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本发明公开了一种束流传输线用直角辐照系统及其辐照方法包括：所述辐照系统包括束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述送料部包括：送料单元，用于升降放置有晶圆的托板；十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对...
该专利属于国电投核力创芯（无锡）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国电投核力创芯（无锡）科技有限公司授权不得商用。

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