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本发明提供了一种光刻机数据采集与诊断系统及方法，所述光刻机数据采集与诊断系统包括上位机、交换机、诊断控制器以及挂接在命令总线上的多核运动控制板及数据接口板；上位机、交换机和诊断控制器通过命令总线依次连接，数据接口板通过光纤连接若干个高速信号...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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