温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种搭接结构的光刻机支撑平台，包括支撑框架，支撑框架为钢结构，由两块钢板加一定数量的短型钢焊接组成，水泥底座是钢筋混凝土结构，水泥底座上表面设有垫片和AB胶，支撑框架放置在垫片上，通过调整垫片厚度来调平以及调整支撑平台总高度...
该专利属于合肥玖福半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥玖福半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。