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一种DBR膜层检测装置制造方法及图纸
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下载一种DBR膜层检测装置的技术资料
文档序号:37460045
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本实用新型涉及LED领域,尤其涉及一种DBR膜层检测装置,包括基座,所述基座一端面设有第一片位槽,所述基座设有贯通至第一片位槽的第一负压通道,所述基座的内部设有加热器。本实用新型提供的DBR膜层检测装置能够提前判断膜层是否异常并及时进行处理...
该专利属于福建兆元光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建兆元光电有限公司授权不得商用。
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