一种半导体行业用聚四氟乙烯过滤膜的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种半导体行业用聚四氟乙烯过滤膜的制备方法，属于膜制备技术领域中的聚四氟乙烯过滤膜的制备，其目的在于解决现有技术中聚四氟乙烯过滤膜的过滤精度较低、无法达到10nm的技术问题。制备时，基带在横向拉伸的过程中，在预热区，基带被加热到利于扩幅的温度，在扩幅区的高温环境下，轨道由窄变宽，从而将基带进行横向拉伸扩幅，并形成均匀的孔径，在稳定区，膜在相同宽度的轨道运行一段距离，保证在扩幅区形成的孔径进一步稳定，在定型区，通过高温固化聚四氟乙烯微观孔隙结构，形成性能稳定、强度高的薄膜；通过调整纵向拉伸工艺参数、调整横向拉伸工序的分区、温度、轨道宽幅，即可生产满足10nm滤芯的聚四氟乙烯薄膜。膜。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体行业用聚四氟乙烯过滤膜的制备方法


[0001]本专利技术属于膜制备
，涉及一种聚四氟乙烯过滤膜的制备，尤其涉及一种半导体行业用的聚四氟乙烯过滤膜的制备。

技术介绍

[0002]微孔折叠膜滤芯也叫微孔滤芯/折叠膜滤芯，其以复合型折叠式微膜作为过滤的介质，通过膜表面的微孔筛选，达到一定的微粒过滤作用。微孔膜折叠式滤芯因具有高截留率、高流通量、低压差和广泛的化学相容性等特点，在医药、食品、饮料、啤酒、化工等行业中广泛使用，微孔折叠膜滤芯中的滤膜材料主要有聚四氟乙烯PTFE、聚偏氟乙烯PVDF、聚丙烯PP和聚醚砜PES等。其中，聚四氟乙烯PTFE是一种对强酸、强碱、有机溶剂等具有良好耐受性的膜材料，以PTFE为原料制备的微孔膜折叠式滤芯具有孔径分布均匀、孔隙率高、水通量大、截留率高、良好的化学耐受性和热稳定性等特点，广泛应用于各领域。
[0003]在空气水过滤领域，申请号为201810488542.6的专利技术专利申请就公开了一种超滤微孔反渗透PTFE膜的制备方法、滤芯及过滤系统，其先将PTFE树脂与润滑剂置于高温混料机中混合并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体行业用聚四氟乙烯过滤膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1，混料；将聚四氟乙烯分散树脂与助剂按比例混合，得到混合料；S2，挤出；将步骤S1的混合料通过模具挤出，形成带材；步骤S3，压延；将步骤S2的带材进行压延处理，得到压薄后的基带；步骤S4，纵向拉伸；将步骤S3的基带进行纵向拉伸处理，得到纵向拉伸后的基带；步骤S5，横向拉伸；将步骤S4的纵向拉伸后的基带进行横向拉伸，得到双向拉伸薄膜；步骤S5中，横向拉伸包括预热区、扩幅区、稳定区和定型区；在预热区内，将纵向拉伸后的基带加热至预热温度；在扩幅区内的高温环境中，轨道宽度逐渐增加，基带进行横向拉伸扩幅，形成孔径均匀的薄膜；在稳定区内，薄膜在相同宽度的轨道上运行，薄膜在扩幅区内形成的孔径进一步稳定；在定型区内，通过高温固化聚四氟乙烯微观孔隙结构，形成双向拉伸薄膜。2.如权利要求1所述的一种半导体行业用聚四氟乙烯过滤膜的制备方法，其特征在于：步骤S5中，预热区的轨道宽度为80
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120mm，扩幅区的轨道宽度由80
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120mm逐渐增大到1400
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1700mm；稳定区的轨道宽度大于扩幅区的轨道宽度，稳定区的轨道宽度为1500
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1800mm；定型区温度的轨道宽度等于稳定区的轨道宽度。3.如权利要求2所述的一种半导体行业用聚四氟乙烯过滤膜的制备方法，其特征在于：预热区的轨道宽度为100mm，扩幅区的轨道宽度由100mm逐渐增大到1500mm；稳定区的轨道宽度大于扩幅区的轨道宽度，稳定区的轨道宽度为1600mm；定型区温度的轨道宽度为1600mm。4.如权利要求1所述的一种半导体行业用聚四氟乙烯过滤膜的制备...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建友，安振华，钱剑中，陈尧，
申请(专利权)人：安徽省众望科希盟科技有限公司，
类型：发明
国别省市：