然后依次放入后面两个清洗槽中清洗。2.根据权利要求1所述的一种抛光片去边设备，其特征在于：机械手包括用于驱动沿设备台面滑动的第一驱动部，还包括用于驱动吸盘垂直升降的第二驱动部。3.根据权利要求2所述的一种抛光片去边设备，其特征在于：吸盘为圆柱状结构，且吸盘的高度高于清洗槽中的液位深度。4.根据权利要求3所述的一种抛光片去边设备，其特征在于：吸盘的外周面滑动套接有液刷，液刷受第二驱动部驱动；第二驱动部包括第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮采用齿轮齿条的方式驱动吸盘，第二齿轮采用齿轮齿条的方式驱动液刷；第一齿轮固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵世印，叶民强，吴海军，王建君，王民安，
申请(专利权)人：黄山芯微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：