一种基于微机电系统器件的功率继电器技术方案

一种基于微机电系统器件的功率继电器，包括控制部分和电源部分，电源部分包括MEMS开关和MOSSFET，MEMS开关与MOSFET并联，将开关过程中的损耗从MEMS开关迁移到了MOSFET，MOSFET在MEMS开关的导通和关断转换期间导通，使MEMS开关电压为零电压；控制部分用于控制MEMS开关和MOSSFET的导通和关断操作；控制部分还设置有隔离器与电源部分隔离。与传统的SSR和ESR相比，本实用新型专利技术使用MEMS开关,基于独特的结构，MEMS的机械接触减小了通态电阻，并能够实现物理隔离；电压源栅极控制功能则避免了笨重的线圈，减小了体积，能够同时实现小型化的尺寸和理想的开关性能，结合了MOSFET和MEMS开关的优点，解决了开关能量问题，使得微机电技术可以用于功率继电器应用。用于功率继电器应用。用于功率继电器应用。

【技术实现步骤摘要】
一种基于微机电系统器件的功率继电器


[0001]本技术涉及一种继电器装置，尤其涉及一种基于微机电系统器件的功率继电器，属于电控器件领域。

技术介绍

[0002]继电器是具有隔离功能的自动开关元件，广泛应用于遥控、遥测、通讯、自动控制、机电一体化及电力电子设备中，是最重要的控制元件之一，目前常见的有电磁继电器、固态继电器和微机电继电器，其中，电磁继电器的导通电阻较低，但由于采用机械结构，存在接触不良和机械磨损问题，此外，体积较大的感应线圈导致EM继电器的尺寸难以减小，功耗难以降低。而固态继电器利用半导体器件作为输出级，实现了更紧凑的尺寸，但其导通电阻和漏电流更大。微机电系统（MEMS,Micro
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Electro
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Mechanical
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System）技术融合了机械连接结构和电压控制半导体技术，常用于精确测量、医疗器械和射频通信等应用。但在应用于大功率场合时，开关转换期间的功耗会对微机电系统器件造成损害，这限制了MEMS开关的使用。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于微机电系统器件的功率继电器，其特征在于包括控制部分和电源部分，所述电源部分包括MEMS开关和MOSFET，所述MEMS开关与MOSFET并联，将开关过程中的损耗从MEMS开关迁移到了MOSFET，所述MOSFET在MEMS开关的导通和关断转换期间导通，使MEMS开关电压为零电压；所述控制部分用于控制MEMS开关和MOSFET的导通和关断操作；所述控制部分还设置有隔离器与电源部分隔离。2.根据权利要求1所述的一种基于微机电系统器件的功率继电器，其特征在于所述控制部分设置有5V辅助电压输入。3.根据权利要求1所述的一种基于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张原铭，王世涛，牟明，许峥，孙敏超，宁忠立，温雅卓，翟金睿，
申请(专利权)人：国网新源控股有限公司，
类型：新型
国别省市：