一种搭接结构的光刻机支撑平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种搭接结构的光刻机支撑平台，包括支撑框架，支撑框架为钢结构，由两块钢板加一定数量的短型钢焊接组成，水泥底座是钢筋混凝土结构，水泥底座上表面设有垫片和AB胶，支撑框架放置在垫片上，通过调整垫片厚度来调平以及调整支撑平台总高度，AB胶填塞在支撑框架底部未垫垫片的悬空区域，再通过锁紧螺丝将支撑框架和水泥底座锁在一起。本实用新型专利技术提供的支撑平台，能满足CANON光刻机对安装精度的需求，对抗震动的需求以及对支撑刚度的需求，从而使CANON光刻机能够正常运行，同时具有制作工艺简单，重量轻，配管方便等优点。配管方便等优点。配管方便等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种搭接结构的光刻机支撑平台


[0001]本技术涉及半导体设备支撑平台
，具体涉及一种搭接结构的光刻机支撑平台。

技术介绍

[0002]光刻机是半导体芯片行业的核心机器，在芯片制成的过程中占据不可替代的地位，属于高精密仪器。其中CANON光刻机是行业中使用量较多的光刻机，有特定的防震动和刚度需求，对安装孔的精度要求很高，而且需要在支撑平台上预留台阶对部分管路进行限位，需要配备相应的专用支撑平台。
[0003]中国专利CN102998906B公开了一种光刻机的支撑结构及其制作方法。支撑结构包括外围板。外围板包括第一面、第二面和折弯边。第二面连接于第一面。第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边，折弯边具有折弯槽，第一面与第二面在折弯槽处折弯，形成一夹角。第一面和第二面具有多块板材通过焊接连接而成；
[0004]现有的支撑平台普遍存在安装孔和台阶精度不够，结构笨重，二次配排管线不方便，调平不准等问题，在这种情况下导致CANON光刻机在安装过程中可能出现安装困难，定位不准等问题，影响设备使用。因此研发一种安装精度高，结构相对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搭接结构的光刻机支撑平台，包括支撑框架(1)，其特征在于，支撑框架(1)包括:下面板(103)，下面板(103)上设置有多个型钢立柱(102)，型钢立柱(102)的顶端连接有上面板(101)；以及，上面板(101)设置有边缘台阶(105)、内部台阶(106)和设备安装孔(10)。2.根据权利要求1所述的一种搭接结构的光刻机支撑平台,其特征在于，下面板(103)通过垫片(2)安装在水泥底座(5)。3.根据权利要求2所述的一种搭接结构的光刻机支撑平台,其特征在于，还包括AB胶(3)：AB胶(3)设置在支撑框架(1)底部未设垫片(2)的区域。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵江民，
申请(专利权)人：合肥玖福半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：