一种高阻直流电阻测试仪制造技术

本实用新型专利技术属于测量仪器技术领域，具体的说是一种高阻直流电阻测试仪，包括测试仪；测试仪上一侧安装有电推杆，电推杆输出端连接有连接架，连接架一端连接有探针架，探针架内部两侧开设的滑槽内滑动设有滑块，滑块一端固定设有推板，推板底侧设有转杆，转杆外部转动设有齿轮，齿轮一侧啮合设有齿带；工作时，通过接线口将探针主体与测试仪进行连接，根据产品的长度，推动推板，推板两端设置的滑块在探针架内部两侧开设的槽内进行滑动，使得滑动时更为稳固，此上装置可以根据不同的长度，进而调节四个探针主体的位置，进而将四个探针主体尽可能的均匀分布在半导体材料表面，进一步提高了在测量时检测结果的精准性。在测量时检测结果的精准性。在测量时检测结果的精准性。

【技术实现步骤摘要】
一种高阻直流电阻测试仪


[0001]本技术涉及测量仪器
，具体是一种高阻直流电阻测试仪。

技术介绍

[0002]四探针方阻测试仪是用来测量(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率的测量仪器，它主要由电气测量部分，测试架及四探针头组成。
[0003]在使用四探针方阻测试仪测量半导体材料电阻率时，用4根探针扎在半导体表面上，由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I，然后测量出中间两根探针之间的电压V，就可以求出半导体的电阻率。
[0004]四探针方阻测试仪在使用4根探针对半导体进行测阻时，由于的长度不等，需要将四个探针尽可能的均匀分布在材料表面，现有的四探针方阻测试仪之间的探针一般是固定在探针架上，不便于对四个探针的位置进行调节，在测量时可以会降低检测结果的精准性。

技术实现思路

[0005]为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提到的至少一个技术问题，本技术提出一种高阻直流电阻测试仪。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种高阻直流电阻测试仪，包括测试仪；测试仪上一侧安装有电推杆，电推杆输出端连接有连接架，连接架一端连接有探针架，探针架内部两侧开设的滑槽内滑动设有滑块，滑块一端固定设有推板，推板底侧设有转杆，转杆外部转动设有齿轮，齿轮一侧啮合设有齿带，且齿带另一侧固定设置在探针架内部一侧，转杆远离推板的一端安装有探针主体，探针主体一侧设有接线口；工作时，通过接线口将探针主体与测试仪进行连接，根据产品的长度，推动推板，推板两端设置的滑块在探针架内部两侧开设的槽内进行滑动，使得滑动时更为稳固，同时在滑动时，推板带动底侧设置的转杆进行移动，进而带动转杆外部转动设有齿轮与齿带之间发生啮合运动，以降低在测量半导体材料时推板通过转杆带动探针主体产生位置移动，进而提高检测时的精准性，同时此上装置可以根据不同的长度，进而调节四个探针主体的位置，进而将四个探针主体尽可能的均匀分布在半导体材料表面，进一步提高了在测量时检测结果的精准性。
[0007]优选的，探针主体远离转杆的一端内部螺纹设有检测探针；工作时，转动检测探针可以将其从探针主体一端进行拆除更换工作，以便于检测探针根据半导体的形状进行更换，提高检测探针与材料的接触面积，进一步提高检测的精度性。
[0008]优选的，测试仪两侧均对称设有滑板，测试仪通过滑板外部滑动对称设有防尘壳体；工作时，拉动防尘壳体，防尘壳体内部开设的槽在测试仪两侧设置的滑板表面滑动，防尘壳体具有的强度，可以对测试仪及探针架进行保护，降低装置在受到外界冲击时装置内部的仪器等元件受到的伤害，同时可以避免本装置在放置时，灰尘落到装置上，对装置造成损坏。
[0009]优选的，防尘壳体内部顶端滑动设有抽屉，抽屉一侧安装有拉手；工作时，抽屉安装在防尘壳体内部顶端，位于探针架两侧，不会碰撞到探针架，抽屉内部可以放置一些更换的连接导线、不同型号的检测探针及其他相关物品等。
[0010]优选的，两个防尘壳体一侧边缘处均设有锁扣，且两个防尘壳体上边缘处均设有提手；工作时当需要移动装置时，将两个防尘壳体通过锁扣相互连接，通过提手可以便于提着装置将装置移动到指定位置，锁扣为现有技术中常见的结构零件，用于两个防尘壳体之间的相互连接。
[0011]优选的，测试仪上铺设有垫板；工作时，将半导体材料放置在垫板上，垫板具有一定的摩擦力，可以增加与半导体材料之间的摩擦力，使得半导体材料在检测时更为稳固。
[0012]本技术的有益之处在于：
[0013]1.本技术通过接线口将探针主体与测试仪进行连接，根据产品的长度，推动推板，推板两端设置的滑块在探针架内部两侧开设的槽内进行滑动，使得滑动时更为稳固，同时在滑动时，推板带动底侧设置的转杆进行移动，进而带动转杆外部转动设有齿轮与齿带之间发生啮合运动，以降低在测量半导体材料时推板通过转杆带动探针主体产生位置移动，进而提高检测时的精准性，同时此上装置可以根据不同的长度，进而调节四个探针主体的位置，进而将四个探针主体尽可能的均匀分布在半导体材料表面，进一步提高了在测量时检测结果的精准性；转动检测探针可以将其从探针主体一端进行拆除更换工作，以便于检测探针根据半导体的形状进行更换，提高检测探针与材料的接触面积，进一步提高检测的精度性；拉动防尘壳体，防尘壳体内部开设的槽在测试仪两侧设置的滑板表面滑动，防尘壳体具有的强度，可以对测试仪及探针架进行保护，降低装置在受到外界冲击时装置内部的仪器等元件受到的伤害，同时可以避免本装置在放置时，灰尘落到装置上，对装置造成损坏；抽屉安装在防尘壳体内部顶端，位于探针架两侧，不会碰撞到探针架，抽屉内部可以放置一些更换的连接导线、不同型号的检测探针及其他相关物品等；
[0014]2.本技术当需要移动装置时，将两个防尘壳体通过锁扣相互连接，通过提手可以便于提着装置将装置移动到指定位置，锁扣为现有技术中常见的结构零件，用于两个防尘壳体之间的相互连接；将半导体材料放置在垫板上，垫板具有一定的摩擦力，可以增加与半导体材料之间的摩擦力，使得半导体材料在检测时更为稳固，底板底部设有橡胶垫，可以增加装置与工作台之间的摩擦力，进一步增加装置的稳定性。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0016]图1为实施例一的一种高阻直流电阻测试仪的结构示意图之一；
[0017]图2为实施例一的一种高阻直流电阻测试仪的结构示意图之一；
[0018]图3为实施例一的一种高阻直流电阻测试仪的探针架结构示意图之一；
[0019]图4为实施例一的一种高阻直流电阻测试仪的探针架结构示意图之一；
[0020]图5为实施例一的一种高阻直流电阻测试仪的探针主体结构示意图；
[0021]图6为实施例一的一种高阻直流电阻测试仪的防尘壳体结构示意图；
[0022]图7为实施例一的一种高阻直流电阻测试仪的抽屉结构示意图；
[0023]图8为实施例二的一种高阻直流电阻测试仪的橡胶垫结构示意图。
[0024]图中：1、测试仪；2、电推杆；3、连接架；4、探针架；5、滑块；6、推板；7、转杆；8、齿轮；9、齿带；10、探针主体；11、接线口；12、检测探针；13、滑板；14、防尘壳体；15、抽屉；16、拉手；17、锁扣；18、提手；19、垫板；20、底板；21、橡胶垫。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高阻直流电阻测试仪，其特征在于：包括测试仪(1)；所述测试仪(1)上一侧安装有电推杆(2)，所述电推杆(2)输出端连接有连接架(3)，所述连接架(3)一端连接有探针架(4)，所述探针架(4)内部两侧开设的滑槽内滑动设有滑块(5)，所述滑块(5)一端固定设有推板(6)，所述推板(6)底侧设有转杆(7)，所述转杆(7)外部转动设有齿轮(8)，所述齿轮(8)一侧啮合设有齿带(9)，且所述齿带(9)另一侧固定设置在所述探针架(4)内部一侧，所述转杆(7)远离所述推板(6)的一端安装有探针主体(10)，所述探针主体(10)一侧设有接线口(11)。2.根据权利要求1所述的一种高阻直流电阻测试仪，其特征在于：所述探针主体(10)远离所述转杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：王心阳，陈余宏，
申请(专利权)人：常州欣阳电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：