【技术实现步骤摘要】
一种束流传输线用直角辐照系统及其辐照方法
[0001]本专利技术涉辐照领域，具体是一种束流传输线用直角辐照系统及其辐照方法。
技术介绍
[0002]芯片领域的质子辐照，一般是指质子、氘束、氦离子辐照，统称为轻离子辐照，习惯上称为“质子辐照”。
[0003]芯片制造中的硼、磷等离子注入一般深度为1微米，而质子辐照的深度为几十微米以上，特别是高压功率芯片的质子辐照深度可达几百微米，质子辐照与离子注入是功率芯片环节制造中的不同工艺环节。
[0004]芯片制造的工艺流程包含芯片设计、晶圆制造、晶圆测试、封装、成品测试等环节。其中，质子与重离子辐照是晶圆制造中提高芯片性能不可替代的重要工艺手段；是实现功率芯片局域少子寿命控制的唯一可行手段。
[0005]现有的束流传输线系统在对晶圆辐照过程中，为了使得晶圆可以前面辐照，通常采用扫描磁体进行偏转束流照射角度，进而完成对晶圆的辐照工作，然而束流在经过磁体偏转后，其对晶圆辐照时会产生偏角，无法直射晶圆，因此每个晶圆在辐照时显得不够均匀。
技术实现思路
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种束流传输线用直角辐照系统，包括：束流传输线；送料部(5)，位于所述束流传输线的底部；其特征在于，所述送料部(5)包括：送料单元(51)，用于升降放置有晶圆的托板；十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；所述十字滑台，包括：横向引料单元(52)，位于送料单元(51)的一侧，用于将放置有晶圆的托板引入束流出口(33)下方，并进行横向运动；牵引单元(53)，与横向引料单元(52)连接，用于牵引放置有晶圆的托板，避免其出现脱位；纵向引料单元(54)，设置在横向引料单元(52)下方，与横向引料单元(52)呈十字放置，用于带动横向引料单元(52)纵向运动。2.根据权利要求1所述的一种束流传输线用直角辐照系统，其特征是：所述束流传输线包括：水平部(1)；转向部(2)，包括一90度偏转磁铁(21)，使得水平部(1)的束流经过90度偏转磁铁(21)垂转向，并直于水平面；垂直部(3)，与转向部(2)连接，包括与90度偏转磁铁(21)连通的束流管道(34)，及设置在束流管道(34)端部的束流出口(33)；所述垂直部(3)还包括固定架(31)，用于固定束流管道(34)。3.根据权利要求1所述的一种束流传输线用直角辐照系统，其特征是：所述送料单元(51)包括：承载主体，包括一框架，所述框架上安装有送料滑轨(516)；驱动件，安装在所述框架上；传动件，设计两组，分别设置在所述驱动件的两端；滑动件，套接于传动件。4.根据权利要求3所述的一种束流传输线用直角辐照系统，其特征是：所述驱动件包括安装在所述框架上的送料电机(511)，设置在所述送料电机(511)输出端的送料轴，套接于所述送料轴的送料齿轮，与所述送料齿轮传动连接的传动齿轮，插接于所述传动齿轮的送料输入轴(512)，以及套接在送料输入轴(512)两端的输入锥齿轮(513)；所述送料齿轮与传动齿轮之间设有传动链条。5.根据权利要求3所述的一种束流传输线用直角辐照系统，其特征是：所述传动件包括与输入锥齿轮(513)啮合的输出锥齿轮(514)，以及与输出锥齿轮(514)连接的送料输出丝杆(515)。6.根据权利要求3所述的一种束流传输线用直角辐照系统，其特征是：所述滑动件包括套接于送料输出丝杆(515)的送料滑板(517)，以及安装在送料滑板(517)上的若干送料卡槽(518)；
所述送料滑板(517)与送料滑轨(516)适配。7.根据权利要求1所述的一种束流传输线用直角辐照系统，其特征是：所述横向引料单元(52)包括位于框架一侧的横向引料底板(521)，设置在横向引料底板(521)上的横向引料驱动丝杆(524)和横向引料导杆(522)，套接于所述横向引料驱动丝杆(524)的横向引料滑套(525)，设置在所述横向引料...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭如勇，李非易，周晓慧，沈轩羽，朱晓桦，桂正亚，张政，马超然，王泊锡，于天华，
申请(专利权)人：国电投核力创芯无锡科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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