光刻机数据采集与诊断系统及方法技术方案

本发明专利技术提供了一种光刻机数据采集与诊断系统及方法，所述光刻机数据采集与诊断系统包括上位机、交换机、诊断控制器以及挂接在命令总线上的多核运动控制板及数据接口板；上位机、交换机和诊断控制器通过命令总线依次连接，数据接口板通过光纤连接若干个高速信号采集板；高速信号采集板用于数据存储、数据分析及异常数据恢复，多核运动控制板用于数据存储、性能分析及异常数据报错。本发明专利技术减轻了诊断控制器及上位机的数据存储和处理压力，减少了数据传输过程中所占用的带宽，提高了光刻机系统采样数据处理能力和实时性；多核运动控制板在原始数据或性能分析数据中存在错误或异常数据时产生不同的数据诊断请求，提高了对光刻机性能及可靠性问题的排查效率，优化了光刻机的设计反馈。机的设计反馈。机的设计反馈。

【技术实现步骤摘要】
光刻机数据采集与诊断系统及方法


[0001]本专利技术涉及集成电路制造
，尤其涉及一种光刻机数据采集与诊断系统及方法。

技术介绍

[0002]光刻机控制系统是光刻机的“大脑”和“神经”。它能将各分系统有机地连接起来并使其进行有序工作，通过光刻机的整机管理软件设定程序，协调工作，实现对光刻机各种功能的控制，完成光刻机的各个工作流程。控制硬件架构旨在为各个分系统提供一个性能可靠，兼容性好的控制平台，并且约束各个分系统控制实现，最终达到产品的性能指标要求。然而，随着光刻机运动台电机的伺服频率的不断提升，以及涉及到越来越多的高速实时数据的处理和采集，传统的基于VME并行总线的光刻机控制硬件系统已经无法满足其对数据传输带宽的提升需求。迄今最大带宽的VME64x虽然达到了320Mbps(Byte/s)，但是仍然无法满足高端光刻机的数据传输需求。此外，在光刻机的控制系统中，存在着大量的微弱信号传感器，例如：电容传感器，电涡流传感器，光能量传感器等，若数据传输的方式选择不对，这些传感器极易受到电磁干扰，进而影响到光刻机的性能指标。VPX架构是VITA(V本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机数据采集与诊断系统，其特征在于，包括上位机、交换机、诊断控制器以及挂接在命令总线上的多核运动控制板及数据接口板；其中，所述上位机、所述交换机和所述诊断控制器通过命令总线依次连接，所述数据接口板与若干个高速信号采集板通过光纤连接；所述高速信号采集板包括第一数据采集模块、原始数据存储模块、数据预处理模块和异常数据恢复模块，用于存储传感器采集的原始数据及异常恢复后的数据，并进行数据分析及异常数据恢复；所述多核运动控制板包括第二数据采集模块、原始数据共享存储空间、性能分析模块、异常数据报错模块和存储器，用于存储所述高速信号采集板上传的原始数据和性能分析数据，并进行性能分析以及异常数据报错。2.如权利要求1所述的光刻机数据采集与诊断系统，其特征在于，所述多核运动控制板及数据接口板还挂接在数据总线和内同步总线上。3.如权利要求2所述的光刻机数据采集与诊断系统，其特征在于，还包括挂接在命令总线、数据总线及内同步总线上的同步主板卡、同步从板卡、SRIO交换板及传感器信号板；其中，所述同步主板卡与所述同步从板卡之间通过外同步总线连接，所述数据接口板、所述传感器信号板、所述诊断控制器和所述多核运动控制板之间通过所述SRIO交换板进行数据交换。4.如权利要求3所述的光刻机数据采集与诊断系统，其特征在于，所述高速信号采集板通过电平总线/差分总线连接若干个所述传感器。5.如权利要求3所述的光刻机数据采集与诊断系统，其特征在于，包括至少两个VPX机箱，每个所述VPX机箱均包括所述诊断控制器、所述多核运动控制板、所述数据接口板、所述SRIO交换板及所述传感器信号板，所述VPX机箱还包括所述同步主板卡或所述同步从板卡，且任一包括所述同步主板卡的VPX机箱连接若干个包括所述同步从板卡的VPX机箱。6.如权利要求1～5中任一项所述的光刻机数据采集与诊断系统，其特征在于，当所述多核运动控制板内存储的原始...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈丹，谢仁飚，朱晶，钱峰，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：