管路用加热装置以及薄膜沉积设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种管路用加热装置以及薄膜沉积设备。其中，管路用加热装置，包括：导热件，所述导热件形成有容许管路穿过的收纳通道，所述收纳通道贯穿所述导热件，并且，所述收纳通道的横截面的尺寸大于所述管路的横截面的尺寸，以使在所述管路被收纳在所述收纳通道内的情况下，所述收纳通道和所述管路之间沿径向具有间隙；加热器，与所述导热件连接，并对所述导热件进行加热；在所述导热件被所述加热器加热的情况下，所述管路隔着所述间隙被所述导热件加热。根据本实用新型专利技术的管路用加热装置，能够使管路的各个位置的受热更加均匀。能够使管路的各个位置的受热更加均匀。能够使管路的各个位置的受热更加均匀。

【技术实现步骤摘要】
管路用加热装置以及薄膜沉积设备


[0001]本技术涉及但不限于流体管路
，尤其涉及一种管路用加热装置以及薄膜沉积设备。

技术介绍

[0002]现有技术中，存在需要对管路中的流体进行加热、确保管路中的流体的温度均匀的情况。例如，在ALD(atomic layer deposition、原子层沉积)设备中，由于原子层沉积对前驱体源的温度的要求比较高，因此，对前驱体源到工艺腔的腔体的路径上的温度均匀性的要求非常高。否则，可能会因为温差问题导致路径上的前驱体源冷凝，这有可能导致薄膜的质量不稳定、良率下降等问题。
[0003]为了对管路中的流体进行加热，现有技术当中，存在通过加热套或者加热带缠绕在管路的外周并包裹管路，从而进行加热的结构。然而，这种结构通常需要与管路的外周直接接触，由于管路的形状各异，这种结构难以确保在各个位置均与管路均匀地接触，进而导致管路难以在各个位置均受热均匀。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此，本技术提出了一种管路用加热装置，能够使管路的各个位置的受热更加均匀。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.管路用加热装置，其特征在于，包括：导热件，所述导热件形成有容许管路穿过的收纳通道，所述收纳通道贯穿所述导热件，并且，所述收纳通道的横截面的尺寸大于所述管路的横截面的尺寸，以使在所述管路被收纳在所述收纳通道内的情况下，所述收纳通道和所述管路之间沿径向具有间隙；加热器，与所述导热件连接，并对所述导热件进行加热；在所述导热件被所述加热器加热的情况下，所述管路隔着所述间隙被所述导热件加热。2.根据权利要求1所述的管路用加热装置，其特征在于，还包括流体输出器，所述流体输出器与所述导热件的收纳通道连接，并往所述收纳通道和所述管路之间的间隙输入流体；在所述导热件被所述加热器加热的情况下，所述管路经由所述流体被所述导热件加热。3.根据权利要求1或2所述的管路用加热装置，其特征在于，所述收纳通道当中，具有多处拐弯部。4.根据权利要求3所述的管路用加热装置，其特征在于，所述收纳通道包括一个进口端以及多个出口端。5.根据权利要求4所述的管路用加热装置，其特征在于，所述收纳通道包括多个分支部，所述进口端通过多个所述分支部与...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：深圳市原速光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：