导向装置、冷却剂管道和扩散真空泵制造方法及图纸

一种用于扩散真空泵的导向装置具有多个环形导向板。导向板沿径向布置，其中至少一个导向板具有从连接点开始的第一部分和从该连接点开始的第二部分。其中，第一部分沿第一方向轴向延伸，第二部分沿相反的第二方向轴向延伸。其中，第一部分设计成径向上成锥形和/或第二部分设计成径向上成锥形。二部分设计成径向上成锥形。二部分设计成径向上成锥形。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】导向装置、冷却剂管道和扩散真空泵
[0001]本专利技术涉及用于扩散真空泵的导向装置、用于真空泵的冷却剂管道以及具有这种导向装置和冷却剂管道的扩散真空泵。
[0002]已知的扩散真空泵具有带入口和出口的壳体，其中一个或多个喷嘴布置在壳体中。此外，提供了加热元件，通过该加热元件汽化推进剂，特别是油。这种汽化的推进剂通过喷嘴排出。推进剂将气体分子从真空中朝扩散真空泵的出口的方向输送。推进剂在扩散真空泵的外壁上冷凝，从而返回到同样设置有加热元件的存储空间。因此，推进剂又被汽化，形成推进剂的输送回路，从而将气态介质从扩散真空泵的入口输送到扩散真空泵的出口。
[0003]然而，这个过程的一个缺点是推进剂的油分子可以进入连接到扩散真空泵入口的容器。这会污染容器中的真空，并可能损坏真空设备。
[0004]为了防止油回流到容器中，已知在扩散真空泵的入口侧喷嘴或高真空侧喷嘴上提供蒸汽屏障。这些蒸汽屏障有一个额外的冷凝表面，推进剂在该表面上冷凝，因此无法进入容器。然而，这具有扩散真空泵的传导率和泵浦速率显著降低的缺点。如果这种蒸汽屏障的面积小，特别是小于扩散真空泵的入口横截面，则这些蒸汽屏障通常直接连接到入口侧喷嘴。这使喷嘴区域的结构变得复杂，并使蒸汽屏障的清洁变得更加困难。如果要在整个入口表面或整个入口横截面上提供这种蒸汽屏障，则已知将这种蒸汽屏障设置为具有单独壳体的单独真空元件。因此，壳体具有用于连接到扩散真空泵的第一法兰和用于连接到容器的第二法兰。这使得结构不必要地大。尤其是在更换蒸汽屏障时则必须调整可用的安装空间。
[0005]已知的蒸汽屏障也在0和
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196℃(液氮)之间的温度下运行。由于直接连接到喷嘴，这导致冷却能量不希望地传递到喷嘴本身。此外，在已知的解决方案中，冷却剂的供应由扩散真空泵本身的壳体确保。这导致大量冷量从冷却剂转移到扩散真空泵的壳体。周围空气中的水分在扩散真空泵的外部上凝结并冻结，因此沉积为一层冰。
[0006]本专利技术的目的是创造一种用于扩散真空泵的集成导向装置，其可以以简单的方式冷却并防止油回流到容器中。
[0007]该目的通过根据权利要求1的导向装置、根据权利要求11的冷却装置和根据权利要求13的扩散真空泵实现。
[0008]根据本专利技术的用于扩散真空泵的导向装置具有多个环形导向板，多个导向板相对于彼此径向布置。在这种情况下，至少一个导向板具有从连接点开始的第一部分和从该连接点开始的第二部分。第一部分沿第一方向轴向延伸，第二部分沿相反方向或第二方向轴向延伸。在安装状态下，第一方向指向导向装置的入口或容器的方向并且第二方向指向扩散真空泵的方向。第一部分设计成径向上成锥形。替代地或附加地，第二部分设计成径向上成锥形。因此，从公共连接点开始，半径沿轴向方向改变，并且一个导向板的冷凝表面相对于另一个导向板的冷凝表面成角度，通过第一部分和第二部分产生。由第一部分和第二部分形成的扩大的、成角度的冷凝表面有效地防止汽化推进剂的油分子回流。
[0009]所有导向板优选地以相同方式设计，因此优选地每个导向板具有第一部分和第二部分，它们被设计成沿第一和第二轴向方向径向地成锥形。这有效地防止了油分子的回流。同时，各个导向板可彼此相距很远，简化了导向装置的结构，并且可容易地清洗导向装置。
同时，在不降低屏障功能的情况下，增加了导向装置的传导率。
[0010]导向板中的一个导向板、导向板中的数个或所有导向板的第一部分的轴向端点优选布置在直接相邻的导向板(特别是径向内部的直接相邻的导向板)的连接点的径向上方或径向更向内。第一部分的轴向端点是导向板在第一方向上的轴向端点，其与所讨论的导向板的连接点相对。因此，第一部分从连接点延伸到其轴向端点。替代地或附加地，导向板中的一个导向板、导向板中的数个或所有导向板的第二部分的轴向端点布置在直接相邻的导向板(特别是径向内部的直接相邻的导向板)的连接点的径向上方或径向更向内。第二部分的轴向端点为导向板在第二方向上的轴向端点，其与所讨论的导向板的连接点相对。第二部分因此从连接点延伸到其轴向端点。因此通过这种配置产生了光学密封的导向装置。这意味着不可能直接通过导向装置观察，因此油分子也没有通过导向装置的直接路径。因此，油分子仅通过与由导向板形成的冷凝表面之一接触而穿过导向装置。然而，在这里，油分子被冷凝，因此不会进入容器。这样，可以完全或至少几乎完全防止油分子的回流。
[0011]优选设置三到五个导向板，使得导向板的数量覆盖扩散真空泵的整个入口或入口横截面。
[0012]至少一个导向板、数个或所有导向板优选连接到冷却元件，特别是设计为冷却剂管路，用于冷却导向板。这使得导向板的温度可以降低到
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196℃，从而实现推进剂蒸汽在导向板上的有效冷凝。
[0013]至少一个冷却的导向板的第一部分优选地由第一导向板元件形成。至少一个冷却的导向板的第二部分也由第二导向板元件形成。第一导向板元件和第二导向板元件通过冷却元件相互连接。因此，在第一导向板元件和冷却元件之间仅存在连接，特别是设计为冷却剂管路。同样，第二导向板元件和冷却元件之间也仅存在连接。特别地，在第一导向板元件和第二导向板元件之间没有直接连接。这产生了一种特别简单的结构，该结构简单且制造成本低。
[0014]优选地，至少一个冷却的导向板的第一导向板元件和/或第二导向板元件具有用于连接到冷却元件的基本上并且优选地仅径向延伸的部分。这产生了第一导向板元件或第二导向板元件与冷却元件的大面积连接。此外，简化了结构以实现简单且廉价的制造。
[0015]优选地，至少一个、多于一个并且优选地所有导向板的第一导向板元件和/或第二导向板元件在它们各自的轴向端处包括基本上并且优选地只轴向延伸的部分。该轴向延伸部分增加了独立的第一和/或第二导向板元件的稳定性。
[0016]第二部分的轴向长度优选地从外导向板到内导向板减小。因此，径向更靠外布置的导向板具有第二部分，该第二部分朝喷嘴的方向比径向更靠内布置的导向板在轴向方向上延伸得更远。这确保了径向进一步向内布置的导向板不会干扰并因此不利地影响从扩散真空泵的喷嘴离开的推进剂射流。同时，导向板更靠外定位，确保足够的冷凝表面是可获得的以便防止油回流。
[0017]导向装置优选恰好具有一个法兰以便连接到扩散真空泵。特别地，导向装置没有壳体，但可以通过所述一个法兰安装在扩散真空泵的壳体内。以这种方式实现特别节省空间的结构。
[0018]导向板优选地特别是通过腹板连接到法兰，其中腹板特别是径向延伸。这确保了导向装置的足够稳定性。同时，导向装置的安装空间可以保持较小。
[0019]腹板优选地具有热解耦元件，尤其由塑料材料制成。这确保了导向装置的低温不会传递到法兰，从而传递到真空泵。因此，可以在
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196℃的特别低的温度下操作导向装置。
[0020]此外，作为独立的专利技术，本专利技术涉及一种用于真空泵、特别是扩散真空泵的冷却剂管道。冷却剂管道具有法兰，其中法兰具有通向内部的凹部，并且冷却剂管路布置在凹部中。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种扩散真空泵的导向装置，具有多个环形导向板，所述导向板沿径向布置，其中至少一个导向板具有从连接点开始的第一部分和从所述连接点开始的第二部分，其中第一部分沿第一方向轴向延伸，第二部分沿相反的第二方向轴向延伸，其中第一部分被设计成径向上成锥形和/或其中第二部分被设计成径向上成锥形。2.根据权利要求1所述的导向装置，其特征在于，所有导向板以相同的方式设计。3.根据权利要求1或2所述的导向装置，其特征在于，导向板之一的轴向端点位于直接相邻的导向板的连接点的径向上方或更靠内。4.根据权利要求1至3任一项所述的导向装置，其特征在于，设置3至5块导向板。5.根据权利要求1至4中任一项所述的导向装置，其特征在于，至少一个导向板连接至用于冷却所述导向板的冷却元件。6.根据权利要求5所述的导向装置，其特征在于，所述至少一个冷却的导向板的第一部分和第二部分各自由第一导向板元件和第二导向板元件形成，其中，第一导向板元件和第二导向板元件通过冷却元件相互连接。7.根据权利要求6所述的导向装置，其特征在于，所述至少一个冷却的导向板的第一导向板元件和/或第二导向板元件具有用于连接到冷却元件的基本径向延伸的部分。8.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：S，
申请(专利权)人：莱宝有限责任公司，
类型：发明
国别省市：