碳化硅长晶设备的冷却水系统技术方案

本实用新型专利技术实施例提供了一种碳化硅长晶设备的冷却水系统，属于晶体生长领域，包括发电设备、第一开关、第二开关、过渡电源、PCW以及碳化硅长晶设备，发电设备依次通过第一开关和第二开关与PCW电连接，第一开关用于与市电线路电连接，过渡电源与第二开关并联，PCW的供水口通过供水管路与碳化硅长晶设备的进水口连通，PCW的回水口通过回水管路与碳化硅长晶设备的出水口连通。本碳化硅长晶设备的冷却水系统可以实现对PCW的稳定供电，使得PCW可以持续地为碳化硅长晶设备提供冷却介质，从而保证碳化硅长晶设备的正常运行，避免碳化硅晶体的生长受到影响。长受到影响。长受到影响。

【技术实现步骤摘要】
碳化硅长晶设备的冷却水系统


[0001]本技术涉及晶体生长领域，具体而言，涉及一种碳化硅长晶设备的冷却水系统。

技术介绍

[0002]作为第三代半导体材料的代表，碳化硅(SiC)具有宽禁带、高击穿电场、高热导率、高饱和电子迁移率等特点，因此采用碳化硅材料制备的半导体器件适用于高电压、大电流、高温、高频等场景，前景十分广阔。
[0003]碳化硅长晶设备是制备碳化硅晶体的重要设备，由于碳化硅晶体制备过程需要高温环境，因此碳化硅长晶设备通常设置冷却水系统，以对设备进行冷却降温。目前，碳化硅长晶设备的冷却水系统以PCW(工艺冷却水系统，Process Cooling Water)为水源，而PCW一般由市电供电，因此一旦出现断电等情况，就会导致PCW无法正常工作，从而导致碳化硅长晶设备无法正常工作，影响碳化硅晶体的生长。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种碳化硅长晶设备的冷却水系统，其能够有效保证对PCW的稳定供电，避免PCW因为停电而无法运行，从而保证碳化硅长晶设备的正常运行，避免碳化硅晶体的生长受到影响。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供一种碳化硅长晶设备的冷却水系统，包括发电设备、第一开关、第二开关、过渡电源、PCW以及碳化硅长晶设备，所述发电设备依次通过所述第一开关和所述第二开关与所述PCW电连接，所述第一开关用于与市电线路电连接，所述过渡电源与所述第二开关并联，所述PCW的供水口通过供水管路与所述碳化硅长晶设备的进水口连通，所述PCW的回水口通过回水管路与所述碳化硅长晶设备的出水口连通。
[0007]在可选的实施方式中，所述发电设备为柴油发电机。
[0008]在可选的实施方式中，所述第一开关为ATS。
[0009]在可选的实施方式中，所述过渡电源为UPS。
[0010]在可选的实施方式中，冷却水系统还包括市水管路和排水管路，所述市水管路与所述碳化硅长晶设备的进水口连通，所述排水管路与所述碳化硅长晶设备的出水口连通。
[0011]在可选的实施方式中，所述市水管路上设置有第一单向阀、第一电磁阀、第一手动阀以及第二手动阀。
[0012]在可选的实施方式中，所述供水管路上设置有第二单向阀、第三手动阀以及第四手动阀。
[0013]在可选的实施方式中，所述回水管路上设置有第二电磁阀和第五手动阀。
[0014]在可选的实施方式中，冷却水系统还包括水箱、RO设备以及自来水管路，所述水箱通过补偿管路与所述回水管路连通，所述RO设备和所述自来水管路分别与所述水箱连通。
[0015]在可选的实施方式中，所述碳化硅长晶设备包括长晶炉和冷却管路，所述冷却管路绕设于所述长晶炉的炉璧，所述冷却管路的两端分别形成所述进水口和所述出水口。
[0016]本技术实施例的有益效果包括：
[0017]本碳化硅长晶设备的冷却水系统包括发电设备、第一开关、第二开关、过渡电源、PCW以及碳化硅长晶设备，发电设备依次通过第一开关和第二开关与PCW电连接，第一开关用于与市电线路电连接，过渡电源与第二开关并联，PCW的供水口通过供水管路与碳化硅长晶设备的进水口连通，PCW的回水口通过回水管路与碳化硅长晶设备的出水口连通。正常情况下，第一开关接通市电线路，第二开关处于导通状态，由市电线路给PCW供电，电能依次经过市电线路、第一开关和第二开关后输送至PCW，当市电线路断电时，发电设备开始启动，第一开关接通发电设备，第二开关切换至断开状态，由过渡电源给PCW临时供电，电能从过渡电源输送至PCW，等到发电设备启动后，第二开关切换至导通状态，由发电设备给PCW供电，电能依次从发电设备依次经过第一开关、第二开关后输送至PCW。如此，就可以实现对PCW的稳定供电，使得PCW可以持续地为碳化硅长晶设备提供冷却介质，从而保证碳化硅长晶设备的正常运行，避免碳化硅晶体的生长受到影响。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1为本技术实施例提供的碳化硅长晶设备的冷却水系统的供电部分的示意图；
[0020]图2为本技术实施例提供的碳化硅长晶设备的冷却水系统的供水部分的示意图。
[0021]图标:100
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第一开关；200
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第二开关；300
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发电设备；400
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过渡电源；500
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PCW；510
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供水口；520
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回水口；600
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碳化硅长晶设备；610
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进水口；620
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出水口；700
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水箱；800
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市电线路；810
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发电线路；820
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输电线路；900
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供水管路；902
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第三手动阀；904
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第二单向阀；906
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第四手动阀；910
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回水管路；912
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第二电磁阀；914
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第五手动阀；920
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市水管路；922
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第一单向阀；924
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第一电磁阀；926
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第一手动阀；928
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第二手动阀；930
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补偿管路；940
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排水管路；942
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第三电磁阀。
具体实施方式
[0022]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0023]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都
属于本技术保护的范围。
[0024]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅长晶设备的冷却水系统，其特征在于，包括发电设备、第一开关、第二开关、过渡电源、PCW以及碳化硅长晶设备，所述发电设备依次通过所述第一开关和所述第二开关与所述PCW电连接，所述第一开关用于与市电线路电连接，所述过渡电源与所述第二开关并联，所述PCW的供水口通过供水管路与所述碳化硅长晶设备的进水口连通，所述PCW的回水口通过回水管路与所述碳化硅长晶设备的出水口连通。2.根据权利要求1所述的碳化硅长晶设备的冷却水系统，其特征在于，所述发电设备为柴油发电机。3.根据权利要求1所述的碳化硅长晶设备的冷却水系统，其特征在于，所述第一开关为ATS。4.根据权利要求1所述的碳化硅长晶设备的冷却水系统，其特征在于，所述过渡电源为UPS。5.根据权利要求1所述的碳化硅长晶设备的冷却水系统，其特征在于，还包括市水管路和排水管路，所述市水管路与所述碳化硅长晶设备的进水口连通，所述排水管路与所述碳化硅长晶设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐江，吕芳栋，卫元元，简征程，邹方海，张哲，叶水全，王奇缘，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：