电路基板用层叠体制造技术

技术编号:37498140 阅读:22 留言:0更新日期:2023-05-07 09:35
本发明专利技术的电路基板用层叠体是金属氮化物烧结基板与铜板的层叠体,其特征在于,具有从面的中心到周缘的最短长度为50mm以上的大小,在沿层叠方向切断所述层叠体而成的切断面测定的、在所述金属氮化物烧结基板与铜板的接合界面附近确认的直径为1μm以上的孔隙的总长度L

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电路基板用层叠体


[0001]本专利技术涉及用于各种功率模块的电路基板用层叠体。

技术介绍

[0002]近年来,从节能的观点出发,使用有功率半导体的功率模块被广泛使用。功率模块为将功率半导体元件等搭载于电路基板上而成的结构,在使大电流流过该电路基板的情况下,要求散热性及绝缘性等,因此使用接合有金属板的陶瓷电路基板。
[0003]在这样的陶瓷电路基板中,关于陶瓷,从散热性的观点出发,使用热导率高的金属氮化物烧结基板,具体而言,使用氮化铝烧结基板、氮化硅烧结基板等,对于金属板,使用电阻率低的铜板。在将金属氮化物烧结基板与铜板接合时,一般使用被称为AMB法的活性金属钎焊法(例如,专利文献1)。
[0004]活性金属钎焊法通常为如下方法:将含有银、铜等金属粒子、钛等活性金属粒子、粘合剂(树脂)以及溶剂的糊状的钎料通过印刷法等涂布于金属氮化物烧结基板后,在真空钎焊炉中加热至850℃左右,由此得到金属氮化物烧结基板

金属层叠体。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电路基板用层叠体,其为金属氮化物烧结基板与铜板的层叠体,其特征在于,所述层叠体具有从面的中心到周缘的最短长度为50mm以上的大小,在将所述层叠体沿层叠方向切断而成的切断面测定的、在所述金属氮化物烧结基板与铜板的接合界面附近确认的直径1μm以上的孔隙的总长度L
B
相对于该接合界面的测定长度L
I
的比例即孔隙率X为0.50%以下。2.根据权利要求1所述的电路基板用层叠体,其中,所述金属氮化物烧结基板的厚度t1为0.2~1.0mm...

【专利技术属性】
技术研发人员:津岛荣树石本龙二前田昌克
申请(专利权)人:株式会社德山
类型:发明
国别省市:

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