一种搭接结构的光刻机支撑平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种搭接结构的光刻机支撑平台，包括支撑框架，支撑框架为钢结构，由两块钢板加一定数量的短型钢焊接组成，水泥底座是钢筋混凝土结构，水泥底座上表面设有垫片和AB胶，支撑框架放置在垫片上，通过调整垫片厚度来调平以及调整支撑平台总高度，AB胶填塞在支撑框架底部未垫垫片的悬空区域，再通过锁紧螺丝将支撑框架和水泥底座锁在一起。本实用新型专利技术提供的支撑平台，能满足CANON光刻机对安装精度的需求，对抗震动的需求以及对支撑刚度的需求，从而使CANON光刻机能够正常运行，同时具有制作工艺简单，重量轻，配管方便等优点。配管方便等优点。配管方便等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种搭接结构的光刻机支撑平台


[0001]本技术涉及半导体设备支撑平台
，具体涉及一种搭接结构的光刻机支撑平台。

技术介绍

[0002]光刻机是半导体芯片行业的核心机器，在芯片制成的过程中占据不可替代的地位，属于高精密仪器。其中CANON光刻机是行业中使用量较多的光刻机，有特定的防震动和刚度需求，对安装孔的精度要求很高，而且需要在支撑平台上预留台阶对部分管路进行限位，需要配备相应的专用支撑平台。
[0003]中国专利CN102998906B公开了一种光刻机的支撑结构及其制作方法。支撑结构包括外围板。外围板包括第一面、第二面和折弯边。第二面连接于第一面。第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边，折弯边具有折弯槽，第一面与第二面在折弯槽处折弯，形成一夹角。第一面和第二面具有多块板材通过焊接连接而成；
[0004]现有的支撑平台普遍存在安装孔和台阶精度不够，结构笨重，二次配排管线不方便，调平不准等问题，在这种情况下导致CANON光刻机在安装过程中可能出现安装困难，定位不准等问题，影响设备使用。因此研发一种安装精度高，结构相对轻便，排管线方便的高刚性支撑平台对CANON光刻机的顺利投入使用具有十分重大的意义

技术实现思路

[0005]本技术的目的就在于解决现有的支撑平台普遍存在安装孔和台阶精度不够，结构笨重，二次配排管线不方便，调平不准等问题的问题，而提出一种搭接结构的光刻机支撑平台。
[0006]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0007]一种搭接结构的光刻机支撑平台，包括支撑框架，支撑框架包括:
[0008]上面板，下面板上设置有多个型钢立柱，型钢立柱的顶端连接有上面板；
[0009]以及，上面板设置有边缘台阶、内部台阶和设备安装孔。
[0010]作为本技术进一步的方案：下面板通过垫片安装在水泥底座。
[0011]作为本技术进一步的方案：还包括AB胶：
[0012]AB胶填充在支撑框架底部未设垫片的区域。
[0013]作为本技术进一步的方案：边缘台阶沿着上面板对称设置有两个，并位于上面板的两侧，内部台阶沿着上面板的顶面间隔设置有三个，在内部台阶的两侧分别设置有两个设备安装孔。
[0014]作为本技术进一步的方案：型钢立柱设置有三排，型钢立柱为工字型结构。
[0015]作为本技术进一步的方案：下面板和水泥底座上对应设置有多个锁紧孔，锁紧孔内设置有锁紧螺丝。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]本技术采用搭接结构，支撑框架专门用于与CANON光刻机对接，重量轻，体积小，方便装夹在加工中心进行精加工出高精度安装孔和限位台阶提高CANON光刻机安装精度；水泥底座专门用来将支撑平台抬高到所需高度并保证底部刚性，表面不需要预埋复杂的铁块，也不需要在钢筋混凝土结构中预留开孔，制作工艺更加简单；支撑平台的一部分为钢筋混凝土结构一部分为钢结构，在同等长宽高尺寸下比传统的纯钢筋混凝土的支撑平台轻便；支撑框架内部含有富裕的空间，方便CANON光刻机的设备管线从内部引出，不需要额外提供空间排布设备管线，且对管线有一定的隐藏和保护作用。
附图说明
[0018]下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0019]图1为本技术整体的等轴测立体图；
[0020]图2为本技术整体的侧视图；
[0021]图3为本技术上方支撑框架1的等轴测立体图；
[0022]图4为本技术下方水泥底座5的等轴测立体图；
[0023]图5为本技术上方支撑框架1的剖视图；
[0024]图中：1、支撑框架1；2、垫片2；3、AB胶3；4、锁紧螺丝；5、水泥底座5；101、上面板101；102、型钢立柱；103、下面板；104、锁紧孔；105、边缘台阶；106、内部台阶；107、设备安装孔107。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
‑
5所示，本技术为一种搭接结构的光刻机支撑平台，包括支撑框架1，垫片2，AB胶3，锁紧螺丝4，水泥底座5；
[0027]支撑框架1包括上面板101，下面板103上设置有多个型钢立柱102，型钢立柱102的顶端连接有上面板101；通过加工中心在上面板101表面精加工出边缘台阶105、内部台阶106和设备安装孔107；下面板103通过垫片2安装在水泥底座5；AB胶3填塞在支撑框架1底部未垫垫片2的悬空区域；
[0028]其中，边缘台阶105沿着上面板101对称设置有两个，并位于上面板101的两侧，内部台阶106沿着上面板101的顶面间隔设置有三个，在内部台阶106的两侧分别设置有两个设备安装孔107；
[0029]型钢立柱102设置有三排，分别位于下面板103的中部和前后两侧，其中，型钢立柱102为工字型结构；
[0030]在下面板103和水泥底座5上对应设置有多个锁紧孔104，锁紧孔104内设置有锁紧螺丝4，通过锁紧螺丝4将支撑框架1和水泥底座5锁在一起；
[0031]具体地，支撑框架1为钢结构，由上面板101，型钢立柱102，下面板103焊接组成，通过加工中心在上面板101表面精加工出边缘台阶105，内部台阶106，设备安装孔107；型钢立
柱102所在位置对应CANON光刻机每个支撑脚的位置，保证CANON光刻机每个脚位正下方有一根支撑立柱支撑以满足CANON光刻机的刚性需求；水泥底座5是钢筋混凝土结构，水泥底座5上表面按特定位置摆放垫片2用于垫起支撑框架1，支撑框架1放置在垫片2上，通过调整垫片2厚度来调平支撑框架1以及调整支撑平台总高度，AB胶3填塞在支撑框架1底部未垫垫片2的悬空区域一方面加强支撑框架1与水泥底座5连接的紧密程度，另一方面增大支撑框架1受支撑面积加强刚度，再通过锁紧螺丝4将支撑框架1和水泥底座5锁在一起。
[0032]CANON光刻机的支撑平台总体结构为搭接结构，支撑框架1专门用于与CANON光刻机对接，重量轻，体积小，方便装夹在加工中心进行精加工，所加工的内容包括但不限于安装CANON光刻机所需的边缘台阶105，内部台阶106，设备安装孔107，尺寸精度可达
±
0.02mm。
[0033]水泥底座5专门用来将支撑平台抬高到所需高度并保证底部刚性，表面不需要预埋复杂的铁块，也不需要在钢筋混凝土结构中预留开孔，大大简化了制作工艺。
[0034]支撑平台的一部分为钢筋混凝土结构一部分为钢结构，在同等长宽高尺寸下重量小于纯钢筋混凝土结构，达到减重的目的。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搭接结构的光刻机支撑平台，包括支撑框架(1)，其特征在于，支撑框架(1)包括:下面板(103)，下面板(103)上设置有多个型钢立柱(102)，型钢立柱(102)的顶端连接有上面板(101)；以及，上面板(101)设置有边缘台阶(105)、内部台阶(106)和设备安装孔(10)。2.根据权利要求1所述的一种搭接结构的光刻机支撑平台,其特征在于，下面板(103)通过垫片(2)安装在水泥底座(5)。3.根据权利要求2所述的一种搭接结构的光刻机支撑平台,其特征在于，还包括AB胶(3)：AB胶(3)设置在支撑框架(1)底部未设垫片(2)的区域。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵江民，
申请(专利权)人：合肥玖福半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：