固体摄像装置、固体摄像装置制造方法以及照相机制造方法及图纸

技术编号:3755170 阅读:182 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了从背侧接收入射光的固体摄像装置、固体摄像装置制造方法以及照相机。所述固体摄像装置包括:半导体层,在所述半导体层上形成有包括光电转换器和像素晶体管的多个像素;形成于所述半导体层的第一表面上的布线层;形成于所述半导体层的第二表面上的焊盘部;被形成为到达所述布线层中的导电层的开口;以及被形成为从所述半导体层的第二表面向所述开口的内部侧壁延伸从而将所述半导体层绝缘的绝缘膜。由于绝缘膜被形成为从半导体层的表面向焊盘部的开口的内部侧壁延伸从而将半导体层绝缘,因此可防止对半导体层和布线层的不利影响,并可提高固体摄像装置的产品可靠性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种从背侧接收入射光的固体摄像装置,所述固体摄像装置包括: 半导体层,在所述半导体层上形成有包括光电转换器和像素晶体管的多个像素; 形成于所述半导体层的第一表面上的布线层; 形成于所述半导体层的第二表面上的焊盘部;被形成为到达所述布线层中的导电层的开口;以及 被形成为从所述半导体层的第二表面向所述开口的内部侧壁延伸从而将所述半导体层绝缘的绝缘膜。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:秋山健太郎
申请(专利权)人:索尼株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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