一种MEMS微镜抗疲劳电互连装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种MEMS微镜抗疲劳电互连装置，它包括晶圆（1），其在晶圆（1）上通过第二镂空区域（5）和第一镂空区域（2），形成微镜面（3）和可动框架（10），通过第一镂空区域（2）和第二镂空区域（5）上的纵向开口（2a）和横向开口（5a）形成纵向扭转梁（4）和横向扭转梁（6），在横向扭转梁（6）。本发明专利技术利用扩散低阻硅代替全金属薄膜实现在弯曲或者扭转结构的表面电互连引出，能够完全避免金属薄膜引线材料在高频往复运动过程中产生的疲劳的问题，有效的提高了MEMS微镜的寿命。微镜的寿命。微镜的寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS微镜抗疲劳电互连装置
[0001]
：本专利技术涉及微机电
，尤其涉及一种MEMS微镜抗疲劳电互连装置。
[0002]
技术介绍
：微机电系统（Micro Electro
‑
Mechanical Systems,MEMS）是在集成电路制造技术基础上发展起来的一门跨学科技术，利用光刻、刻蚀、成膜、键合等微纳加工手段形成电子机械结构，融合了电子、材料、机械、物理、化学、生物等多种领域。
[0003]MEMS以其小型化、低功耗、批量化制造等诸多优点吸引了人们的广泛关注，在汽车电子、消费电子、物联网、激光雷达、投影显示等领域有广泛应用。与集成电路相比，MEMS器件最大的特点是MEMS器件不仅包含电学部分，而且还包含微机械结构部分。
[0004]微机械结构通常包含可动部件、固定部件以及将可动部件与固定部件进行连接的弹性部件。例如：在MEMS加速度传感器中，包含对加速度敏感的可动质量块，可动质量块通过结构尺度更小的弯曲梁弹性部件连接到固定部件上，当受到加速度作用时，可动质量块会产生一定的位移，加速度消失后可动质量块在弯曲梁作用下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS微镜抗疲劳电互连装置，它包括晶圆（1），其特征在于：在晶圆（1）上设有由外向内依次设有第二镂空区域（5）和第一镂空区域（2），第一镂空区域（2）内侧的晶圆形成微镜面（3），在第二镂空区域（5）和第一镂空区域（2）之间的晶圆（1）区域形成可动框架（10）区域，在第一镂空区域（2）上设有一对纵向开口（2a），纵向开口（2a）内的晶圆形成纵向扭转梁（4），扭转梁（4）的一端与微镜面（3）相连另一端与可动框架（10）相连；在第二镂空区域（5）上设有一对横向开口（5a），在其中一个横向开口（5a）内的晶圆形成横向扭转梁（6），第二镂空区域（5）外侧的晶圆（1）和可动框架（10）上分别设有金属薄膜引线（9），在横向扭转梁（6）上设有低阻硅引线（8），低阻硅引线（8）的两端分别与位于第二镂空区域（5）内、外侧晶圆（1）上的金属薄膜引线（9）连通。2.根据权利要求1中所述一种MEMS微镜抗疲劳电互连装置，其特征在于：所述的低阻硅引线（8）为锯齿状结构，组成每个齿的边均与横向扭转梁（6）的轴线之间形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：何凯旋，陈博，郭立建，孙涛，张友照，
申请(专利权)人：华东光电集成器件研究所，
类型：发明
国别省市：