本发明专利技术公开了光阻涂布领域内的一种光阻涂布机排风管路自动缓冲防堵装置，包括收集箱体，收集箱体的后侧板的左右两边均向外延伸，收集箱体后侧板的左右两边的伸出部上均设置有至少两个固定孔，所述收集箱体的上侧和下侧分别设置有安装开口、清理开口，上盖板上贯穿设置有若干收集管，收集管的下端伸入收集箱内部的下方，收集管与收集箱体内壁之间留有通过间隙，收集管的上端与连接管相连，连接管端部对应晶圆设置，所述收集箱体的左侧板和右侧板上均设置有一排出管，排出管一端与收集箱体内部相连通，排出管另一端与抽吸排风管路相连通。本发明专利技术的缓冲收纳装置，自动定期进行打开清洗，保证管路通畅。保证管路通畅。保证管路通畅。
【技术实现步骤摘要】
一种光阻涂布机排风管路自动缓冲防堵装置
[0001]本专利技术属于光阻涂布领域，特别涉及一种光阻涂布机排风管路自动缓冲防堵装置。
技术介绍
[0002]现有技术中，光阻涂布机用于给晶圆涂布一层光刻胶，作为匀胶设备，会有残胶产生，通过从晶圆上方对其喷出的EBR稀释剂冲洗，结合抽吸排风的方式将残胶排出去，防止光阻涂布机上积累光刻胶变脏。
[0003]光阻涂布机的底部排风管路直接连接到厂务总排风端，由于工艺制程规定晶圆是保持旋转的，并且光刻胶无法被EBR 稀释剂完全冲洗，会导致大量EBR 稀释剂冲洗光阻后未流淌到废液管路里，晶圆转动产生的离心力将光刻胶和EBR 稀释剂甩出，直接被排风抽走，其问题在于：大量光阻粘附到排风口，最终造成排风管路堵塞。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是提供一种光阻涂布机排风管路自动缓冲防堵装置，解决了排风管路堵塞的问题，在排风管路至排风口之间，增加一个可打开的缓冲收纳装置，待吸附到一定量的光阻后，自动定期进行拆卸打开清洗，保证管路通畅。
[0005]本专利技术的目的是这样实现的： 一种光阻涂布机排风管路自动缓冲防堵装置，包括收集箱体，收集箱体的后侧板的左右两边均向外延伸，收集箱体后侧板的左右两边的伸出部上均设置有至少两个固定孔，所述收集箱体的上侧和下侧分别设置有安装开口、清理开口，与所述安装开口、清理开口分别相对应设置有水平的上盖板、下托板，所述上盖板上贯穿设置有若干收集管，收集管的下端伸入收集箱内部的下方，收集管与收集箱体内壁之间留有通过间隙，收集管的上端与连接管相连，连接管端部对应晶圆设置，所述收集箱体的左侧板和右侧板上均设置有一排出管，排出管一端与收集箱体内部相连通，排出管另一端与抽吸排风管路相连通。
[0006]本专利技术工作时，抽吸排风管路对着收集管抽吸，光刻胶和EBR 稀释剂在吸引力的作用下通过收集管进入不锈钢收集箱体底部，然后再通过收集管与收集箱体内壁的间隙进入排出管，最后排出，在过滤层板的作用下，光刻胶被挡在收集箱体内腔底部，过滤层板的网孔可容液体通过，稀释剂液体随着排出管被排出；每当工作一段时间后，收集箱体内腔底部积聚较多的光刻胶，这时候上盖板打开，喷液管向收集箱体内部喷入清洗剂，对底部积聚的光刻胶进行溶解清洗，当光刻胶被溶解后，下托板下降打开，使得溶解后的液体进入下方收集槽内。与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：在排风管路至排风口之间，增加一个可打开的缓冲收纳装置，待吸附到一定量的光阻后，自动定期进行拆卸打开清洗，保证管路通畅；降低排风管路堵塞风险，减少异常发生频率；提升作业效率。
[0007]作为本专利技术的进一步改进，所述收集箱体呈矩形，收集管竖直设置且左右对称设置有两个，左右两侧的两个排出管分别对应两个收集管设置。收集管通过外周的环形台阶
安装在上盖板上。
[0008]为了使得上盖板升降时，对其进行导向作用，所述收集箱体内部的下方水平设置有过滤层板，过滤层板上对应各收集管设置有若干竖直的导向外环，收集管外周套设有导向内环，导向内环的外径小于导向内环的内径，导向内环外周与导向内环内壁相对应设置，所述导向内环的厚度大于导向外环的厚度，导向外环的厚度大于过滤层板的厚度，所述过滤层板上布满开设有多个网孔，各网孔与收集管相错开设置。网孔可以阻隔未溶解的光刻胶。
[0009]为了使得排风时收集箱体保持封闭，喷液管不影响收集箱体的密封性，收集箱体的左侧板和右侧板上均设置有座板一，座板一上安装有竖直的升降气缸，所述升降气缸的活塞杆伸出端与上盖板侧面的连接座相铰接，左右两侧的升降气缸在收集箱体宽度方向错开设置；收集箱体的左侧板和右侧板上均设置有座板二，座板二上设置有可横向移动的移动座，移动座上设置有喷液管，喷液管的出口对应收集箱体内部设置，喷液管内通入有清洗剂，左右两侧的喷液管在收集箱体宽度方向错开设置，座板一上升降气缸和座板二上喷液管分别设置在排出管的左右两侧。清洗剂为EBR 稀释剂。
[0010]为了驱动喷液管移动，所述座板二上横向设置有两根导轨，移动座下侧对应两导轨设置有两排滑块，每排滑块包括至少两个横向间隔排列的滑块，任一导轨内侧横向设置有齿条，移动座左侧的支撑板上设置有电机，电机的输出轴向下伸并穿过支撑板，电机的输出轴下端设有齿轮，齿轮与齿条相啮合，喷液管竖直设置，喷液管的上端连通设有L形出液管，出液管的出口高度高于收集箱的安装开口高度。电机驱动齿轮沿齿条转动，移动座实现移动。
[0011]为了保证收集箱体的密封性，不影响排风，所述收集箱体的上部和下部均设置有扩口部，扩口部的截面积大于收集箱体的截面积，上下两个扩口部上均设置有至少两道围成矩形的密封圈，上部和下部的密封圈分别对应上盖板、下托板设置。
[0012]为了保证上盖板关闭时可密封到位，所述上盖板的左右两侧的中部均设置有上磁铁一，收集箱体的左右两侧均对应上磁铁一设置有下磁铁一，收集箱体左侧设置有上接近开关，上接近开关对应升降气缸设置。磁铁确保上盖板关闭到位，上盖板到位时给上接近开关信号，上接近开关与控制系统连接，控制升降气缸停止动作。上磁铁一、下磁铁一也可选用匹配的卡扣替代。
[0013]为了使得收集箱体内部光刻胶溶解后，可以将液体排空，所述收集箱体的左右两侧均设置有座板三，座板三下侧设置有清理气缸，清理气缸位于排出管下方，清理气缸的活塞杆向下伸出，下托板的左右两侧均设置有铰接座，铰接座上纵向设置有连接轴，清理气缸的活塞杆端部的支座与对应连接轴相铰接，所述下托板的左右两侧的中部均设置有下磁铁二，收集箱体的左右两侧均对应下磁铁二设置有上磁铁二，左右两侧的上磁铁二在纵向错开设置，收集箱体左侧设置有下接近开关，下接近开关对应清理气缸设置，下托板向下移动排空收集箱体内部液体时，下托板呈倾斜状态，左侧清理气缸的活塞杆移动行程大于或小于右侧清理气缸的活塞杆移动行程，与收集箱体下方相对应设有收集槽。利用下托板两侧的高度差，将溶解的液体排空，磁铁确保下托板关闭到位，下托板到位时给下接近开关信号，下接近开关与控制系统连接，控制清理气缸停止动作。上磁铁二、下磁铁二也可选用匹配的卡扣替代。
附图说明
[0014]图1为本专利技术的结构示意图。
[0015]图2为图1中A处的放大图。
[0016]图3为导向外环和导向内环的放大图。
[0017]图4为本专利技术的左视图。
[0018]图5为图4中B处的放大图。
[0019]图6为本专利技术的右视图。
[0020]图7为收集箱体两侧的移动座的主视图。
[0021]图8为收集箱体的俯视图。
[0022]图9为晶圆和连接管的结构示意图。
[0023]其中，1收集箱体，1a后侧板，1a1伸出部，1b左侧板，1c右侧板，2固定孔，3安装开口，4清理开口，5上盖板，6下托板，7收集管，8通过间隙，9连接管，10晶圆，11排出管，12过滤层板，13导向外环，14导向内环，15座板一，16升降气缸，17连接座，18座板二，19移动座，20喷液管，21导轨，22滑块，23齿条，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光阻涂布机排风管路自动缓冲防堵装置，其特征在于，包括收集箱体，收集箱体的后侧板的左右两边均向外延伸，收集箱体后侧板的左右两边的伸出部上均设置有至少两个固定孔，所述收集箱体的上侧和下侧分别设置有安装开口、清理开口，与所述安装开口、清理开口分别相对应设置有水平的上盖板、下托板，所述上盖板上贯穿设置有若干收集管，收集管的下端伸入收集箱内部的下方，收集管与收集箱体内壁之间留有通过间隙，收集管的上端与连接管相连，连接管端部对应晶圆设置，所述收集箱体的左侧板和右侧板上均设置有一排出管，排出管一端与收集箱体内部相连通，排出管另一端与抽吸排风管路相连通。2.根据权利要求1所述的一种光阻涂布机排风管路自动缓冲防堵装置，其特征在于，所述收集箱体呈矩形，收集管竖直设置且左右对称设置有两个，左右两侧的两个排出管分别对应两个收集管设置。3.根据权利要求1或2 所述的一种光阻涂布机排风管路自动缓冲防堵装置，其特征在于，所述收集箱体内部的下方水平设置有过滤层板，过滤层板上对应各收集管设置有若干竖直的导向外环，收集管外周套设有导向内环，导向内环的外径小于导向内环的内径，导向内环外周与导向内环内壁相对应设置，所述导向内环的厚度大于导向外环的厚度，导向外环的厚度大于过滤层板的厚度，所述过滤层板上布满开设有多个网孔，各网孔与收集管相错开设置。4.根据权利要求3 所述的一种光阻涂布机排风管路自动缓冲防堵装置，其特征在于，所述收集箱体的左侧板和右侧板上均设置有座板一，座板一上安装有竖直的升降气缸，所述升降气缸的活塞杆伸出端与上盖板侧面的连接座相铰接，左右两侧的升降气缸在收集箱体宽度方向错开设置；收集箱体的左侧板和右侧板上均设置有座板二，座板二上设置有可横向移动的移动座，移动座上设置有喷液管，喷液管的出口对应收集箱体内部设置，喷液管内通入有清洗剂，左右两侧的喷液管在收集箱体宽度方向错开设置，座板一上升降气缸和...
【专利技术属性】
技术研发人员：涂可嘉，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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