一种宽频减反膜及其制备方法和应用技术

本发明专利技术公开了一种宽频减反膜，包括由上到下依次设置的H4层、Ag层和MgF2层，本发明专利技术还公开了宽频减反膜的制备方法和应用，与现有技术相比，本发明专利技术公开的宽频减反膜，是一种在透明玻璃上镀制混合物、金属银加氟化物叠加而成的一种减反薄膜，所述的宽频减反膜以K9玻璃为基底材质，该减反膜由两种不同折射率材料形成，采用H4和MgF2中间加镀一层金属Ag构成，从而达到带宽超宽的宽频减反膜。到带宽超宽的宽频减反膜。到带宽超宽的宽频减反膜。

【技术实现步骤摘要】
一种宽频减反膜及其制备方法和应用


[0001]本专利技术属于光学仪器薄膜
，具体涉及一种宽频减反膜及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]减反射膜，也称增透膜，用于降低光学元件表面的反射率，提高工作波段内光线的透过率，是光学薄膜中应用最广泛的一种薄膜。直至今日，其生产总量也远远超过其他类型的薄膜。可以说减反膜揭开了早期薄膜光学的应用与发展。减反膜对光学仪器的光学质量的改善是非常明显的。例如，照相机、投影仪等可见光学系统，都包含几个与空气相毗邻的表面，如果没有减反射膜，光的透过率很低而导致光学损失很大，造成成像质量很低。
[0003]随着技术的不断发展，细胞切割、植物学切片、3D打印等微加工技术越来越精细和自动化，同时对各种技术的要求也越来越高。然而，在设计和制造相关的仪器时，遇到了一系列的技术问题：首先，要实现高清图像显示，光学系统的像素和放大倍数要求高，这样设计出来的光学系统结构复杂，镜片组数较多，图像清晰度受到影响。其次，要实现自动3D打印加工，由于镜头组数多，经过多次反射以后，光线经过光路系统最终清淅度损失严重，不利于加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种宽频减反膜，其特征在于，包括由上到下依次设置的H4层、Ag层和MgF2层。2.如权利要求1所述的宽频减反膜，其特征在于，所述H4层的厚度为19
‑
20nm，所述Ag层的厚度为3
‑
4nm，所述MgF2层的厚度为86
‑
87nm。3.如权利要求1所述的宽频减反膜，其特征在于，所述宽频减反膜的带宽为400
‑
850nm。4.一种如权利要求1
‑
3任一所述的宽频减反膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法具体包括如下步骤：S1、将K9玻璃基底清洗烘干后放入真空室中，然后将真空室的真空度抽至＜5.0x10
‑4Pa，再用充满氩气的离子源对基底进行镀前清洗；S2、采用在镀膜腔室不充氧的情况下将H4原料在基底上蒸镀H4层；S3、采用在镀膜腔室不充氧的情况下将Ag原料在步骤S2得到的H4层上蒸镀Ag层；S...

【专利技术属性】
技术研发人员：张全文，赵建村，虞益挺，
申请(专利权)人：西北工业大学宁波研究院，
类型：发明
国别省市：