【技术实现步骤摘要】
一种阀座密封结构
[0001]本专利技术涉及阀座
,尤其涉及一种阀座密封结构。
技术介绍
[0002]如今的半导体制造业,对使用的高纯度气体管道系统和组件的泄漏测试要求和泄漏率要求越来越高,在控制高纯度气体的通断过程中常常需要用到隔膜阀。
[0003]隔膜阀是在阀体和阀盖内装有一挠性隔膜或组合隔膜,其关闭件是与隔膜相连接的一种压缩装置。阀座可以是圆形,也可以是直通流道的管壁。隔膜阀的优点是其操纵机构与介质通路隔开,不但保证了工作介质的纯净,同时也防止管路中介质冲击操纵机构工作部件的可能性。
[0004]现有技术中的隔膜阀常常会将阀座顶部大致做成平坦面,使阀座顶部的整个表面与隔膜紧密接触,而阀座与隔膜接触的部分难免有许多围观点接触不好,因此容易导致密封效果不好。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是为了解决现有技术中的隔膜阀常常会将阀座顶部大致做成平坦面,使阀座顶部的整个表面与隔膜紧密接触,而阀座与隔膜接触的部分难免有许多围观点接触不好,导致密封效果不好的问题,而提出的一种阀座密封 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种阀座密封结构,包括阀体(1),其特征在于,还包括:活动连接在所述阀体(1)内的阀杆(101),所述阀杆(101)的下端固定连接有阀瓣(102);固定连接在所述阀体(1)内壁的阀座(104);固定连接在所述阀体(1)内的弹性隔膜(103),所述弹性隔膜(103)的中部与阀瓣(102)的底部固定连接;固定连接在所述阀体(1)内的密封部件,弹性隔膜(103)受压,密封部件与弹性隔膜(103)相抵或密封部件与阀座(104)相抵;固定连接在所述弹性隔膜(103)底部的推杆(6),所述推杆(6)的底部固定连接有压盘(606);滑动连接在所述阀座(104)上的移动条(605),所述移动条(605)的底部固定连接有滑杆(604),所述移动条(605)与密封部件相互对应;固定连接在所述阀体(1)底部的支撑筒(601),所述压盘(606)滑动连接在支撑筒(601)内,所述压盘(606)与支撑筒(601)之间固定连接有弹簧(607),其中,所述支撑筒(601)与阀体(1)之间连通有第一导流管(602),所述支撑筒(601)与阀座(104)之间固定连接有第二导流管(603),所述滑杆(604)滑动连接在第二导流管(603)内。2.根据权利要求1所述的一种阀座密封结构,其特征在于,所述密封部件包括:开设在所述阀座(104)表面的第一凹槽(2),所述移动条(605)位于第一凹槽(2)内;固定连接在所述弹性隔膜(103)底部的第一凸条(201),所述第一凸条(201)与第一凹槽(2)相互匹配。3.根据权利要求2所述的一种阀座密封结构,其特征在于,所述第一凸条(201)的截面为三角形或半...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄文博,张奔,聂敏,
申请(专利权)人:昆山新莱洁净应用材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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