晶片腐蚀放置架制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶片腐蚀放置架，涉及碳化硅晶片腐蚀技术领域，该种晶片腐蚀放置架，包括承载框架、辅助卡持架和扶手架，辅助卡持架的两端与承载框架的中部连接，并朝向承载框架的一侧凸起，承载框架相对的两个侧边上设置有多个侧边卡槽，辅助卡持架远离承载框架的侧边上设置有多个底边卡槽，多个底边卡槽与两侧的侧边卡槽分别对应，扶手架的两端铰接于承载框架的中部。相较于现有技术，本实用新型专利技术通过多个底边卡槽和侧边卡槽来实现对晶片的边缘卡槽，避免了支架与晶片表面的直接接触，能够保证腐蚀的均匀性，并且能够同时实现对多个晶片的卡持，进而实现对多片晶片的同时腐蚀，大大提升了腐蚀效率，保证了腐蚀效果。保证了腐蚀效果。保证了腐蚀效果。

【技术实现步骤摘要】
晶片腐蚀放置架


[0001]本技术涉及碳化硅晶片腐蚀
，具体而言，涉及一种晶片腐蚀放置架。

技术介绍

[0002]由于碳化硅特殊的腐蚀条件，需要在500℃左右熔融态的KOH溶液中放置15～20分钟，所以坩埚材料一般选用Ni金属，传统的坩埚和支架一般选择焊接结构，Ni金属材料软，焊接精度达不到要求，影响使用且浪费资源，并且一般情况下，常规的支架并不能同时腐蚀多片晶片，导致晶片腐蚀增加了时间成本。进一步地，传统的腐蚀支架一般是直接接触，即将晶片放置在支架表面，这样会影响腐蚀的均匀性，容易给缺陷的检测结果带来误差。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶片腐蚀放置架，其能够采用组装式结构，并能够同时卡持多片晶片，实现对多片晶片的同时腐蚀，并且采用边缘卡持式的结构，能够进一步保证腐蚀的均匀性，保证了腐蚀的效果。
[0004]本技术的实施例是这样实现的：
[0005]本实施例提供了一种晶片腐蚀放置架，包括承载框架、辅助卡持架和扶手架，所述辅助卡持架的两端与所述承载框架的中部连接，并朝向所述承载框架的一侧凸起，所述承载框架相对的两个侧边上设置有多个侧边卡槽，所述辅助卡持架远离所述承载框架的侧边上设置有多个底边卡槽，多个所述底边卡槽与两侧的所述侧边卡槽分别对应，并用于卡持晶片的边缘，所述扶手架的两端铰接于所述承载框架的中部，并用于朝向所述承载框架的另一侧凸起，以对所述晶片的边缘进行限位。
[0006]进一步地，所述辅助卡持架包括辅助支撑架体和设置在所述辅助支撑架体两端的辅助连接架体，所述辅助连接架体的一端与所述承载框架的中部连接，另一端与所述辅助支撑架体连接，所述底边卡槽设置在所述辅助支撑架体上。
[0007]进一步地，所述承载框架包括依次连接的两个承载连接架体和两个承载支撑架体，所述辅助连接架体与所述承载连接架体的中部连接，所述扶手架的两端分别铰接于两个所述承载连接架体的中部，两个所述承载支撑架体相对设置在所述承载连接架体的两端，所述侧边卡槽设置在两个所述承载支撑架体上。
[0008]进一步地，所述扶手架包括扶手连接架体和扶手固定架体，所述扶手连接架体设置在所述扶手固定架体的两端，并铰接于所述承载连接架体的中部。
[0009]进一步地，所述扶手架还包括固定杆，所述固定杆设置在所述扶手固定架体处，且所述固定杆的两端分别与两个所述扶手连接架体连接，所述固定杆用于对所述晶片的边缘进行限位。
[0010]进一步地，所述承载连接架体的中部设置有连接片，所述连接片上设置有连接件，所述连接件与所述扶手连接架体的端部可拆卸连接，以使所述扶手连接架体与所述连接片铰接。
[0011]进一步地，所述晶片腐蚀放置架还包括连接杆，所述连接杆的两端分别连接于所述承载框架的两个顶点处，且所述连接杆的中部连接于所述辅助卡持架。
[0012]进一步地，所述连接杆呈半圆形。
[0013]进一步地，所述晶片腐蚀放置架还包括承载底座，所述连接杆和所述辅助卡持架放置在所述承载底座上，且所述承载底座上开设有容置槽，所述连接杆容置在所述容置槽中。
[0014]进一步地，所述晶片腐蚀放置架还包括支撑圆盘，所述支撑圆盘卡持在所述侧边卡槽和所述底边卡槽上，用于支撑晶片。
[0015]本技术实施例的有益效果包括：
[0016]本技术实施例提供的晶片腐蚀放置架，在承载框架相对的两个侧边上设置多个侧边卡槽，同时在辅助卡持架的侧边上设置多个底边卡槽，多个底边卡槽与两侧的侧边卡槽分别对应，用于卡持在晶片的边缘，实现对多个晶片的固定，并且扶手架的两端铰接于承载框架的中部，实现对晶片的边缘进行限位。相较于现有技术，本技术通过多个底边卡槽和侧边卡槽来实现对晶片的边缘卡槽，避免了支架与晶片表面的直接接触，能够保证腐蚀的均匀性，并且能够同时实现对多个晶片的卡持，进而实现对多片晶片的同时腐蚀，大大提升了腐蚀效率，保证了腐蚀效果。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1为本技术实施例提供的晶片腐蚀放置架在第一视角下的结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例提供的晶片腐蚀放置架在第二视角下的结构示意图；
[0020]图3为图1中晶片腐蚀放置架在扶手架锁定状态的结构示意图；
[0021]图4为图1中晶片腐蚀放置架在扶手架解锁状态的结构示意图；
[0022]图5为图1中晶片腐蚀放置架在第一视角下的局部结构示意图；
[0023]图6为图1中晶片腐蚀放置架在第二视角下的局部结构示意图。
[0024]图标:
[0025]100
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晶片腐蚀放置架；110
‑
承载框架；111
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承载连接架体；113
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承载支撑架体；120
‑
辅助卡持架；121
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辅助支撑架体；123
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辅助连接架体；130
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扶手架；131
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扶手连接架体；133
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扶手固定架体；135
‑
固定杆；140
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侧边卡槽；150
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底边卡槽；160
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连接片；161
‑
连接件；170
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连接杆；180
‑
承载底座；190
‑
支撑圆盘。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0027]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶片腐蚀放置架，其特征在于，包括承载框架(110)、辅助卡持架(120)和扶手架(130)，所述辅助卡持架(120)的两端与所述承载框架(110)的中部连接，并朝向所述承载框架(110)的一侧凸起，所述承载框架(110)相对的两个侧边上设置有多个侧边卡槽(140)，所述辅助卡持架(120)远离所述承载框架(110)的侧边上设置有多个底边卡槽(150)，多个所述底边卡槽(150)与两侧的所述侧边卡槽(140)分别对应，并用于卡持晶片的边缘，所述扶手架(130)的两端铰接于所述承载框架(110)的中部，并用于朝向所述承载框架(110)的另一侧凸起，以对所述晶片的边缘进行限位。2.根据权利要求1所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述辅助卡持架(120)包括辅助支撑架体(121)和设置在所述辅助支撑架体(121)两端的辅助连接架体(123)，所述辅助连接架体(123)的一端与所述承载框架(110)的中部连接，另一端与所述辅助支撑架体(121)连接，所述底边卡槽(150)设置在所述辅助支撑架体(121)上。3.根据权利要求2所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述承载框架(110)包括依次连接的两个承载连接架体(111)和两个承载支撑架体(113)，所述辅助连接架体(123)与所述承载连接架体(111)的中部连接，所述扶手架(130)的两端分别铰接于两个所述承载连接架体(111)的中部，两个所述承载支撑架体(113)相对设置在所述承载连接架体(111)的两端，所述侧边卡槽(140)设置在两个所述承载支撑架体(113)上。4.根据权利要求3所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述扶手架(130)包括扶手连接架体(131)和扶手固定架体(133)，所述扶手连接架体(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：