一种DBR膜层检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及LED领域，尤其涉及一种DBR膜层检测装置，包括基座，所述基座一端面设有第一片位槽，所述基座设有贯通至第一片位槽的第一负压通道，所述基座的内部设有加热器。本实用新型专利技术提供的DBR膜层检测装置能够提前判断膜层是否异常并及时进行处理，减少直接续流至划裂后的产品无法进行返工，避免影响产品进度及产生报废片源。及产生报废片源。及产生报废片源。

【技术实现步骤摘要】
一种DBR膜层检测装置


[0001]本技术涉及LED领域，尤其涉及一种DBR膜层检测装置。

技术介绍

[0002]DBR(distributed Bragg reflection)又叫分布式布拉格反射镜，是由两种不同折射率的材料以ABAB的方式交替排列组成的周期结构。在LED领域一般用来做背镀的反射膜层，比如申请号为202020781423.2、名称为一种具有DBR分层结构的LED芯片的中国技术专利。在生产过程中整炉次的进行镀膜作业时，作业后续流到划裂工序，如果此时发现膜层粘附性异常，出现DBR膜层脱落，因片源已划裂成分散颗粒，无法进行产品返工处理，并需要对整炉产品进行暂扣，影响产品进度及产生报废片源。

技术实现思路

[0003]为了克服上述现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题是提供一种DBR膜层检测装置，对每炉的跟片陪片进行粘附性检查，提前判断膜层是否异常。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种DBR膜层检测装置，包括基座，所述基座一端面设有第一片位槽，所述基座设有贯通至第一片位槽的第一负压通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种DBR膜层检测装置，其特征在于，包括基座(1)，所述基座(1)一端面设有第一片位槽(2)，所述基座(1)设有贯通至第一片位槽(2)的第一负压通道(3)，所述基座(1)的内部设有加热器(4)。2.根据权利要求1所述的DBR膜层检测装置，其特征在于，所述第一片位槽(2)内设有第二片位槽(5)，所述基座(1)设有贯通至所述第二片位槽(5)的第二负压通道(6)。3.根据权利要求2所述的DBR膜层检测装置，其特征在于，所述基座(1)设有真空外接孔(7)和真空开关(8)，所述第一负压通道(3)和所述第二负压通道(6)均通过所述真空开关(8)与所述真空外接孔(7)连接。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪加添，刘印昂，陈威，黄秀兰，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：